Лазарев

Способ очистки от мышьяка хлоридных возгонов, содержащих хлористое олово

Загрузка...

Номер патента: 991746

Опубликовано: 20.12.2012

Авторы: Лазарев, Семенов, Дьяков, Корюков, Топтыгина, Евдокимов, Дергачёва

МПК: C22B 3/10, C22B 25/00, C22B 30/04 ...

Метки: мышьяка, возгонов, олово, хлористое, содержащих, хлоридных

Способ очистки от мышьяка хлоридных возгонов, содержащих хлористое олово, путем растворения их в солянокислом растворе при 50-80°С с последующим отделением мышьяка декантанцией или фильтрованием, отличающийся тем, что, с целью упрощения и удешевления процесса и улучшения условий труда, растворение возгонов ведут в солянокислом растворе хлорида кальция с концентраций кислоты 40-70 г/л и хлорида кальция 300-400 г/л.

Декоративно-облицовочный материал

Загрузка...

Номер патента: 1048871

Опубликовано: 27.08.2011

Авторы: Зайонц, Гольденберг, Еркова, Чечик, Лазарев, Аким, Маркова, Барболин, Сотников, Савелов, Левечева, Малев

МПК: D21H 19/36, D21H 19/50, D21H 19/40 ...

Метки: материал, декоративно-облицовочный

1. Декоративно-облицовочный материал, преимущественно обои, состоящий из бумаги-основы и нанесенных на нее пигментированного слоя и пленочного покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения влаго- и светостойкости материала, пленочное покрытие выполнено из бутадиенстирольного сополимера, модифицированного продуктом конденсации алкилированного резорцина и формальдегида резольного типа при содержании модификатора в количестве 2-5 мас.ч на 100 мас.ч. сополимера.2. Декоративно-облицовочный материал по п.1, отличающийся тем, что модификатор содержит алкилрезорцин и формальдегид при их мольном соотношении 1:1.

Устройство для наружной сигнализации возвращаемого космического аппарата на участке спуска

Загрузка...

Номер патента: 1840523

Опубликовано: 20.05.2007

Авторы: Захаров, Савельев, Бобрович, Анохин, Лазарев

МПК: B64G 9/00

Метки: космического, наружной, сигнализации, спуска, возвращаемого, участке, аппарата

1. Устройство для наружной сигнализации возвращаемого космического аппарата на участке спуска, содержащее проблесковый источник света и маркер, расположенные под сбрасываемым теплозащитным экраном, отличающееся тем, что, с целью увеличения зоны видимости аппарата, маркер нанесен на днище возвращаемого аппарата, а проблесковый источник света расположен со стороны днища и закреплен на выдвижном элементе, связанном с теплозащитным экраном.2. Устройство для наружной сигнализации возвращаемого космического аппарата на участке спуска по п.1, отличающееся тем, что маркер выполнен в виде дневной флуоресцентной эмали оранжево-красного цвета. 3. Устройство для наружной сигнализации возвращаемого космического аппарата на участке...

Реактивное сопло с устройством для поворота струи

Загрузка...

Номер патента: 642916

Опубликовано: 27.06.2005

Авторы: Дубинин, Лазарев, Соловьев

МПК: B64C 15/02, F02K 1/12

Метки: струи, поворота, реактивное, устройством, сопло

Реактивное сопло с устройством для поворота струи, содержащее корпус, створки сопла и дефлектор, шарнирно закрепленные на корпусе, отличающееся тем, что, с целью уменьшения габаритов сопла, в положении прямой тяги дефлектор внешним концом опирается на наружную поверхность створки.

Наземный кондиционер

Загрузка...

Номер патента: 244894

Опубликовано: 27.02.2005

Авторы: Родионов, Петров, Наумов, Булаевский, Яременко, Лазарев

МПК: B64F 1/36

Метки: кондиционер, наземный

Наземный кондиционер, преимущественно для индивидуальной вентиляции одежды летчиков, содержащий источник давления воздуха, например баллон со сжатым воздухом, редуктор, выход которого соединен со входом турбохолодильника, и раздаточный трубопровод, отличающийся тем, что, с целью повышения его производительности, выход охлаждающего контура турбохолодильника соединен со входным соплом инжектора, расположенным в центральной части эжекционной камеры и эжектирующим воздух из трубопровода, соединенного через вентиль с атмосферой и с вентиляторным контуром турбохолодильника, сообщенного на входе с атмосферой, при этом выходной патрубок эжекционной камеры соединен с раздаточным трубопроводом,...

