Магнитный электроразрядный насосsli -eiiiei

Номер патента: 433568

Авторы: Гумеров, Путиловский, Титов, Шнейдер

ZIP архив

Текст

Союз Советский Социалистических Реслублик(72) Заявлено 27.09.71 (21) 1702897/26-25 151) Ч Кч Н 011 41 00 с присоединением заявкиГосударственный комитет Совета Министров СССР по делам иэаоретений и открытий(54) МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС Изобретение относится к средствам получения сверхвысокого вакуума.Известен электроразрядный насос для получения сверхвысокого вакуума, использующий откачивающее действие разряда Пенинга, содержащий размещенные в магнитном поле электроды; катод в виде двух пластин и цилиндрический анод, расположенный между ними.Однако известный насос характеризуется значительным спадом скорости откачки в диапазоне давлений 10 - т - 10 - 9 мм рт, ст., ограниченностью величины давления запуска и нестабильностью работы насоса на давлениях выше 10 -мм рт. ст,В предлагаемом насосе, с целью обеспечения высокой скорости и стабильности откачки в расширенном диапазоне давлений 10 4 - 10 -мм рт. ст, посредством изменения плотности электронов в разряде Пенинга, по крайней мере, один из электродов выполнен в виде электростатической фокусирующей системы, причем пластины катодного электрода могут быть выполнены, например, в виде электродов пушки Пирса, а анод в в виде цилиндрического конденсатора, внутренняя обкладка которого находится под наведенным отрицательным потенциалом.На чертеже приведена схема одного из вариантов предлагаемого устройства,Насос состоит из корпуса, снабженного катодным электродом 1, состоящим из двух пластин, выполненных в виде электродов пушки Пирса, и цилиндрического анодного электро да 2, посредством которых электронный пучокразряда в области 3 уплотняется. Дополнительное усиление уплотняющего действия электронного пучка производится посредством металлического цилиндра 4, образующего с анодным электродом и изолирующей прокладкой 5 электрический конденсатор. Предмет изобретения1. Магнитный электроразрядный насос, содержащий размещенные в магнитном полекатодный электрод в виде двух пластин и цилиндрический анод, расположенный междуними, отличающийся тем, что, с цельюувеличения и стаоилпзации скорости откачкинасоса в диапазоне 10 вв 10 вмм рт. ст., покрайней мере, один из электродов выполненв виде электростатической фокусирующей системы.2. Насос по п 1, отли гающийся тем,25 что пластины катодного электрода выполненыв виде электродов пушки Пирса.3. Насос по п. 1, отл и ч а ю щи й ся тем,что анод выполнен в виде цилиндрическогокондснсатора, внутренняя обкладка которого30 находится под наведенным отрицательным потенциалом,Редактор А. Батыгин Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 3307/17 Изд.968 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д, 45

Смотреть

Заявка

1702897, 27.09.1971

Н. М. Гумеров, Ф. Д. Путиловский, В. С. Титов, И. Г. Шнейдер

МПК / Метки

МПК: H01J 41/12

Метки: eiiiei, магнитный, насосsli, электроразрядный

Опубликовано: 25.06.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-433568-magnitnyjj-ehlektrorazryadnyjj-nasossli-eiiiei.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Магнитный электроразрядный насосsli -eiiiei</a>

Похожие патенты