Магниторазрядный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
н 1 У 1 2869 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(21) 2649751/18 51) М. 2) Заявлено 25,07.7 11 41 12 с присоединением заявки3) Приоритет3) Опубликовано 30.01.80. Бюллетеньсударственный иомите СССР о делам изобретений и открытий(088.8) 5) Дата опублико ия описания Авторыизобретени. Остров 1) Заявител 4) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЯ НАСО Изобретение относится к области вакуумной техники и может применяться в установках для градуировки манометрических преобразователей, для покрытия металлами поверхностей в вакууме, в установках электронно-лучевой сварки и в других устройствах, где необходима безмасляная откачка до высокого и сверхвысокого вакуума.Известны магниторазрядные насосы с анодом, представляющим собой набранную из трубчатых ячеек сотообразную конструкцию (1.Такие насосы обладают слаборазвитой эффективной поверхностью сорбции анода и сравнительно невысокой скоростью газо- поглощения, которые обусловлены наличием между ячейками неактивных зон. В этих зонах из-за малости не только не загорается тлеющий разряд, определяющий собой ионную откачку, но и ограничивается поверхность оседания распыляемого с катодов геттера, характеризующая скорость поглощения газов на аноде.Известен также магниторазрядный насос, содержащий анод с размещенными в ряды цилиндрическими ячейками 2. Расположение ячеек в аноде этого насоса таково, что на тридцать две из них приходится одна большая ячейка другой конфигурации, образованная частью наружных поверхностей двенадцати цилиндрических ячеек. Такое техническое решение, хотя и позволяет несколько повысить быстроту откачки за счет сочетания ячеек большего и меньшего диаметров, но не обеспечивает развитой 5 поверхности сорбции анода вследствие сохранения в нем неактивных зон.Целью изобретения является увеличениеэффективной поверхности сорбции анода.Данная цель достигается тем, что ячейки О расположены попарно соприкасающимисяв параллельных рядах, при этом ячейки пар прилегающих рядов также соприкасаются и смещены одна относительно другой таким образом, что расстояние между их продоль ными осями равно радиусу ячейки.На чертеже показан анод предлагаемогонасоса.Анод составлен нз цилиндрических ячеек 1, расположеннь 1 х попарно соприкасаю- О щимися в параллельных рядах. Пары прилегающих рядов взаимно смещены, а ячейки пар этих рядов соприкасаются. При этом расстояние между продольными осями смещенных ячеек равно радиусу ячей ки, В результате такого распределения образуются ячейки 2, внутренней поверхностью которых служит наружная поверхность ячеек 1. В ячейки 2 вписываются цилиндрические ячейки 1.О При работе насоса в разряде происходиткатодное распыление. Распыленный с катодов геттер оседает на развитую поверхктор Л. Тарасо едактор ляда Заказ 290/6НПО Поиск Г Изд. Л"з 33 Тираж 857 дарственного комитета СССР по делам изо3035, Москва, 7 К, Раушская наб., д. 4,Подписноеений и открытий Типография, пр, Сапуно ность анода, образуя пленку, способную сорбировать газ. При этом вся анодпая поверхность становится эффективной и откачке.Поглощение активного газа осуществляется в результате химического взаимодействия атомов и молекул газа с частицами геттерной пленки. Хорошо поглощаются и инертные газы. Попадая в угловые впадины ячеек 2, они легко замуровываются там свежим слоем геттера. ф ор мул а изобретения Магниторазрядный насос, содержащийанод с размещенными в ряды цилиндрическими ячейками, о т л и ч а о щ и й с я тем,что, с целью увеличения эффективной поверхности сорбции анода, ячейки расположены попарно соприкасающимися в парал 5 лельных рядах, при этом ячейки пар прилегающих рядов также соприкасаются исмещены одна относительно другой такимобразом, что расстояние между их продольными осями равно радиусу ячейки.О Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Левин Г, Основы вакуумной техники,М., Энергия, 1969, с. 171.2. Патент США3.364.370, кл, 313 - 7,5 опубл. 1968 (прототип).
СмотретьЗаявка
2649751, 25.07.1978
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3634
НОЙСС ВЛАДИМИР БОРИСОВИЧ, ОСТРОВКА СЕМЕН ДМИТРИЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 41/12
Метки: магниторазрядный, насос
Опубликовано: 30.01.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-712869-magnitorazryadnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Магниторазрядный насос</a>
Предыдущий патент: Способ соединения разнородных материалов
Следующий патент: Анод магниторазрядного насоса
Случайный патент: Насадок для охлаждающих устройств