Стенд для испытания воздушно-жидкостных испарительных теплообменников

Загрузка...

Номер патента: 400227

Опубликовано: 27.02.2005

Авторы: Петров, Лазарев, Наумов, Яременко

МПК: G01M 19/00, B64D 13/08, F28D 5/00 ...

Метки: теплообменников, испарительных, испытания, воздушно-жидкостных, стенд

Стенд для испытания воздушно-жидкостных испарительных теплообменников, содержащий термобарокамеру, подключенную к теплообменнику, соединенному с подогревателем воздуха, вакуум-насос, средства контроля и регулирования параметров воздуха, отличающийся тем, что, с целью приближения условий испытания и эксплуатационным, теплообменник соединен с термобарокамерой через патрубок входа в него охлаждающего воздуха, а с вакуум-насосом - через патрубок выхода охлаждающего воздуха, при этом увлажнитель установлен в термобарокамере на трубопроводе, соединяющим ее с подогревателем воздуха.

Заглушка воздухозаборника

Загрузка...

Номер патента: 1376669

Опубликовано: 20.02.2005

Авторы: Рогов, Лазарев

МПК: F16J 13/10

Метки: заглушка, воздухозаборника

1. Заглушка воздухозаборника, содержащая перегородку, которая окантована уплотнительным профилем и снабжена упорами, между которыми установлена рукоятка, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности и безопасности в эксплуатации, перегородка снабжена подпружиненным обратным клапаном, выход которого обращен во внутрь воздухозаборника.2. Заглушка по п.1, отличающаяся тем, что перекрывной орган обратного клапана снабжен ребрами, которые установлены на его поверхности, обращенной во внутрь воздухозаборника, и выполнены с проушинами под ось опорного шарнира.

Запорно-регулирующий орган

Номер патента: 1575762

Опубликовано: 20.08.2004

Авторы: Лазарев, Кузнецов, Михайлов

МПК: G05D 7/03, F16K 3/00

Метки: запорно-регулирующий, орган

1. Запорно-регулирующий орган, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, установленную в корпусе на валу поворотную заслонку с дисковыми запорными элементами, связанными с телескопическими направляющими осевого перемещения этих элементов, и связанный с валом привод, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности запорно-регулирующего органа при высоких температурах регулируемого потока путем обдува дисковых запорных элементов сжатым газом, корпус снабжен перегородками, которые расположены между входным и выходным патрубками и снабжены соосно расположенными отверстиями, встречные торцы которых образуют седла дисковых запорных элементов, причем поворотная заслонка выполнена в...

Катодный материал химического источника тока

Номер патента: 1577644

Опубликовано: 20.12.2000

Авторы: Волков, Лазарев, Захарова

МПК: H01M 4/48

Метки: материал, источника, химического, катодный

Катодный материал химического источника тока на основе оксидного соединения ванадия, отличающийся тем, что, с целью повышения удельных характеристик источника тока, в качестве оксидного соединения ванадия взяты гидратированные поливанадаты, выбранные из группы, содержащей H2V12O31 8, 6H2O, Li2V12O31 9, 4H2O или Li2V6O16 4, 3H2O.

Устройство для защиты мгд-генератора и его преобразовательной подстанции

Номер патента: 1556496

Опубликовано: 20.07.2000

Авторы: Стукачев, Лазарев, Курносов, Лабунцов, Антонов, Ковбасюк

МПК: H02H 7/10

Метки: мгд-генератора, подстанции, преобразовательной, защиты

Устройство для защиты МГД-генератора и его преобразовательной подстанции, включающей в себя N инверторных мостов, присоединенных через реакторы и сумматоры токов к выходным каналам МГД-генератора, содержащее короткозамыкатель, отличающееся тем, что, с целью повышения и надежности за счет упрощения и облегчения его эксплуатации, короткозамыкатель предназначен для включения между крайними выводами МГД-генератора.

