Геттерно-ионный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ш 1502423 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕИИЯ Свез Советских СоциалистическихРеспублик свил полнительн 11 41/(5 22) Заявлено 20,06.74 (21) 2035669/26-2с присоединением заявки23) ПриоритетОпубликовано 05,02,76. Бюллетень5Дата опубликования описания 21.04,7 б л." Государственный комит Совета Министров ССС 3) УДК 621.528(088.8 по делам изобретений и открытий(54) ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАС узки вр, чтои (ЛУду наителяиспарпока1 р и 1ь отка Формула изоб ени ржащии разлок электропи 0 ря Изобретение относится к вакуумнои технике, в частности к электрофизическим средствам откачки.Известный геттерно-ионный насос, содержащий разрядные ячейки и прямонакальные ти тановые испарители, не обеспечивает регулирования скорости испарения геттерного материала в зависимости от газовой нагрузки, что снижает эффективность откачки и срок службы насоса. 10В предложенном насосе этот недостаток устранен благодаря . тому, что испаритель снабжен датчиком термоэлектронной эмиссии, а блок электропитания - устройством сравнения, вход которого соединен с датчиком 15 термоэлектронной эмиссии испарителя и разрядной ячейкой, а выход - с источником питания испарителя.Изобретение поясняется чертежом.Геттерно-ионный насос 1 содержит разряд ную ячейку 2, испаритель 3, датчик термоэлектронной эмиссии 4 и блок электропитания 5, состоящий из источников питания 6, 7, 8 датчика термоэлектронной эмиссии, испарителя и разрядной ячейки соответственно, В блок 25 электропитания 5 введено устройство сравнения 9, вход которого соединен с датчиком термоэлектронной эмиссии 4 и разрядной ячейкой 2, а выход - с источником питания испарителя 7. 3 В работающем насосе величина разрядноготока 1 разрядной ячейки 2 характеризует величину газовой нагрузки, а сигнал 1, датчикатермоэлектронной эмиссии 4 - скорость испарения геттерного материала. Оба сигналапоступают на устройство сравнения 9, поддерживающее оптимальное соотношение скоростииспарения и величины газовой нагрузки, Вэтом случае сигнал ошибки ЬУ равен нулю.Автоматическое управление скоростью испарения производится на основе линейной зависимости тока эмиссии от скорости испарения и осуществляется с помощью системы автоматического регулирования мощности, подводимой к испарителю 3,При увеличении газовой нагртает величина разрядного тока 1 пдит к появлению сигнала ошибкУстройство сравнения дает коман учение мощности накала испарэтом возрастает ток эмиссииМощность возрастает до тех пор,тановится равновесие сигналовройство повышает эффективностсрок службы насоса. еттерно-ионный насос, содную ячейку, испаритель и502423 Составитель В. Мирошкинаактор Т. Орловская Техред М, Семенов Корректор В. Брыкси аказ 758/4ЦНИИП ПодписноР р. Сапунова, 2 ипогра тания, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности откачки и повышения срока службы насоса, путем регулирования мощности испарителя в зависимости от газовой нагрузки, испаритель снабжен датчиИзд.232 а осударственного по делам изоб 3035, Москва, Жком термоэлектронной эмиссии, а блок электропитания - устройством сравнения, вход которого соединен с датчиком термоэлектронной эмиссии испарителя и разрядной ячейкой, а 5 выход - с источником питания испарителя,Тираж 977омитета Совета Министров Сетений и открытий5, Раушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
2035669, 20.06.1974
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1614
НАЗАРОВ АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ, АНОХИН ИГОРЬ БОРИСОВИЧ, ТОЛМАЧЕВ ЛЕОНИД БОРИСОВИЧ, БИБЕР ВЛАДИМИР ЛЬВОВИЧ, КАСИХИН АЛЕКСЕЙ ДМИТРИЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 41/12
Метки: геттерно-ионный, насос
Опубликовано: 05.02.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-502423-getterno-ionnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Геттерно-ионный насос</a>
Предыдущий патент: Циклотронный источник многозарядных ионов
Следующий патент: Способ дозировки галогенов в лампы накаливания
Случайный патент: Смазка для металлических форм