H01J 41/12 — разрядные трубки для откачки с помощью диффузии ионов, например ионные насосы, ионно-сорбционные насосы

Номер патента: 805447

Опубликовано: 15.02.1981

Авторы: Иванов, Малков, Холодов

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, насос, орбитронноготипа

...в центральной части образующейся пленки будет использоваться неэффективно, поскольку5 нанесенный слой геттера, не успев на .себе связать молекулы откачиваемого газа, будет эапылен новым слоем геттера. В области высоких давлений уменьшения быстроты действия насоса компенсируют увеличением скорости испарения геттера, а от неэффективности использования геттера в центральной части пленки в некоторых случаях избавляются тем, что устанавливают над запыленной поверхностью нес- 15 колько точечных источников (1). Такое решение вопроса имеет свои недостатки. Например, изменение мощности, подводимой. к испарителю в зависимости от давления требует введение ка кой-либо следящей системы, а при использовании нескольких испарителей может нарушаться...

Номер патента: 809431

Опубликовано: 28.02.1981

Автор: Решетняк

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...удаления водорода, Электродная система насосовпомещена в поле, создаваемое магнитами 6,Насос работает следующим образом.Под действием высокого напряжения, подаваемого на анод 2, в ячейках насоса возбуждается разрядПеннинга. Ионизуемые в разряде молекулы газа под действием электрического поля бомбардируют штабикигеттериого материала и распыляют его,Активные газы (азот, кислород) откачиваются путем химической сорбциипленкой геттера и путем ионного внедрения в толщу штабиков, Ионы. водорада также внедряются непосредственно в катоды 3 на участках, свободных от штабиков титана и в сами штабики в активной зоне разряда, диссоциируют там на атомы и дифундируютвнутрь металла.Дкфундирующие атомы достигаютповеркности катода, сообщающейсяс...

Номер патента: 930432

Опубликовано: 23.05.1982

Автор: Пакулин

МПК: H01J 41/12

Метки: газов, газоразрядных, давления, магниторазрядная, откачки, приборов, ячейка

...(фиг. 2) в отличие от первого варианта, крышки 6 и 7 соединены с стержневым электродом 5 и отрицательной клеммой дополнительного источника 9 питания, положительная клемма которого соединена с кольцами 2 и 3, цилиндром 4, и отрицательной клеммой источника 8 разрядного напряжения.Выполнен опытный образец ячейки со следующими размерами, диаметр анода 100 мм, диаметр полого сетчатого цилиндра 75 мм, диаметр стержневого электрода 55 мм, расстояние между кольцами 30 мм. При разрядном напряжении 2 кВ, магнитной индукции 0,09 Т, давлении 1 10 Па получены следующие результаты: ток разряда наружной камеры 30 мкА, ток внутренней камеры 50 мкА, ток при совместной работе камер 300 мкА - в первом варианте, ток разряда наружной камеры 25 мкА, ток...

Номер патента: 930433

Опубликовано: 23.05.1982

Авторы: Агафонов, Ахманов, Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...биметаллических пластин.Такое решение позволяет частям анода автоматически перемещаться при изменении температуры в насосе относительно катодных пластин как в плоскости параллельной пластинам, так и в плоскости перпендикулярной им. Результатом первого перемещения является смещение мест интенсивного распыления катода и увеличение срока службы, а во втором случае - удлинение разрядных пучков в анодных ячейках и повышение быстроты действия насоса.На чертеже схематически изображена конструкция магниторазрядного насоса.Насос состоит из герметичного корпуса 1, катодных пластин 2, анода 3, биметаллических пластин 4 и изоляторов 5. Магнитная система насоса расположена вне корпуса и механически связана с корпусом (система не показана).Насос...

Номер патента: 983824

Опубликовано: 23.12.1982

Авторы: Ахманов, Гумеров, Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...электрическое поле, существующее между испарителем 6 и анодами 4за счет высокой разности потенциаловмежду ними. Приобретая энергию в этомполе, ионы ускоряются и достигают отрицательно заряженныхэлектродов, в томчисле и корпуса насоса, где они покрываются геттером испарителя, а электроныучаствуют в дальнейшей ионизации путемстолкновения их с аомами газа, посл 5 Очего уходят на аноды магниторазрядныхблоков,Возбуждение ультразвуковыми колеба;- ниями, ионами и электронами повышает химическую активность атомов откачиваемого газа, Химическое сродство между атомами титана, например, и, возбужденным атомом или молекулой газа выше,чем в случае взаимодействия титана сневозбужденными частицами газа. Усиленное химическое связывание...