Система электроснабжения ответственных потребителей

Номер патента: 1297684

Опубликовано: 10.07.2000

Авторы: Лазарев, Левченко

МПК: H02J 3/36

Метки: ответственных, электроснабжения, потребителей

Система электроснабжения ответственных потребителей с шинами разных уровней напряжения, разделенная на секции, электрически не связанные между собой на всех уровнях, каждая из которых содержит источники активной и/или реактивной мощности и передачи (вставки) постоянного тока для асинхронной связи с другими энергосистемами, включающие в себя каждая датчик напряжения на шинах примыкания передачи (вставки) постоянного тока и регулятор мощности с узлом уставки и каналом стабилизации частоты в своей секции, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности энергоснабжения потребителей путем исключения режимов длительной работы секций с несинфазными напряжениями, в нее введен задатчик...

Преобразователь переменного тока в переменный для вставок постоянного тока

Номер патента: 1358719

Опубликовано: 10.07.2000

Авторы: Лазарев, Краснощекова, Левченко, Ракова

МПК: H02J 3/36

Метки: постоянного, переменный, вставок, переменного

Преобразователь переменного тока в переменный для вставок постоянного тока, содержащий выпрямитель и инвертор, образованные последовательно соединенными мостами, средняя точка которых у инвертора заземлена, полюса которых соединены друг с другом через сглаживающие реакторы, отличающийся тем, что, с целью улучшения условий работы преобразовательного оборудования за счет обеспечения раздельного выбора значений результирующей индуктивности сглаживающих реакторов для процессов в силовом контуре постоянного тока и для контуров паразитных колебательных процессов при одновременном снижении массогабаритных показателей, сглаживающие реакторы выполнены с общей магнитной системой, причем одноименные...

Реверсивный преобразователь переменного тока в переменный

Номер патента: 1294259

Опубликовано: 10.07.2000

Авторы: Кулаков, Лазарев, Шульга, Левченко

МПК: H02J 3/36, H02M 5/45

Метки: переменный, реверсивный, переменного

Реверсивный преобразователь переменного тока в переменный, содержащий последовательно соединенные на стороне постоянного тока преобразовательные мосты, подключенные через сглаживающие реакторы к последовательно соединенным на стороне постоянного тока другим преобразовательным мостам, ограничители перенапряжений, включенные параллельно вентилям мостов, и ограничители перенапряжений, включенные между землей и средней точкой цепочки из последовательно соединенных преобразовательных мостов, отличающийся тем, что, с целью уменьшения массогабаритных показателей, преобразователь снабжен коммутационными аппаратами, каждый из которых подключен параллельно одному из ограничителей перенапряжений,...

Устройство защиты от аварийных сверхтоков канала мгд генератора и его системы нагружения

Номер патента: 1685229

Опубликовано: 10.06.2000

Авторы: Лазарев, Антонов, Стукачев, Ковбасюк, Лабунцов, Курносов

МПК: H02H 7/122, H02K 44/08

Метки: системы, аварийных, сверхтоков, канала, генератора, мгд, нагружения, защиты

Устройство защиты от аварийных сверхтоков канала МГД-генератора и его системы нагружения, содержащее электромеханический и тиристорный ключи, подключенные параллельно к крайним выводам канала МГД-генератора, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности, оно дополнительно снабжено развязывающими диодами и промежуточным выводом, расположенным между крайними выводами канала, причем одна из точек соединения ключей присоединена через развязывающие диоды соответственно к одному из крайних и промежуточному выводам канала.

Дожигатель отработавших газов двигателя внутреннего сгорания

Номер патента: 714835

Опубликовано: 20.03.2000

Авторы: Лазарев, Косоруков, Пашин, Попов

МПК: F01N 3/26

Метки: дожигатель, отработавших, двигателя, газов, внутреннего, сгорания

Дожигатель отработавших газов двигателя внутреннего сгорания, содержащий корпус и установленные в нем жаровую трубу и дефлектор, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности, жаровая труба и дефлектор размещены в корпусе каждый с торцовым зазором и снабжены фланцами для крепления к корпусу, причем во фланцах выполнены радиальные прорези, переходящие на основную часть трубы и дефлектора.

