Патенты с меткой «экспонированию»
Способ подготовки к контактному экспонированию и устройство для его осуществления
Номер патента: 750614
Опубликовано: 23.07.1980
Авторы: Детлеф, Дитер, Петер, Хельмут
МПК: H01L 21/00
Метки: контактному, подготовки, экспонированию
...чаши 9. Концентрично прижимному столу 1 размещено наружное кольцо 10, которое может перемещаться вдоль общей симметрической оси относительно прижимного стола 1. Общая поверхность соприкосновения 11, выполняющая функцию направляющей, расположена ступенчато, так что прижимной стол 1принимает форму гриба, а наружное кольцо 10 - форму чаши. Полость 12, образованная поверхностями стола 1 и наружного кольца, соединена с системой откачкипосредством канала 13. Канал 14 соединенс откачной системой.Принцип действия и технологические операции заключаются в следующем,При наложении полупроводникового диска 3 поверхность прилегания наружного кольца 10 находится снизу поверхности 2 прижима. При ориентировании поверхность прилегания наружного...