Номер патента: 1034099

Опубликовано: 07.08.1983

Автор: Решетняк

МПК: H01J 41/12

Метки: вакуумный, комбинированный, насос

...из охлаждаемых карманов 2, соединенных с корпусом, ячеистых анодов 3, плоских катодов 4 и геттерного материала, постоянных магнитов 5, испаритель б геттера, поджигающих электрод 7 токопровод 8 и экран 9.Электродуговой испаритель б геттера выполнен кольцеобразным и расположен осесимметрично вокруг магниторазрядной ступени откачки.Устройство работает следующим образом.После предварительной откачки до давления порядка 10 Па с помощью поджигающего электрода 7 обеспечивается возбуждение низковольтного дугового разряда между испарителем б геттера и карманами 2, а также корпуса 1, являющимся анодом дугового испарителя. Одновременно или несколько позже подается высокое напряжение на ячеистые аноды 3 магниторазрядной ступени откачки, Между...

Номер патента: 1046799

Опубликовано: 07.10.1983

Авторы: Петрук, Хаджи

МПК: H01J 41/12

Метки: насос, электроразрядный

...03-ВД и являютсямагнитными наконечниками. Каждый газо.10поглотитель электрицески соединен скатодным диском фланцем 2 с помощьюмонтажной ленты 13 и ее выводов 14,присоединяемых к катодной пластине.Для подачи напряжения на катодимеется изолированный вывод 15.Через отверстие, 16 насос сообщается с откачиваемым, например, электровакуумнцм прибором (ЭВП),Магнитное поле, необходимое дляработы насоса, образуется либо магнитной системой ЭВП, либо кольцевымимагнитами 17, выполненными из сплавасамарий-кобальт. Магнитные силовыелинии направлены параллельно осианода,Для устойчивого зажигания разрядав высоком вакууме и сохранения про-.порциональной зависимости разрядно отока от давления в диапазоне 1 10-Я.5 10 Па наружный диаметр полого...

Номер патента: 1088092

Опубликовано: 23.04.1984

Авторы: Нойсс, Островка, Решетняк

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядное, откачное

...рядами ячеек.При этом дополнительный электродвыполнен в виКе параллельных пластин.При этом допопнительньй.электродвыполнен в вцде полой спирали.Йа фиг. изображен наиболее предпочтительный вариант магниторазрядного откачного устройства с допол.- нительным электродом в виде пластин,разрез, иа фиг.2 - продольное сечение катодно-анодного блока.088092 В результате действия скрещенных электрического и магнитного полей в ячейках возбуждается тлеющий30 разряд в виде разрядных пучков,Разрядные пучки вырабатывают электроны, которые при взаимодействии с частицами нейтрального газа ионизируют их, образуя положительные ионы. Одна часть ионов, генерируемых разрядными пучками, поступает на катоды 2, а другая притягивается пластинами 6...

Номер патента: 1149333

Опубликовано: 07.04.1985

Авторы: Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядное, откачное

...минимальный радиус ячейки, уходятна анод практически без столкновений ине участвуют в формировании разряда.Цель изобретения - повышение стабилизации скорости откачки в диапазоне давлений 2,66 10 - 1,33 10 э Па.Поставленная цель достигается тем, чтов магниторазрядном откачном устройстве,содержащем герметичный корпус с размещенными в нем плоскими катодами и ячеистым анодом, диаметр ячеек которого изменяется в направлении осей ячеек, и магнит,каждая ячейка анода выполнена в виденабора осесимметрично расположенных полых цилиндров,Кроме того, диаметры полых цилиндров,образующих ячейку анода, изменяются монотонно в направлении осей ячеек.49333 2На фиг. 1 показано магииторазрядное откачное устройство, разрез; на фиг. 2 - конструкция...

Номер патента: 1102408

Опубликовано: 23.02.1989

Авторы: Гуревич, Карпов, Назаров, Потехин, Саксаганский

МПК: H01J 41/12

Метки: ионно-геттерный, насос

...между внутренним электродом1 и внешним электродом 2 - прямоймагнетрон.Величина зазора между катодом ианодом ячеек определяется напряженностью магнитного поля и электрическим напряжением между, катодом и анодом. При напряженности магнитногополя 200-800 Э и электрическим напряжением 1-10 кВ величина зазорамежду катодом и анодом магниторазрядных ячеек составляет 4-30 мм, Внутренний электрод 1 является одновременно корпусом откачного блока, а.внешний 2 - электростатическим экраном цилиндрического катода 4 электродугового испарителя геттера (титана) расположенного аксиально магниторазрядным ячейкам. Внутреннийэлектрод магниторазрядных ячеек 1 и,стержень 3 выполнены из немагнитного электропроводящего материала, авнешний электрод - из...

