Магниторазрядный насос

, Юэбп " "чб С АЙ Сокзэ Советск СоцкалистнческРеспублик(23) Приоритет Опубликовано делам изобретений и открытий 5.05.80, Ьк) опубликования описани 72) Авторы изобретен И, Агафонов и Н. П. Решет 71) Заявител 4) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС и механического устройства, изменяющестояние между витками спирали при Изобретение относится к вакуумной техн, в частности к средствам высокого и с асо го ра быстр Целнасос ом изменении давления в ь изобрететптя - улучше уатации и упрощение кон а. ние условии трукции насоса. ь ано о достигается тем, что спина из биметалла,фиг. 1 показан магниторз; на фиг. 2 - то же, поасос состоит из герметрованных от корпуса катода 3, выполненного в видалла. полне Наго рического и маги дный нас расстояния между соседними элемента (витками спирали) выбрано соответст двойной толщине слоя объемного разОднако такое соответствие может обеспечено (выбрано перед изготовлен только для определенного, узкого ди рабочих давлений в насосе.Известны также магниторазрядные перечныи разрез.ичного корпуса 1, одных пластин ре яда Е 1. ыть ием) пазона сп али иэ ан ме прикреплен к ограничиваю ин конец спирали жесткопусу 1, насоса, другой - к кольцу 4, свободно вращ сы корщемуоси и корпус, внутр ) и анод, выпо е герметичнь ещены катод ругой спирал ячейки, прич содержащи рого разм ющемуся на с перегоро в виде узующимижестко Фланцем 6 насос крепится к откачиваемомуобъему. С помощью магнитов 7 в ячейках анода 3 м один конец ругой конец ься 12. акреплен перемегцз озможно живается постоянное магнит улярное к ппоскости катосоздается и подд ое поле, перпендик ов 2. Недостатком данного насоса является сложность конструкции и трудность обеспечивания при эксплуатации синхронности работы самого высокого вак Известны рых с целью способности зования элекгниторазрядные насосы, остижения высокой отк тем более интенсивного в коточной испольолей,ми анода и котолненный ми, обра пир али имеет 1)М. Кд.Н 01 1 41/12 Уд К 621.528: 533,59 (088.8),Пя Об 1)ЯЗОВ;Иия ячеис Гой срукд)ы с 1 ирального анода 3 к виткам спирали приварены с определенным шагом перфорированные упругие перегородки 8.Насос работает следующим обр;зом.При достижении предварительного разряжения, необходимого лля запуска насоса, подается питание на электроды, анод 3 и като 4 насоса, В результате возникаюпего между ними тлеющего разряда, усиленного магнитным О полем, происходит распыл геттера, который откачивает газы, находящиеся в зоне разряда.При работе на аноде выделяется мощность в виде тепла, и анод разогревается до температуры порядка 300 С.5Температура анода находится в определенной зависимости от давления в насосе,Под влиянием этой температуры спираль анода, выполненная из двух разнородных металлов с различными коэффициентами линей ного расширения, будет закручиваться (раскручиваться), изменяя, тем самым, автоматически расстояние между витками и размер ячеек в такой же зависимоеи от давления, в какой изменяется температура анода.25 4 Такое иаи 1 лнение нсоса н)1 В)Яяет иапль.ОВ 1 ь энер 1 ию, ВьщеляемуГю В Ниле Генла ВОВремя работы насоса, на изменение размераячеек анода,формула изобретенияМагниторазрядный насос, содержащий герметичйый корпус, внутри которого размещеныкатоды и анод, выполненный в виде упругойспирали с перегородками, образующими ячсйки, причем один конец спирали жестко закреплен, а другой конец имеет возможность пере.мешаться, отличающийся тем,что, с целью улучшения условий эксплуатациии упрощения конструкции насоса, спираль анода выполнена из биметалла.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Франции Х 1506644, кл, Р 04 Е,опублик, 1966.2. Авторское свидетельство СССР по заявкеУ 2441082/18 - 25, кл. Н 01 Л 41/12, 05,01,77.Ковалева хред орректо 243/42 ственн обретениЖ - 35,Р ПП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,4 Филиал дзк 1 ор Н. Ка 1 амацина Тираж 844 ЦНИИПИ Госуд по делам и 13035, МоскваПодписноо комитета СССРи открытийшская наб д. 4/5