Магниторазрядный насос

(22) Эаявл с присоед (23) Приор о 28. 2, 77 (21) 2561321/18 - 2еиием заявки-Гееудяретеенный наатет СССР не делам нзвбретенне и юткрвае(54) МАГНИТОРАЗРЯДНЪЙ НАСОС ыделяется в откачиваемый об като дироем. Цель изобретения - повышение быстротыоткачки путем расширения сферы дейсТвия рас.пыляемого геттерного материала..5 Поставленная цель достигается тем, что сосед.ние ряды параллельных пластин смешены один относительно другого и скреплены между собой стержнем, проходящим перпендикулярно пластинам.10 Ря ельных пластин смешены один угого на половину расстояния ми.казана анодно-катодная систеречный разрез; на фиг. 2 - анод ды параллсительно .др ду пластина На фиг. 1 по соса, попе тно ма5 Насос содержит пл ные из геттерного мат ную систему (не пока Анод составлен из в установленных рядами янием между пластин рядов смещены одна половину расстояниями и скреплены 1Изобретение относится к вакуумной техни. ке, в частности к средствам создания вакуума,Известны магниторазрядные насосы, содержащие плоские катоды из геттерного материала и анод, выполненный в виде взаимно перпендикулярных рядов проволок, образующих ячейки 113Недостаток таких насосов заключается в том, что разрядные пучки ячеек расплываются по аноду в результате слабой нродольной концентрации разряда в них, что снижает эффективность ионизи. рующих столкновений электронов и нейтральных частиц газа. Также известны магниторазрядные насосы, содержащие герметичный корпус, внутри которого расположены катоды и анод, выполненный в виде рядов параллельных пластин 12).В таких насосах ячейки анода образуют мало. проницаемую структуру для распыляемого с катода геттера. В результате количество геттерного материала, которое способен пропустить ячеистый. анод, оказывается недостаточным для по-крытия на противоположном катоде внедривших. ся в него ионов и часть газа при ионной бомбар. оские катоды 1, выполненериала, анод 2 и магнитзана).параллельных пластин 3, с определенным расстоами. Пластины прилегаюшихотносительно другой на672673 Формула изобретения ИПИ Заказ 39015ж 922 Подписное Филиал ППП "Патент",, Ужгород, ул. Проектная 3стержнями 4. Стержни проходят перпендикулярно пластинам через середины их продольных торцовых граней и крепятся к боковым стенкамрамки 5, огибающей по периметру анод. Рамкаобеспечивает электрический 1 потенциал и жесткость конструкции анода,К катодам 1 и аноду 2 прикладывается высокое электрическое напряжение. Магнитное поле направлено параллельно анодным пластинам 3,Пространства, ограниченные боковыми сторонами и продольными торцовыми гранями пластинсовместносо стержнями составляют ячейки, в ко,торых возбуждается магнитоизолированный газо-.вый разряд. Откачка осуществляется путемионизации атомов и молекул газа электронами. 1Пластины 3 поддерживают в пределах каждойячейки продольную концентрацию разрядныхпучков, необходимую для выработки в нихионов и электронов. С помощью стержней 4 обеспечивается развитие разряда в области, прилега. э 0ющей к плоскости симметрии ячеек. Смещейиепластин 3 в прилегающих рядах, составляющееполовину расстояния между. пластинами, создаетвысокую прозрачность анода к геттеру.Распыляемые частицы геттерного катодного 25материала, пролетая: через. айод, запыляют внедрившиеся в противоположный катод ионы газаи не позволяют им выделиться в обьем, Частьгеттера оседает на поверхностях пластин и сорбирует наиболее активные газы. 30Чем выше концентрация разряда в продольном направлении пучка, тем больше образуетсяионов, бомбардирующих катод, а следовательно,тем больше количество распыляемого геттера.При этом повышенная быстрота откачки обус з ловлена усиленным покрытием анодных и катодных пластин геттерным материалом и образованием на катодах более толстого слоя распыля емого геттера, которым замуровываются внедренные в катоды частицы откачиваемого газа, что обеспечивается формой анода.Насос эффективен для откачки как химичес. ки активных газов, сорбируемых поверхностной пленкой геттера, так и инертных газов, которые удаляются главным образом посредством ионной откачки с последующим замуровыванием их в катодах. 1. Магниторазрядный насос, содержащий герметичный корпус, внутри которого расположены катоды и анод, выполненный в виде рядов параллельных пластин, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки, соседние ряды параллельных пластин смешены друг относительно друга и скреплены между собой стерж. нем, проходящим перпендикулярно пластинам.2, Насос цо п 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что ряды параллельных пластин смещены друг от. носительно друга на величину, равную половине расстояния между пластинами,Источники информации, принятые во внима. ние при экспертизе1, Патент США У 3197122, кл, 417-49, 1965,2. Виноградов М. И. и др, Триодный магниторазрядный насос с охлаждаемыми электродами. ПТЭ, 1966, У 2, с. 108 - 109.