Ионно-сорбционный насос орбитронного типа

ВС 1:СОЮЗНАЯО Л И"С А Й И Е Союз Советских Социалистических Республик. свидетельства- 70 ( 1452803/26-25 Завиоимое от ав Заявлено 26.И,1 с присоединением Приоритет Опубликовано 09 Кл. Г 04 Ъ 37/00 Н 011 41/О заявкиКомитет по делам зобретений и открытийпри Совете Министр СССРУДК 621.521 (088.8) 1972. Бюллетень30 та опубликования описания 2 З.Х 1.197 торыобретения И, Б. Анохин и Г. ф, Ивановс В, А. Ушак аявител ННЪЙ НАСОС ОРБИТРОННОГО ТИП ИОН НО-СОР 2 аничит тками металл ю темп рипои растан ов или ературу размеию темен Изобретение относится к электрофизическим средствам откачки, более точно, к ионно-сорбционным вакуумным насосам орби- тронного типа.Данные насосы находят применение припроизводстве электровакуумных приборов, а также в тех областях технички, где недопустимо применение магнитных полей, например в ускорителях.Известны насосы орбитронного типа с испарителем в виде одной или нескольких втулок из геттерного материала, закрепленным на стержне анода, расположенного по оси насоса, в дополнительные прямонакальные испарители или испарители с косвенным накалом, Однако их наличие в объеме насоса резко ухудшает ионизационные характеристики насоса.При работе в области сверхвысокого вакуума, особенно при применении азотного охлаждения, необходимо стремиться к снижению тепловыделения, а, следовательно, к уменьшению поверхности (и соответственно объема и количества) испарителя при сохранении удельной подводимой мощности. Однако, это приводит к уменьшению общего запаса геттерного материала и тем ухудшает эксплуатационные характеристики насоса.Цель изобретения - увеличение времениработы насоса без вскрытия для замены ис. парителей с сохранением высокого предельного вакуума.Поставленная цель достигается тем, что внасосе создано дополнителыное пространство, 5 ограниченное торцевым отражателем, черезотверстие которого проходит анод. На участке анода, расположенном в этом дополительном пространстве размещен ряд втулок, изготов.ленных из одного или различных геттерньг;1 О материалов.Втулками удерживаются огр ельнымиприпоями или несколькими ви тонкой проволоки из легкоплавтоихсплавов, которые имеют разну15 плавления, Ограничительные пщаются последовательно, по возператур плавления.Стержень анода закрепл с двух стороннасоса на изоляторах.2 О Имеется устройство, позволяющее подавать на анод последовательно различные величины мощности накала соответствующие температуре плавления каждого ограничительного припоя.После испарения втулки, расположенной врабочей части насоса, через анод пропускается прямой ток, припой расплавляется и втулка проваливается сквозь отверстие в торцевом отражателе, занимая место на рабочец ЗО части анОда.354175 Предмет изобретения Составитель Г, Жукова Редактор Л. Мазуронок Техред 3, Тараненко Корректор Л, БадыламиИзд.1408 Тираж 406а по делам изобретений и открытий при Совете Мн Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 480/856 ЦНИИПИ Ком Подписноетров ССС Тип, Харьк, фил. пред. Патент Благодаря применению нескольких испарительных втулок можно увеличить срок службы насоса до вскрытия во столько раз, сколько размещено испарительных втулок.На чертеже дано схематическое изобра жение общего вахида насоса в разрезе.Внутренний объем насоса цилиндрической формы 1 разделен надве зоны торцевой пере. городкой 2 с центральным отверспием 3, Анод 4 в виде стержня закреплен с двух сторон на высоковольтных вакуумных вводах, По нему можно пропускать прямой ток накала с заданным значением мощности для последовательного расплавления ограничителей. Испарительные втулки 5 и б расположены на аноде, 15 причем одна,из них 5 расположена в рабочей зоне насоса, где действует электростатическое поле цилиндрической симметрии, а остальные выведены за пределы рабочей зоны.Втулки б свободно сидят на стержне анода. Их падению препятствуют отпорные припои 7, 8 и т. д., имеющие разную температуру плавления, После испарения основной, первой втулки с анода снимается высокое напряжение У, по нему пропускаюттокнакала. При пой 7 расплавляется и втулка б под собственным весом проваливается через отверстие 3 в,пластине 2 и занимает место на рабочей части анода, Ток накала отключается и на анод подается высокое напряжение - насос 8 готов к работе.Далее операции проводятся в той же последовательноспи,Ионно-сорбционый насос орбитронного типа, содержащий стержневой анод с закрепленными на нем втулками из сорбирующего материала, отличающийся тем, что, с целью повышения времени непрерывной работы насоса, его внутренний объем разделен на рабочую и вспомогательную зоны перегородкой с ог верстием, через которое проходит анод, а сорбирующие втулии распределены на аноде так, что первая расположена в рабочей зоне на соса, а другие - во вспомогательной зоне и закреплены с помощью припоев, температура плавления которых увеличивается по мере удаления от первой втулки.