Патенты с меткой «геттерно-ионный»

Номер патента: 184389

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Ивановский, Мах, Назаров

МПК: F04B 37/06, H01J 19/70, H01J 21/18 ...

Метки: геттерно-ионный, насос

...расположения электродов, электрического и магнитного полей. В существующих конструкциях насосов оиа недостаточно высока.В предлагаемом насосе анод выполнен в виде спирали, а испаритель-катод из титано- молибденовой проволоки имеет П-образную форму и расположен с внешней стороны анода в плоскости его осевого сечения.На чертеже изображен насос в разрезе, Цилиндрический корпус 1 насоса из нержавеющей стали имеет верхний и нижний фланцы и рубашку водяного охлаждения, Верхним фланцем насос присоединяется к откачиваемому обьему, нижний служит для соединения с цоколем насоса.Цоколь насоса имеет металлокерамические вводы 2 и электроды: испаритель-катод 3 и анод 4. Анод представляет собой спираль из молибденовой проволоки, навитую на две...

Номер патента: 387465

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Желтое, Песко, Щепкин

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...блокадам б, сорбционной поверхности 8, имеющей ввод 9 и вывод 10 для хладагента, накального испарительного устройства геттера, состоящего из аиода 11, испарителя 12 и электровводов 18 для электропитания элементов накальнопо испарительного устройства, смонтированных на съемном 5 фланце 14, магнитной системы, смонтированной с наружной стороны карманов 4, с системой 15 охлаждения. Магнитная система (см.фиг. 2) состоит из магнитов 1 б и мапнитопроводов 17.10 Магниторазрядный геттерно-ионный насосработает следующим образом.Через патрубок 2 создается начальное разрежение в насосе (например, цеолитовым насосом), необходимое для его запуска, Затем 15 запускают магниторазрядные блоки 5, в результате работы которых во внутреннем объеме...

Номер патента: 490211

Опубликовано: 30.10.1975

Авторы: Белоусов, Варнакова, Грушников, Донской, Назаров, Силаев

МПК: H01J 41/00

Метки: геттерно-ионный, насос

Номер патента: 502423

Опубликовано: 05.02.1976

Авторы: Анохин, Бибер, Касихин, Назаров, Толмачев

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, насос

...термоэлектронной эмиссии 4 и блок электропитания 5, состоящий из источников питания 6, 7, 8 датчика термоэлектронной эмиссии, испарителя и разрядной ячейки соответственно, В блок 25 электропитания 5 введено устройство сравнения 9, вход которого соединен с датчиком термоэлектронной эмиссии 4 и разрядной ячейкой 2, а выход - с источником питания испарителя 7. 3 В работающем насосе величина разрядноготока 1 разрядной ячейки 2 характеризует величину газовой нагрузки, а сигнал 1, датчикатермоэлектронной эмиссии 4 - скорость испарения геттерного материала. Оба сигналапоступают на устройство сравнения 9, поддерживающее оптимальное соотношение скоростииспарения и величины газовой нагрузки, Вэтом случае сигнал ошибки ЬУ равен...

Номер патента: 805447

Опубликовано: 15.02.1981

Авторы: Иванов, Малков, Холодов

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, насос, орбитронноготипа

...в центральной части образующейся пленки будет использоваться неэффективно, поскольку5 нанесенный слой геттера, не успев на .себе связать молекулы откачиваемого газа, будет эапылен новым слоем геттера. В области высоких давлений уменьшения быстроты действия насоса компенсируют увеличением скорости испарения геттера, а от неэффективности использования геттера в центральной части пленки в некоторых случаях избавляются тем, что устанавливают над запыленной поверхностью нес- 15 колько точечных источников (1). Такое решение вопроса имеет свои недостатки. Например, изменение мощности, подводимой. к испарителю в зависимости от давления требует введение ка кой-либо следящей системы, а при использовании нескольких испарителей может нарушаться...

Номер патента: 943920

Опубликовано: 15.07.1982

Авторы: Ахманов, Нойсс, Островка, Решетняк

МПК: H01J 41/16

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...установленыразрядные блоки, карманы расположены рядами вдоль радиусов, так что.плоскость симметрии каждого рядапроходит через соответствующий радиус и ось симметрии насоса и углымежду плоскостями симметрии соседних рядов равны, а испарители геттера размещены в секторах, ограниченных обращенными друг к другу стенка.ми соседних рядов карманов;На чертеже схематически изображенодин из вариантов предлагаемого насоса, вид сверху.Насос содержит цилиндрическийЭ 5корпус 1 с днищем, входной патрубокс Фланцем 2 для подсоединения к откачиваемому объему, Внутри корпуса1 под Фланцем 2 перпендикулярноднищу и параллельно оси входного4 Опатрубка размещены герметичные карманы 3, в которых установлены магниты 4, а между карманами внутринасоса расположены...

Номер патента: 983824

Опубликовано: 23.12.1982

Авторы: Ахманов, Гумеров, Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...электрическое поле, существующее между испарителем 6 и анодами 4за счет высокой разности потенциаловмежду ними. Приобретая энергию в этомполе, ионы ускоряются и достигают отрицательно заряженныхэлектродов, в томчисле и корпуса насоса, где они покрываются геттером испарителя, а электроныучаствуют в дальнейшей ионизации путемстолкновения их с аомами газа, посл 5 Очего уходят на аноды магниторазрядныхблоков,Возбуждение ультразвуковыми колеба;- ниями, ионами и электронами повышает химическую активность атомов откачиваемого газа, Химическое сродство между атомами титана, например, и, возбужденным атомом или молекулой газа выше,чем в случае взаимодействия титана сневозбужденными частицами газа. Усиленное химическое связывание...

Номер патента: 1034100

Опубликовано: 07.08.1983

Авторы: Нойсс, Островка, Решетняк

МПК: H01J 41/16

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...Кроме того, карманы, выступающие внутрь корпуса, сокращает внутренний объем насоса, создавая тем самым сопротивление поступающему через входной патрубок газу. Все эти факторы в совокупности приводят к снижению удельной быстроты откачки, Насос также обладает невысокими эксплуатационными показателями при установке в различных положениях.Цель изобретения - повышение удельной быстроты откачки и улучшение условий эксплуатации насоса.Поставленная цель достигается тем, что в комбинированном магниторазрядном геттерно-ионном насосе, содержащем герметичный корпус с размещенным в нем карманами с магнитами, разделяющими корпус на секторы, в которых установлены испарители геттера, а между карманами размещены разрядные блоки с плоскими...

Номер патента: 1826811

Опубликовано: 27.08.1996

Авторы: Бендер, Кузнецов

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...увеличена более чем в 6 раз за счет пластин магнитопроводов, Это приводит к значительному увеличению быстроты откачки этих газов. Кроме того, интенсивное напыление геттера позволяет избежать перенасыщения водородом приповерхностного слоя,По этим же причинам растрескивание и коробление поверхностей происходят значительно медленнее, а деформация магнитопроводов, если и возникает в конце концов, не приводит к замыканию электродов. Это дает возможность работать пи давлениях водорода приблизительно 210 Па, в 6 или более раз превышающих допустимые для обычных ячеек (1-Зф 10 Па), и позволяет продлить срок службы насоса при откачке водорода.При откачке инертных газов поверхность, доступная для внедрения ионов инертных газов, поступающих из...