Способ формирования еюностомы

Номер патента: 1211916

Опубликовано: 20.11.1999

Автор: Лазарев

МПК: A61B 17/00

Метки: еюностомы, формирования

Способ формирования еюностомы путем извлечения петли тощей кишки, наложения соустья между приводящим и отводящим коленами, ушивания приводящего колена у верхушки петли, вшивания верхушки в рану брюшной стенки, вскрытия просвета кишки после операции, отличающийся тем, что, с целью снижения числа осложнений, связанных с зондовым питанием и забрасыванием содержимого кишки на кожу, на приводящем колене кишки накладывают инвагинирующие швы вдоль всей его длины, а на отводящем колене накладывают три группы инвагинирующих швов у межкишечного соустья, посередине колена и у верхушки петли, которую выпрямляют и укладывают по ходу нижней горизонтальной ветви двенадцатиперстной кишки с отклонением вниз.

Способ химико-термической очистки углеграфитового материала в электрической печи

Номер патента: 1814802

Опубликовано: 27.10.1999

Авторы: Коршунов, Лазарев, Дербенев, Ковалева

МПК: C01B 31/04

Метки: углеграфитового, химико-термической, печи, электрической

Способ химико-термической очистки углеграфитового материала в электрической печи, включающий размещение обрабатываемого материала в слое углеродной засыпки, нагрев и последующую обработку галогенсодержащим газом, отличающийся тем, что, с целью снижения содержания токсичных продуктов в отходящих газах, на поверхность слоя углеродной засыпки помещают муллитокремнеземистый волокнистый материал или смесь оксида алюминия с оксидом кремния при отношении оксида алюминия к оксиду кремния 1 : (0,5 - 1).

Способ изготовления тонкопленочного резистора

Номер патента: 1290941

Опубликовано: 10.10.1999

Авторы: Кузнецов, Лазарев, Осипов

МПК: H01C 17/00

Метки: тонкопленочного, резистора

1. Способ изготовления тонкопленочного резистора, включающий формирование на диэлектрической подложке двух резистивных слоев с противоположным по знаку относительным изменением во времени и соединение их между собой последовательно или параллельно, отличающийся тем, что, с целью повышения временной стабильности сопротивления резистора, после формирования резистивных слоев с противоположным по знаку относительным изменением сопротивления во времени, определяют величину относительно изменения сопротивления каждого резистивного слоя по истечении 250 ч, после чего определяют величину сопротивления каждого слоя по выражению (1) в случае последовательного соединения резистивных слоев и по...

Устройство для определения срыва воздушного потока с аэродинамической поверхности

Номер патента: 1172203

Опубликовано: 27.05.1999

Авторы: Лазарев, Седов, Белый, Емельянов

МПК: G01K 7/38, B64D 43/02

Метки: срыва, аэродинамической, потока, воздушного, поверхности

Устройство для определения срыва воздушного потока с аэродинамической поверхности, содержащее чувствительный элемент, выполненный в виде нанесенных на немагнитную подложку клиновидного токопроводящего основания, изоляционной пленки, ферромагнитной пленки и изоляционной пленки с контактами, соединенными группами между собой и регистратором, а также генератор переменного напряжения, отличающееся тем, что, с целью повышения точности определения момента возникновения срыва воздушного потока с аэродинамической поверхностью, в него введены генератор тока, прямоугольная металлическая пластина из материала с высоким удельным электрическим сопротивлением и терморезистор, при этом генератор...

Сигнализатор сваливания вертолета

Номер патента: 1162151

Опубликовано: 27.05.1999

Авторы: Емельянов, Лазарев, Иванов, Белый

МПК: B64D 43/02

Метки: сигнализатор, вертолета, сваливания

1. Сигнализатор сваливания вертолета, содержащий усилитель, последовательно соединенные вращающийся трансформатор и ключевую схему, последовательно соединенные датчик положения лопасти и формирователь прямоугольных импульсов, а также индикатор, при этом выход формирователя прямоугольных импульсов соединен с вторым входом ключевой схемы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения срывного флаттера, в него дополнительно введены тензодатчик и избирательный усилитель, при этом выход тензодатчика соединен с входом усилителя, выход которого соединен с входом вращающегося трансформатора, а избирательный усилитель включен между выходом ключевой схемы и входом индикатора.2....

Сигнализатор максимально допустимой скорости вертолета

Номер патента: 1267725

Опубликовано: 27.05.1999

Авторы: Козицин, Емельянов, Лазарев, Думчева

МПК: B64D 43/02

Метки: максимально, сигнализатор, скорости, допустимой, вертолета

Сигнализатор максимально допустимой скорости вертолета, содержащий последовательно соединенные усилитель, вращающийся трансформатор, первую ключевую схему и избирательный усилитель, последовательно соединенные датчик положения лопасти и формирователь прямоугольных импульсов, выход которого соединен с управляющим входом первой ключевой схемы, и индикатор, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения максимально допустимой скорости вертолета, в него введены датчик акустического давления, расположенный на передней кромке лопасти, последовательно соединенные пороговое устройство и вторая ключевая схема, а также последовательно соединенные датчик воздушной скорости и компаратор...