Номер патента: 786689

Опубликовано: 07.11.1991

Авторы: Егоров, Козлов, Козуб, Кузнецов

МПК: H01J 41/12

Метки: водорода, индикации, магниторазрядных, насосов, систем

...водорода, включающий выдержку электродного блока насоса в вакууме под напряжением, одновременно с подачей напряжения, корпус. насоса подвергают ударному воздействию,Выдержку насоса под повышенным напряжением производят следующим образом. При уменьшении первоначальной чувствительности магниторазрядного насоса системы индикации водорода в несколько раз из-за возрастания шумов тока при давлении не хуже 10 6 мм рт.ст. насос кратковременно выводят из работы, Затем при снятой с насоса магнитной системе к нему подключают источник питания с повышенным напряжением, превышающим рабочее значение в два-три раза. Включают в сеть источник повышенного напряжения и плавно или ступенчато поднимают напряжение до необходимого значения и оставляют его...

Номер патента: 2005324

Опубликовано: 30.12.1993

Авторы: Бендер, Кузнецов

МПК: H01J 41/12

Метки: геттероионный, насос

...ионизации молекул остаточного газа) приобретается электронами, движущимися по наиболее вытянутым орбитам,.Однако в конструкции прототипа зти электроны покидают цилиндрическую об 2005324ласть вблизи тонкого стержня анода не в результате столкновения с молекулами газов. Электроны, движущиеся по эллиптическим орбитам с размером малой полуоси, меньшим радиуса цилиндрического штабика, уходят на этот штабик таким образом присутствие штабика титана, находящегося под потенциалом анода, приводит к низкой эффективности ионизации газов в прототипе и, в частности, к отсутствию тонизации в области вблизи анода.В предлагаемом устройстве отсутствует находящийся под потенциалом иониззтора штабик титана, т,к. отпадает необходимость использования...

Номер патента: 1321310

Опубликовано: 30.08.1994

Автор: Саксаганский

МПК: H01J 41/12

Метки: магнитный, насос, электроразрядный

1. МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС, содержащий систему для создания магнитного поля, корпус и размещенные в нем электродные блоки, отличающийся тем, что, с целью увеличения быстродействия, улучшения массогабаритных характеристик и повышения ресурса по инертным газам при откачке многокомпонентной газовой смеси, во входном отверстии корпуса по оси насоса установлен вкладыш, выполненный в виде ячеистого набора сорбционно-активных элементов толщиной t (м), обращенных торцами к электродным блокам, причем характерный поперечный размер насоса (м) , его высота h (м) и осевая протяженность вкладыша l (м) связаны выражениямиr

Номер патента: 1826811

Опубликовано: 27.08.1996

Авторы: Бендер, Кузнецов

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...увеличена более чем в 6 раз за счет пластин магнитопроводов, Это приводит к значительному увеличению быстроты откачки этих газов. Кроме того, интенсивное напыление геттера позволяет избежать перенасыщения водородом приповерхностного слоя,По этим же причинам растрескивание и коробление поверхностей происходят значительно медленнее, а деформация магнитопроводов, если и возникает в конце концов, не приводит к замыканию электродов. Это дает возможность работать пи давлениях водорода приблизительно 210 Па, в 6 или более раз превышающих допустимые для обычных ячеек (1-Зф 10 Па), и позволяет продлить срок службы насоса при откачке водорода.При откачке инертных газов поверхность, доступная для внедрения ионов инертных газов, поступающих из...

Номер патента: 1132727

Опубликовано: 20.12.1998

Авторы: Мироненко, Назаров, Пасманник, Петрук, Самохина, Терехов

МПК: H01J 41/00, H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

Магниторазрядный насос, содержащий магнитную систему и герметичный корпус с осесимметричным патрубком откачки и осесиметрично размещенными в корпусе катодом, выполненным в виде плоских пластин из титана, и анодом, выполненным в виде набора цилиндрических ячеек, примыкающих к полому цилиндру, охватывающему патрубок откачки, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки инертных газов и устранения аргонной нестабильности при расширении диапазона рабочих давлений от 2 10-1 до 5 10-9 Па, в насос введен дополнительный катод, выполненный в виде полого цилиндра из геттерного металла,...