Комбинированный магниторазрядный насос

Союз Советских Социалистических Ресттублик(61) Дополнительное к авт. свид-ву 5М. Кл,(22) Заявлено 020 б 78 (21) 2 б 23979/18-25 с присоединением заявки Мо(23) Приоритет Н 01 Т 41/12 Государственный комитет СССР но делам изобретений н открытий(54) КОМБИНИРОВАННЫЙ МАГНИТОРАЗРЯДНЬЙНАСОС Изобретение относится к техникеполучения высокого и сверхвысокоговакуума, в частности к магниторазрядным насосам, и может быть использовано в производстве злектровакуумных приборов.Известен комбинированный магниторазрядный насос, содержащий магниторазрядную ступень откачки, внутрькоторой вставлен сублиматор геттерного материала 1).В известном насосе распылениегеттерного материала происходит врезультате разогрева до температурыиспарения источника геттера, выполненного в виде спирали,Известен также комбинированныймагниторазрядный насос, содержащийгерметичный охлаждаемый корпус, испаритель геттера и магниторазряднуюступень откачки 2,В этом насосе сорбционная поверхность выполнена в виде двух профилированных охлаждаемых цилиндров,размещенных вокруг испарителя геттера внутри магниторазрядной ступениоткачки. Испаритель представляетсобой прямоканальное проволочноеустройство. В описанном насосе недостаточензапас геттерного материала, следовательно, очень малый ресурс рабо"ты. Насосы с такими испарителями выходят из строя при случайных прорывах атмосферы, срок службы их мали сильно 3 ави сттт От давл( ни я р прикотором работает насос.Цель изобретения - повышение эф"фективности откачки насоса, его надежности и ресурса работы.Указанная цель достигается тем,что испаритель геттера выполнен ввиде дугового разрядного устройства.Анодом дугового разрядного устройст"ва являются катоды магниторазряднойступени откачки, представляющие собой герметичные охлаждаемые карманы. Магниторазрядная ступень размещена симметрично вокруг испарителягеттера.На фиг. 1 изображен насос в разрезе; на фиг. 2 - то же, вид сверху.Внутри герметичного охлаждаемогокорпуса 1 (фиг, 1, 2) находятся попые катоды 2 из геттерного материала, ячеистые аноды 3, постоянныемагниты 4, размещенные в полостигерметичных охлаждаемых катодов. Ис- ЭО41352 Повышается надежность насоса, таккак йсключаются накаляющиеся довысоких температур проволочные элементы, критичные.к давлению в насосе и не допускающие прорыва атмос феры. В результате разогрева испарителя только в зоне горения дуги ивзаимодействия дугового разряда сэлектронным полем магниторазряднойчасти насоса снижается потребляемая 10насосом мощность,1. Комбинированный магнитораз 15 рядный насос, содержащий герметичный охлаждаемый корпус, испарительгеттера и магниторазрядную ступеньоткачки, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения эффект тивности откачки насоса, его надежности и ресурса работы, испарительгеттера выполнен в виде дуговогоразрядного устройства,2. Насос по и. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что анодом Лугового разрядного устройства являютсякатоды магниторазрядной ступениоткачки, выполненные в виде герметичных охлаждаемых карманов,3. Насос по и. 1, 2, о т л ич а ю щ и й с я тем, что магниторазрядная ступень размещена симметрично вокруг испарителя геттера.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе35 1. Патент США Р 3235170,кл. 230-69, опублик. 1966.2. Авторское свидетельство СССРМ 387465, кл. Н 01 У 41/00 ф 1972(прототип) . ФигИИПИ Заказ 3213/51 Тир 4 пи сно Филиал ППП фПатент, г, Ужг ул, Проектная, 4 паритель геттера, установленный по оси н асоса, выполн ен в виде дугового разрядного устройства, состоящего из распыляемого катода 5 изготовленного из геттерного материала, поджигающего электрода б, электростатических экранов 7, 8.После предварительной откачки насоса до давления не выше 10 мм рт.ст с помощью поджигающего электрода б обеспечивается возбуждение низко.вольтного дугового разряда в парах испаряемого геттерного материала ка" тода 5, Одновременно подается высокое положительное напряжение на ячеистые аноды 3 магниторазрядной ступени откачки. Между анодами 3 и катодами 2 зажигается тлеющий высоковольтный разряд в магнитном поле. Распыляемый одновременно с катодами 2 и 5 геттерный материал осаждается на развитой внутренней охлаждаемой поверхности насоса и ячеистых анодах 4 и поглощает молекулы активных газов путем химсорбции, адсорбции и путем замуровывания их в толще пленки.Инертные газы, подвергаясь мощной, интенсивной ионизации в зоне высоковольтного тлеющего разряда, откачиваются путем ухода ионов из эоны разряда на катоды 2 или корпус 1 насоса, где они запыляются интенсивно поступающим с испарителя геттером.Комбинация магниторазрядного и дугового насосов позволяет повысить эффективность откачки газов за счет мощного потока электронов с катода дугового испарителя, попадающего в зону высоковольтного разряда магниторазрядной ступени откачки,Формула изобретения