Анод магниторазрядного насоса

ц 712870 ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Соеетских Социалистических Реснтблик(22) Заявлен исоединением заявки М сударственный коми СССР. П, Решетняк и 1) Заявитель НОД МАГНИТОРАЗРЯДНОГО НАСОСА 2 ся тем, что для хладо Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к средствам получения высокого и сверхвысокого вакуума.Известен анод магниторазрядного насоса, выполненный в виде набора параллель но расположенных и электрически соединенных между собой гофрированных ячеек 1.Недостатком такого анода является его сложность. Он трудоемок в изготовлении, 10 имеет малый коэффициент заполнения поверхности анода разрядными ячейками и обладает низкой надежностью из-за большого количества сварных (паяных) швов.Известен анод магниторазрядного насо са, содержащий волнообразную изогнутую трубку, образующую разрядные ячейки и соединенную с полостями для хладагента 21.Несмотря на простоту конструкции, маг ниторазрядные насосы с таким анодом обладают низкой быстротой откачки, потому что поверхность ячеек анода, на которых, в основном, осаждается в виде тонкой сорбирующей пленки распыляемый с катодов 25 геттерный материал, недостаточно развита.Целью изобретения является повышение эффективности откачки.Поставленная цель достигаетанод содержит два коллектора агента, соединенных между собои волнообразными трубками, установленными так, что волны двух соседних трубок образуют разрядные ячейки, а трубки установлены рядами, причем ряды трубок установлены с зазором друг относительно друга.На фиг. 1 схематично изображен предлагаемый анод, общий вид с частичными вырывами; на фиг. 2 - то же, вид сбоку,Анод состоит из верхнего 1 и нижнего 2 герметичных коллекторов. Оба коллектора связаны между собой рядами волнообразно изогнутых трубок 3, установленных таким образом, что смежные трубки своими впадинами, расположенными друг против друга, образуют разрядные ячейки 4.Нижний коллектор 2 снабжен штуцером 5 с перегородкой 6, разделяющей коллектор на две полости и обеспечивающей подвод и отвод хладоагента.В каждом ряду установлено не менее двух трубок, причем трубки 3 в каждом ряду установлены друг относительно друга с зазором 7. Величина этого зазора определяется технологически, однако предпочтительна величина 1,5 - 2 мм, что позволяет разместить в одном ряду большее количество трубок.Принципиально работа магниторазрядного насоса с предлагаемым анодом ничем неТираж 857ССР по делам изобретениауьиская иаб., д. 4,5 Подписноеоткрытий го комитета сква %-35 Типограф р, С а и 1 нова,отличается от известных, Однако при работе магниторазрядного насоса с предлагаемым анодом достигается по сравнению с известными анодами увеличение быстроты откачки. Это достигается во-первых, за счет того, что увеличивается коэффициент заполнения поверхности, занимаемой анодом, на 20% разрядными ячейками, во-вторых, за счет развитой поверхности ячейки, образованной поверхностями нескольких трубок, и в-третьих, за счет уменьшения сопротивления потоку газа, поступающего к разрядным ячейкам, который может в данном исполнении анода поступать к ячейкам не только через межэлектродные зазоры, но и через зазоры 7 1 фиг. 2) между трубками 3.Наличие связи между ячейками через зазоры 7 одновременно с указанным выше эффектом, улучшает запуск насоса прп л 1 обом рабочем давлении, потому что разряд, возникающий в одной ячсйке, легко перебрасывается в любую другую.Увеличение быстроты откачки позволит при проектировании новых насосов на заданную величину быстроты откачки, создать насос с уменьшенными габаритами и массой. Учитывая, что магниторазрядпые насосы, в основном, изготавливаются из дефицитной нержавеющей стали, снижение габаритов, металлоемкости и массы нового насоса позволит соответственно увеличению быстроты откачки насоса снизить его стои мость. 1. Анод магниторазрядного насоса, со 1 О держащий волнообразную изогнутую трубку, образующую разрядные ячейки и соединенную с полостями для хладагента, о тличающийся тем, что, с целью повышения эффективности откачки, анод содер 15 жит два коллектора для хладагента, соединенных между собой волнообразнымитрубками, установленными так, что волныдв Гх соседних трубок образуют разрядныеячейки, а трубки установлены рядами.20 2. Анодпоп,1,отличающийся тем,что ряды трубок установлены с зазоромдруг относительно друга,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе25 1, Авторское свидетельство СССР595808, кл. Н 013 41/12, 1976.2, Авторское свидетельство СССРХ 371633, кл. Н 011 41/12, 1968 1 прототип).