Устройство для измерения угла атаки вертолета

Номер патента: 1318044

Опубликовано: 20.05.1999

Авторы: Емельянов, Лазарев, Козицин, Антонец, Тепанов, Кубарев

МПК: G01C 21/06

Метки: вертолета, угла, атаки

Устройство для измерения угла атаки вертолета, содержащее два акселерометра, ориентированных по продольной и вертикальной осям вертолета, гировертикаль и блок вычисления синуса, последовательно соединенные датчик воздушной скорости и дифференцирующий блок, первый усилитель и первый сумматор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения истинного угля атаки вертолета, в него введены второй блок вычисления синуса и три блока вычисления косинуса, при умножителя, второй и третий усилители, второй и третий сумматоры и блок интегрирования, при этом выход гировертикали через первый блок вычисления синуса и второй усилитель соединен с первым входом второго сумматора, выход...

Способ выделения благородных газов из газовых отходов

Номер патента: 1003682

Опубликовано: 20.02.1998

Авторы: Исупов, Страхов, Егоров, Лазарев, Олейник, Любцев

МПК: G21F 9/02

Метки: газов, благородных, выделения, отходов, газовых

1. Способ выделения благородных газов из газовых отходов, содержащих компоненты воздуха, путем поглощения благородных газов фреоном с последующим извлечением их из фреона, отличающийся тем, что, с целью полного разделения выделяемых компонентов и повышения степени их очистки, благородные газы конденсируют во фреоне при температуре ниже температуры кипения выделяемого компонента и выше температуры кипения остальных, более низкокипящих компонентов смеси, а извлечение из фреона осуществляют при температуре выше температуры кипения извлекаемого компонента, но ниже температуры кипения фреона.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что поглощение ксенона осуществляют во фреоне 12 и 22 при температуре 163 123К, а его извлечение при 165 -...

Воздухоочиститель

Номер патента: 1220417

Опубликовано: 27.07.1997

Авторы: Фесина, Лысенко, Старобинский, Лазарев

МПК: F02M 35/14

Метки: воздухоочиститель

Воздухоочиститель для двигателя внутреннего сгорания, содержащий корпус, выполненный в виде кругового цилиндра и днища, крышку корпуса, кольцевой фильтрующий элемент, расположенный концентрично в цилиндрическом корпусе, впускное и выпускное окна, причем впускное окно выполнено в цилиндре, а выпускное окно в днище, и центры окон размещены во взаимно перпендикулярных плоскостях, проходящих через ось цилиндра, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности шумоглушения путем оптимального расположения фильтрующего элемента в корпусе, боковые поверхности фильтрующего элемента размещены по обе стороны от окружности с радиусом r 0,63R, где R радиус кругового цилиндра.

Способ получения бората кальция

Номер патента: 1205483

Опубликовано: 27.02.1997

Авторы: Никольский, Воробьев, Лазарев, Архипова, Гойзман, Алехин, Плышевский, Каверзин, Юрченко, Пермяков, Алексеев

МПК: C01B 35/12

Метки: бората, кальция

Способ получения бората кальция из маточных или промывных борсодержащих растворов производства борной кислоты сернокислотным методом, включающий обработку известковым молоком с последующим отделением продукта, отличающийся тем, что, с целью снижения содержания примесей в продукте, исходные растворы предварительно обрабатывают прокаленным датолитовым сырьем, отделяют осадок, а раствор направляют на стадию обработки известковым молоком.

