Номер патента: 499611

Авторы: Антюхов, Баловнев, Кеменов

ZIP архив

Текст

Союэ Советских Социалистических Республик(51) М Кч 2 Н 011 41/12 кис присоединением Государственныи комитет Совета Министров СССР по делам нэобретеннй(23) ПриоритетОпубликовано 15.01,76. БюллетеньДата опубликования описания 29.03.76 53) УДК 621.521(088.8) крмтии 72) Автор И Кеменов хов, Ю. А, Баловн зобретени(71) Заявител 4) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС ы к Изобретение относится к технике получения вакуума при помощи магниторазрядных насосов. Непрерывная безмасляная откачка больших количеств водорода осуществляется в ускорителях частиц, в водородных квантовых генераторах и др,Известный магниторазрядный насос, содержащий корпус и размещенные в нем ячеистый анод и пластинчатые катоды, соединенные по периметру с корпусом, и магнитную систему, не обеспечивает длительную откачку водорода,при повышенных давлениях и имеет малую быстроту откачки по водороду в области низких давлений.Для повышения быстроты откачки насоса по водороду, расширения диапазона рабочих давлений и повышения срока службы в предлагаемом насосе катоды изготовлены из палладия и герметично присоединены к корпусу, в котором в области, находящейся под катодами, выполнены сквозные отверстия.На чертеже показан описываемый насос.Насос содержит корпус 1, внутри которого расположен анод 2 и палладиевые катоды 3 из пластин 4 толщиной 0,2 - 0,5 мм, которые герметично присоединены к корпусу по периметру пластин. Через отверстия 5 в корпусе одна из сторон каждой катодной пластины 3 сообщается с атмосферой, Вся электродная система помещена в поле постоянного магнита 6. Насос работает следующим образом.На анод 2 подается высокое напряжение, ив ячейках насоса возникает разряд Пеннинга.Ионизируемые в разряде молекулы водорода 5 под действием электрического поля внедряются в катоды 3, диссоциируют на атомы и диффундируют внутрь металла. Диффундирующие атомы достигают поверхности катода, сооб.щающейся с атмосферой, где, взаимодействуя с 10 кислородом воздуха, образуют пары воды, которые десорбируются в атмосферу, Таким образом, водород перекачивгется из вакуума на атмосферу, не накапливаясь в катодах. Высокая каталитическая активность палладия пре пятствует диффузии водорода, содержащегосяв воздухе, в вакуум, благодаря чему предельное остаточное давление в откачиваемом объеме составляет 110 - 2 мм рт, ст. Высокая скорость диффузии водорода в палладии облег чает отвод водорода с вакуумной сторон атода на атмосферную.Вследствие малой массы ионов водорода катоды практически не распыляются. Разряд Пеннинга облегчает преодоление водородом 25 поверхностного барьера на катоде.Имеющиеся в водороде примеси также откачиваются насосом.При прогреве вакуумной системы, содержащей насос, значительно облегчается работа 30 цеолитовых насосов и других средств предварительной безмасляной откачки.499611 Формула изобретения Составитель В, МирошкинаРедактор И. Петрашень Техред М. Семенов Корректор Н, Аук Заказ 441/13 Изд.1013 Тираж 977 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Типография, пр, Сапунова, 2 Магниторазрядный насос, содержащий корпус и размещенные в нем ячеистый анод и пластинчатые катоды, соединенные по периметру с корпусом, и магнитную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки насоса по водород, расширения диапазона рабочих давлений и по вышения срока службы насоса, катоды изго товлены из палладия и герметично присоеди.5 иены к корпусу, в котором в области, находящейся под катодами, выполнены отверстия,

Смотреть

Заявка

1982246, 03.01.1974

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2572

АНТЮХОВ ВЛАДИМИР ИЛЬИЧ, БАЛОВНЕВ ЮРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, КЕМЕНОВ ВЛАДИМИР ИЛЬИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

Опубликовано: 15.01.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-499611-magnitorazryadnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Магниторазрядный насос</a>

Похожие патенты