Способ регенерации магнитных электроразрядных насосов

. Г. 1"/".") О П ИСАЙ И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскииСоциалистическиеРеспублик 11764010 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51) М, Кл.з Н 01 1 41/12 Государственный комитет Опубликовано 15.09.80. Бюллетень34ло делам изобретений и открытийДата опубликования описания 23.09.80(72) Авторы изобретения А. Б. Владимиров, В. Н. Кайгородов, С. М. Клоцман и И. Ш. Трахтенберг Институт физики металлов Уральского научного центра АН СССР(54) СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ МАГНИТНЫХ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ НАСОСОВ1Изобретение относится к разрядным приборам, предназначенным для откачки при помощи диффузии ионов, в частности для регенерации магнитных электроразрядных насосов (МЭН).Известен МЭН, работа которого основана на поглощении газов титаном, распыленным с плоских катодов при высоковольтном разряде в магнитном поле, для достижения предельной производительности требует после напуска воздуха очистки поверхностей титановых катодов от адсорбированных газов, регенерации. Такой способ регенерации заключается в прогреве насоса под откачкой при 400 С 20 - 30 ч с последующим остыванием насоса в течение 3 - 4 ч 11. Однако потребляемая нагревателями мощность составляет несколько кВт. Кроме того, перед прогревом необходимо снимать магнитную систему насосов, отсоединять систему водяного охлаждения и кабели высокого напряжения, а после остывания насоса после прогрева необходимо провести упомянутые операции в обратном порядке. Кроме длительности и трудоемкости способ регенерации прогревом обладает еще одним недостатком: длительный прогрев и последую 2щее охлаждение металлической конструкции вызывает остаточную деформацию отдельных ее частей. В результате этого происходит разгерметизация металлических уплотнений и изменение габаритных размеров ячеек корпуса насоса, в которое вставляются магнитные блоки. Последнее затрудняет сборку магнитной системы и зачастую приводит к порче магнитных блоков.Наиболее близким по технической сущности является способ регенерации магнит ных электроразрядных насосов, заключающийся в том, что сначала производят безмасляную откачку воздуха из МЭН до давления 10 з - 10 4 мм рт. ст запускают насос и заполняют а ргоном 2 .Однако необходимо длительное времядля достижения предельного вакуума.Цель изобретения - сокращение временипроцесса регенерации. Эта цель достигается тем, что регенерацию проводят при работе МЭН в режиме короткого замыкания, для чего давление аргона доводят до 10 з - 10 е мм рт. ст. с выдержкой 2 - 5 мин, и затем аргон откачивают до давления 104 - 10 з мм рт. ст.,764010 После откачки воздуха из МЭН цеолитовыми насосами в работающий МЭН запускается аргон до перехода работы насоса в режим короткого замыкания. Давление аргона в насосе при этом составляет не выше 10мм рт. ст. В этих условиях насос работает 2 - 5 мин, Далее МЭН выключается и аргон откачивается цеолитовыми насосами до давления не выше 10 з мм рт, ст., после чего откачка МЭН цеолитовыми насосами прекращается и МЭН включают снова. Проработав 1 О - 30 мин (в зависимости от давления напуска аргона) в режиме 15 короткого замыкания, МЭН запускается. Характерной особенностью запуска МЭН после аргонной бомбардировки является резкий переход от режима короткого замыкания к высокой скорости откачки. Напряжение на насосе скачком достигает максимального значения, а ток насоса за 1 - 2 с падает не менее, чем на 2 порядка. Для достижения предельного вакуума описанная процедура осушествляется несколько раз. Разогрев насоса в процессе бомбардировки и ионами аргона не превышает 70 С.Применение предлагаемого способа регенерации магнитных электроразрядных насосов обеспечивает сокращение времени полной регенерации МЭН до 1,5 - 2 ч, что более чем в десять раз меньше по сравнению с временем, рекомендуемым заводом-изготовителем МЭН; сокращение потребляемой энергии для регенерации мощности примерно в 10 раз; отсутствие необходимости прогрева насоса до 400 С и связанное с этим устранение возможной разгерметизации системы формула изобретения Составитель Г.ЖуковаТехред К.Шуфрич Корректор О. Билак Тираж 844 Подписное Редактор С. ПатрушеваЗаказ 6606/17 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4причем процесс повторяют несколько раз до получения предельного вакуума.Способ осуществляется следующим образом. и деформации ячеек для размещения магнитных блоков; отсутствие необходимости для регенерации снимать магнитную систему отсоединять систему водяного охлаждения насоса и кабелй высокого напряжения,Способ регенерации МЭН методом аргонной бомбардировки был испытан при эксплуатации насосов НЭМ, НОРДи НОРД, 4 - 6 циклов аргонной бомбардировки за 1,5 - 2 ч позволяли получать вакуум не хуже 5 10 в мм рт. ст. в системе,объем которой не превышал объема насоса НОРД, служившего для ее откачки. Способ регенерации магнитных электро- разрядных насосов, заключающийся в том, что производят откачку насоса до давления 10 з - 10 4 мм рт, ст., запускают насос, заполняют его инертным газом, например аргоном, выдерживают и откачивают аргон,. отличающийся тем, что, с целью сокращения времени и упрощения процесса, давление аргона доводят до 10- 10 - мм рт, ст, выдерживают 2 - 5 мин, затем откачивают аргон до 10 4 - 10 з мм рт. ст, и повторяют процесс несколько раз до получения предельного вакуума. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Техническое описание. Насос магниторазрядный диодный охлаждаемый, НМДО 025 1, 1977.2. Карпов Ю. А. и др, Магнитные электроразрядные насосы с холодными катодами. Приборы и техника эксперимента, Мо 2, 1964, с. 5 (прототип).