Способ изготовления тонкопленочных резисторов на основе сплавов хрома и кремния

Номер патента: 1540578

Опубликовано: 27.12.1996

Авторы: Чеботаренко, Мараканов, Мушакова, Лазарев, Осипов, Елютин

МПК: H01C 7/00

Метки: основе, хрома, кремния, сплавов, резисторов, тонкопленочных

1. Способ изготовления тонкопленочных резисторов на основе сплавов хрома и кремния, включающий нанесение на диэлектрическую подложку резистивного и проводникового слоев, формирование рисунка резистивных и проводниковых элементов и стабилизацию термообработкой на воздухе с последующим формированием защитного слоя путем нанесения металлического слоя и его оксидирования, отличающийся тем, что, с целью повышения временной стабильности резисторов, в качестве металлического слоя используют сплав на основе титана с добавками циркония, ниобия и молибдена, а операцию стабилизации и оксидирования металлического слоя совмещают.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что стабилизацию резистивного слоя осуществляют при температуре 350...

Высоковольтный вентиль

Загрузка...

Номер патента: 1829860

Опубликовано: 27.08.1996

Авторы: Шакарян, Булатов, Одынь, Лазарев, Лыщак

МПК: H02M 1/00

Метки: высоковольтный, вентиль

...следовательно, ток нагрузки в момент (, падает до нуля, После спада к нулю тока 1 об, через неполностью управляемый ключ перевода тока 5 протекает уменьшающийся во времени ток вызванный остаточной энергией, накопленной в формирующем дросселе 9. Когда токсравнивается с током удержания полупроводникового ключа перевода тока 5, он обесточивается и восстанавливает свои непроводящие свойства. С момента (, вентиль готов к следующему такту работы (фиг,4, ж),Электромагнитные процессы в высоковольтном вентиле (фиг,2) протекают идентично рассмотренным выше до момента времени 14, Как только полупроводниковая структура 4 восстанавливает свои непроводящие свойства и ток 1 об, снижается до нуля, на ключ перевода тока 5, который в вентиле (фиг.2)...

Способ палладирования поверхности полупроводниковых соединений типа aiiibv

Номер патента: 1335062

Опубликовано: 10.08.1996

Авторы: Филипченко, Якорев, Лазарев, Анисимова

МПК: H01L 21/445

Метки: полупроводниковых, типа, поверхности, соединений, палладирования, aiiibv

Способ палладирования поверхности полупроводниковых соединений типа AIIIBV, включающий очистку поверхности, осаждение палладия из водного раствора двуххлористого палладия, отмывку и сушку поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения качества метал- лизации и снижения расхода палладия, осаждение пленки палладия ведут из раствора с концентрацией двуххлористого палладия от 0,005 до 0,01 мас. содержащего 1-1000 кг/м3 соляной кислоты, при температуре 293-298 К.

Способ термообработки пленочных резисторов на основе сплава хрома и кремния

Номер патента: 1598730

Опубликовано: 20.07.1996

Авторы: Лазарев, Осипов, Стусь

МПК: H01C 17/00

Метки: основе, пленочных, кремния, хрома, резисторов, термообработки, сплава

1. Способ термообработки пленочных резисторов на основе сплава хрома и кремния, включающий многостадийную термообработку в диапазоне температур 350-450oС, каждая из которых содержит изотермическую выдержку, охлаждение до комнатной температуры, измерение величины сопротивления резисторов и расчет значений величин ТКС, причем операцию термообработки прекращают по достижении заданных значений величин ТКС, отличающийся тем, что, с целью повышения временной и температурной стабильности резисторов, после измерения величин сопротивления резисторов и расчета значений ТКС резисторы нагревают со скоростью 180-200oС/с до 460-500oC с последующим охлаждением и повторным измерением величин сопротивления резисторов и...

Способ изготовления тонкопленочных резисторов на основе сплавов хрома и кремния

Номер патента: 1598726

Опубликовано: 20.07.1996

Авторы: Савчук, Аванесян, Осипов, Лазарев, Стусь

МПК: H01C 7/06, H01C 17/00

Метки: основе, кремния, резисторов, хрома, сплавов, тонкопленочных

1. Способ изготовления тонкопленочных резисторов на основе сплавов хрома и кремния, включающий последовательное нанесение резистивных и проводниковых слоев на диэлектрическую подложку методом термического испарения в вакууме, формирование проводниковых и резистивных элементов методом фотолитографии, многократную термообработку в диапазоне температур 250 550°С, включающую нагрев, охлаждение, измерение сопротивления резисторов и расчет значений ТКС, изотермическую выдержку, подгонку величины сопротивления, причем термообработку прекращают по достижении заданных значений ТКС, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности изготовления за счет временной стабильности резисторов, подгонку величины сопротивления осуществляют в два этапа,...