Патенты с меткой «416789»

Номер патента: 416789

Опубликовано: 25.02.1974

МПК: H01J 41/12

Метки: 416789

...2, охватываемого поизатором 3, состоящим из двухсеггатых полуторов 4 с размещенными по их оси анодами 5, выполненными в виде двух петель. Элсктродуговой сублиматор состоит пз распыляемого катода 6, выполцетного пз геттерцого к;атериала, цапримср титана, водо ох,",аждаемого анода 7 и поджигающего электрода 8. Аод 5 укреплен та изоляторах 9.После прелварптельцой откачки до давления це выше 10 -торр с помощью поджигающего электрола 8 обеспечивается Возбужлепие О низковольтного дугового разряда в парах пснаряемого материала като;та разрядного устройства 2. Геттерпыг материал, коплепсируясь па холодны.; степках анода 7 и корпуса пасоса 1, поглощает молекулы активцых гд Зов, и даВЛЕцгС В ПдсОСЕ 51 ЕЬгцдется.Прп давлении В насосе нс выше 1 О...