416789
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 416789
Текст
бион" е.". О П И С А Н И Е 416789ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Своз СоввтскихСоциалистицвскихРвспубдик Зависимое от двт. свидетельс" ва Ме Н О 11 41 О Заявлено 31.111,197(Ио 1765938,126 2 М. К,исоедиеьпСм заявки Ме Приорите асударственныи комитетСовета Министров СССРпо делам иэооретенийи открытий.1974. Бюллстсг 1 ь Хе 7 УД 1, 621.525(088.8 убликовдцо 20 ата опубликования описания 15 У 11.1974 вторыобретен Е, Минайчев, С. И. Мрошг(иц и И. М. Сенато Заявит ОРБИТРОННЫЙ ГЕТТЕРНО-ИОННЫИ НАСОС к вакуумцои техци вам получения без Изобретение относитсяке, в частности к средстмасляного вакуума.Известеп орбитропный геттерцо-ионный цасос, содержащий корпус и сублиматор, охватываемый иоцизатором, состоящим из анода,окружепцого сеткой. Однако из-за наличиятермоэлектропн эмиттеров и органическогозапаса геттерпого материала его срок службыневелик.Целью изобретепия является повышепиесрока службы насоса,Для этого сублиматор выполцеп в виде дугового разрядного устройства, а иоцизатор состоит из сетчатого тора с размещенным по егооси анодом, находящимся вце зоны оптической видимости катодцого пятна дуги разрядного устройства.Сублиматор геттерцого материала и эмиттер электронов совмещены и выполнены в виде лугового разрядого ус 11 гойства, о: ватыВдемого иоцпзатором.Нд фиг. 1 изображен предлагаемый насосВ разрезс; пд фиг, 2 - -то же, Впл сверху.Насос состоит из водоохлаждаемого корпуса 1, сублиматора геттерного материала в вилс дугового разрядцого устройства 2, охватываемого поизатором 3, состоящим из двухсеггатых полуторов 4 с размещенными по их оси анодами 5, выполненными в виде двух петель. Элсктродуговой сублиматор состоит пз распыляемого катода 6, выполцетного пз геттерцого к;атериала, цапримср титана, водо ох,",аждаемого анода 7 и поджигающего электрода 8. Аод 5 укреплен та изоляторах 9.После прелварптельцой откачки до давления це выше 10 -торр с помощью поджигающего электрола 8 обеспечивается Возбужлепие О низковольтного дугового разряда в парах пснаряемого материала като;та разрядного устройства 2. Геттерпыг материал, коплепсируясь па холодны.; степках анода 7 и корпуса пасоса 1, поглощает молекулы активцых гд Зов, и даВЛЕцгС В ПдсОСЕ 51 ЕЬгцдется.Прп давлении В насосе нс выше 1 О -торрпд дпол 5 потпздторд подается гысокое наРЯжепие поло:ките,гьцогг гол ц 1 гпостп плазмы дугового разряда в попзатор пзвлс- О ядотса электроны, которые благодаря элекгрост;гопческому полю, образоваппому между сеткой папзатора -1 и анодом 5, согсршгпот 0110 тдльпое лВ)1(сппе ВОк 11 уг пего, (гппсыВд 51 тр;1:кторпп б(гльшой протяжепост, чем уве лпчпвде ся всрогптость пшгпзацпаголецлостаточных газов п эффективность ионной огкачки ицертпых газов. Образовавшиеся положительцые попы ускоряются сеткой ггогшздтора к корпусу цдсоса, гле оцп закуровы.аб., д. 4,)5 10;,з и оп ) аСР ппографпя. пр. Сапукова н 11 О С)1) иси 1 асрь 1 НО посту)Ои1 с С)ки геттериы) материало).Ороитроииьш геттерио-ионный насос согласно изобретению обеспечивает раздельное регулирование скорости испарсии 51 титана и быстроты ионной откачки изменением тока рдзр 51 дя д)ги и напр)женил ис)д,"вясъГ) Ия;1;). иоиизяторд. 11 дсос пс и)пест накаленны.дстей и обеспечивает высокое давление запуска И Постонистпо СКОрОСти тКЯ:Кн В И;)р)К 5 г диапазоне давлений,О;битроик, й геттепио и,);". ассе, соде)- укаи 1 ий субз",иматор, оква): ясный Г 1 О 1.1.зд)о ром, сост 5):я из аидя .:) Округкяюгдей его,:,к", От, ); ; о и;110 с и е что с не 11,)0 .;1 аыгпсии. ск г .г)кбь и сся, сл )ли) ятог) ;ыГолисп в видел попого разрядного стройс,вд, д ги)ииздтор сосзоит ик) сетчатого торя с 10 разаеисии)11 по его оси диодом, располо:кеиныы вис зонь 1 Опзической в 1 димости кзтодпого п;Гид дуги разрядного уст 1;Ойства.
СмотретьЗаявка
1765938, 31.03.1972
МПК / Метки
МПК: H01J 41/12
Метки: 416789
Опубликовано: 25.02.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-416789-416789.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">416789</a>
Предыдущий патент: 416788
Следующий патент: 416790
Случайный патент: Способ обработки брусков оконных блоков