Магниторазрядный насос

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ рщ 642797(22) Заявлено 0404.77 (2) 2469739/18-2с присоеаинением заявки % 1) М. 41/12 тееннын кемнтсссРам нзебретенкИ открыткИетень Ю публиковано 1501,79, Белл ата опубликования описа(71) Заявител МАГНИТОРАЗРЯДНЫИ НАСОС ан иэ не но ч с т и с Изобретение относится к вакуумным магниторазрядным насосам средней и А высокой производительности (300 с ) н может быть полезным для обеспечения сверхвысокого беэмасляного вакуу ма в больших имитационных камерах при моделировании условий космического пространства, в напылительных установках при получении тонких пленок и в ряде других устройств и технологических процессов.Известны магнитораэрядные насосы, работа которых основана на высоковольтном разряде в ячейке Пеннинга 1. у такого насоса мала скорость 1 в откачкиИзвестен также магнитораэрядный насос, содержащий плоские катоды из геттерного материала и анод с размещенными в ряды ячейками, который О позволяет увеличить быстроту откачк эа счет использования в одном насо е электродного блока, состоящего из большого числа анодных ячеек, и общего катода 12.ИОднако в электродном блоке по длине анода имеет место градиент давления, величина которого тем больше, чем длиннее анод при прочих равных условиях. В результате этого яЧейки ода используются неравномерно. Теячеек, которые расположены в нижи части анода относительно проходго отверстия насоса, работают меее эффективно, чем ячейки, размещеные в верхней части блока.Цель изобретения - увеличение эфективной быстроты откачки насоса,Поставленная цель достигается тем, то каждая ячейка предлагаемого насоа выполнена из двух одинаковых часей, отстоящих в вертикальном ряду т плоскости, проходящей через оси чеек этого ряда на расстоянии, равном дной десятой диаметра ячейки, а обаэовавшимися щелевыми зазорами ячейи по длине анода сообщаются между собой.На фиг. 1 показан карман насоса, поперечный разрез; на фиг, 2 - анод насоса в плане.Магнитораэрядный насос содержит два нлоских катода 1 из геттерного материала, анод 2 с размещенными в ряды ячейками 3. Магнитная система 4 создает поле, силовые линии которого направлены вдоль оси анодной ячей кн перпендикулярно катодным пластинам. Каждая ячейка 3 составлена нз двух частей 5, В каждом вертикальном ряду642797 Формула изобретения СостаТехред ктор 3 7772/51 Тираж ИЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская Подписи Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул.Проектная/ячейки 3 по длине анода сообщаютсямежду собой посредством целевых зазоров шириной а.При работе насоса под действиемвысокого электрического напряжения,приложенного между анодом и катодами,и осевого магнитного поля в электродном промежутКе происходит ионизация 5газа электронным ударом. Положительные. ионы, образующиеся вследствиеактов ионизации, ускоряясь электрическим полем, уходят на катоды 1 иЭнедряются, в них. Откачивающая способность насоса определяется интенсивностью ионизации.В области, охватываемые составнымичастями ячеек 3, вовлекается разрядомбольшое количество частиц газа причем ионизирующие столкновения последних с электронами в этих областяхнаиболее вероятны, Благодаря зазору, газраспределяется равномернее по всемячейкам каждого вертикального ряда,так что градиент давления по длинеанодно-катодного блэка уменьшается.Этим обеспечивается более полная нагрузка на все анодные ячейки. Интенсивность ионизации при этом возрастает, в результате чего повышаетсябыстрота откачки,При соотношении ширины зазора и диаметра ячейки, равном одной десятой краевые эффекты от наличия зазоров невелики и не искажают условий разряда по сравнению с известным насосом. Магниторазрядный насос, содержащий плоские катоды из геттерного материала и анод с размещенными в ряды ячейками, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения эффективной быстроты откачки насоса, каждая ячейка выполнена из двух одинаковых частей, отстоящих в вертикаль.ном ряду от плоскости, проходящей через оси ячеек этого ряда на расстоянии, равном одной десятой диаметра ячейки, а образовавшимися щелевыми зазорами ячейки по длине анода сообщаются между собой. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1, Левин Г, Основы вакуумной техники, М., Энергия, 1969, 2. Васильев Г.А. Магниторазрядные насосы. М. Энергия , 1970, с. 66,тель В. ГаврюшинМ.Борисова КорректорТ.Вашков