Магниторазрядный насос

Ссаз Советскис Социелистическиа Реслублииства Ы 38,26-25 ПК И 011 41,00 Г 04 Ь 87/00 исоединением заявки Ъв иоритет Комитет оо делам обретений и открытийУДК 621.528(0 71 Опубликовано 04.Ч Дата опубликовани Бюллетень Лсания 27 Л 11.1971 вете Министр СССР Авторызобретени. И, Маха И. Скакун аявите ИЫй ИАПО АГНИТОРАЗ 2 Зависимое от авт, свидетел Заявлено 02,Х,1968 (Ав 1 Для поддержания высокого и сверхвысокого вакуума в отпаянных мощных приборах СВЧ-диапазона в течение срока их службы н при длительном хранении используОтся магниторазрядные насосы, которые присоединя ются к прибору посредством штенгеля или располагаются внутри вакуумной оболочки прибора.Известные магниторазрядные насосы состоят, как правило, из анода, представляю щего собой сотовую конструкцию, набрану;с из ячеек круглой или квадратной в ссеяи формы, и двух катодов, установленных с об:- их торцовых сторон анода и представляющих собой обьчно сплошные гладкие или оребрен ные пластины. Анод и катоды монтируОтся в корпусе насоса, присоединяемом к реципиенту. Катоды насоса выполняются из титана, а аноды, как правило, из нержавеющей стали или меди. 20Удобным местом для расположения магниторазрядного насоса в вакуумной ооолсчкс ряда приборов СВЧ большой мощности является коллектор прибора. Однако известные конструкции насосов со скоростью отка.-кн 25 около и свыше 1 л/сек имеют весьма значительные габариты и не могут быть вмо;гнрованы в коллектор, поэтому магниторазрядный насос подсоединяется к коллектору посредством штенгеля. Такое подсосдиненис магии торазрядного насоса общепринятой конструкции нарушает осевую симметрию прибора и приводит к большому увеличению его габаритов в поперечном сечении в месте подсосдинсния магниторазрядногс насоса,С целью улучшения ксмпснови и ухеьшепия габаритов ряда приборов СВЧ большой мощности, снабжаемых магниторазрядным насосом для их откачки в течение срока службы, предлагается магнитсразрядны насос, корпус которого выполнен в виде полого цилиндра и является анодом насоса, а катод представляет собсн стержень с закреплены- и на нем нерпендлО лярнс сгс Оси дис амн, расположенный соосно с корпусом-анодом.Учитывая, что коллектор ряда ЭВП СВЧ представляет собой, как правило, полый цилиндр, он может быть (будучи удлиненным в осевом направлении) использован в ка естве корпуса-анода магниторазрядного насоса, полость которого должна быть отделена от области собственно коллектора диафрагмой с отверстиями определенной проводимости для исключения попадания электронного потока на насос,На чертеже изображена предлагаемая конструкция магнптсразрядногс насоса,Корпус насоса 1 представляет собой гладкий цилиндр и изготавливается из немаг нтного вакуумноплотного металла, например305523 10 Составитель А. И. Фригне Редактор Загребельна Т, П. Курилйо рректоры М Коробова и А, АбрамоваЗаказ 2035,13ЦНИИПИ Коми.ста Изд.854 Тираж 473 делам изобретений и открытий при Совет Москва, Ж.35, Раушская наб., д. 4;5 Поди иснос1 инис гров СССР Типография, пр, Сапунов меди или нержавеющей стали. Катод выполнен в виде стержня 2 из титана или титан-молибденовой проволоки диаметром 2 ял, на котором с определенным шагом закреплены пер- пендикулярнО Оси стержня диски 3 из титапа. Катод пасоса закреплен 11 а металлокерамической ножке 4, изолирующей его от корпуса, Ножка завареа в Орпус посредство 1, например, аргонодуговой сварки. Конец катода, противоположный ножке, опирается на корпус насоса через керамический изолятор о, выполненный в виде стержня и закрепленный на стержне катода с помощью хомутика 6 из титановой ленты,Корпус насоса является анодом и при работе насоса заземляется; элемент корпуса насоса, расположенный между двумя соседними дисками 3 катода, является по отношению к нпм как бы элементарной ячейкой анода. Следовательно, если катод насоса содержит шесть дисков 3, то насос как бы состоит из пяти элементарных разрядных ячеек, характери зующих магниторазрядный насос оощепринятой конструкции, На катод насоса подастся напряжение 4 - 6 кв. На наружну 1 о поверх ность корпуса насоса устанавливается постоянный магнит, создающий в области пасоса, ограниченной крайними дисками 3, однородное магнитное поле с напряженностьо 800 - 1200 эрст,Предмет изобретения Магниторазрядный насос, содержащий аноди катод, отличающийся тем, что, с цельк 15 уменьшения габаритов откачиваемого прибора, анод насоса выполнен в виде полого металлического цилиндра, служащего одновременно корпусом насоса, а катод представляет собой стержень, расположенн,1 Й соосО с 20 корп сом-анодом, с закрепленнымиперпендикулярно его сси дисками.