Устройство для перемещения полупроводниковых пластин

Вг -а(,о ихняянет,и 11 -д, .-Я й а 702432 библис 1 ен;д М "а, . Союз СоветскнкСоциалистичесимкреспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Дополнительное к авт, свид(22) Заявлено 18 10,76 (21)2423760/18-.21с присоединеинеее заявки М -01 Ь 21/0 дарстеееФ юететСССРделам лэебретеейв етлеытей 23) Приоритет 53) УДК 621,396.публиковало 05.12.79, Бюллетень М 45 Дата опубликования описания 10.12.79 Авторы зобретеиияИ, Поярк Н, И. н, В, Н. Комаров 71) Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПОЛИ 1 РОВОДНИКОВ ПЛАСТИН ния их в Изобретение относится к области ра-.диоэлектроники, в частности к устройствам для транспортировки полупроводниковых пластин.Иевеотны устройства для перемещениполупроводниковых пластин, содержащиепневмотранспортер, соиентирующий рабочий стол с каналами и кассету Я.Недостатком иввестных устройст в является невозможность обеспечения выборочного перемещения пластин и воввратаих в исходное положение.Иевестно,также устройство для перемещения попупроводниковых пластин, содержащее вакуумный носитель, кассету ирабочий стол 2,Однако устройство также не обеспечивает выборочного перемещеисходное положение.Цель ивобретения - выборочное перемещение полупроводниковых пластин ивовврат их в исходное положение,Для етого в устройстве для перемешения .полупроводниковых пластин, содержа щем вакуумный носитель, кассету, рабочи стол, вакуум;ый носитель выполнен в виде П-образного захвата и установлен между кассетой и рабочим столом с возможностью взаимодействия внутренними сторонами боковых полок с рабочим ст( лом, а внешними - со стенками кассеты.На фиг. 1 - схема общего вида устройства, на фиг.:, 2 - разрез А-А на фиг. 1. Устройство содержит кассету 1 спластиИамй:. 2, перемещающуюся в. вертикальной плоскости на шаг, равный расстоянию между соседними павами кассеты 1 1 Зили кратный етому расстоянию, вакуумныйноситель 3, совершающий возвратно-постунательное перемещение привода. Вакуумный носитель 3 выполнен в виде пологоФ20П-обравного вахвата с наклонными отверстиями на верхней плоскости, Рабочийстол 4 установлен на валу 5 в корпусе6. Вал 5 с помощью шестеренки 7 входит в вацепление с рейкой 8, установленГ3 7024ной неподвижно. Устройство также содержит эксцентрик 9, микроскоп 1 О,Устройство работает следующим ооразом.Вакуумный носитель 3 П-образнымзахватом заходит под выбранную пластину 2 кассеты 1, В это время в полостьвакуумного носителя 3 подают вакуум,удерживая пластину 2 на вакуумном носителе 3, который перемещают к рабочему столу 4. С помощью эксцентрика 9поднимают рабочий стол 4, при этом вакуум в полости носителя 3 отключен, а .в столе 4 включен, Таким образом, пластину 2 снимают с вакуумного носителя 15Э и укладывают на рабочий стол 4. Вакуумный носитель 3 возвращают в исходное положение. Корпус 6 вместе,с рабочим столом 4 совершает возвратно-поступательное движение, и рабочий стол 4,вращается за счет зацепления шестерни7 с рейкой 8, Во время сложного перемещения рабочего стола 4 осуществляютвизуальный контроль полупроводниковой25пластйны 2 с помощью микроскопа 10.После контроля пластины рабочий стол 4останавливают, вакуумный носитель 3заходит иод пластину 2. Рабочий стол 4эа счет поворота эксцентрика 9 опускают,ЗОотключают вакуум в рабочем столе 4, ав вакуумнЬм носителе 3 - включают. Приетом пластину 2 фиксируют на вакуумном 32 4носителе 3. Вакуумный носитель 3 подает, пластину 2 в кассету 1. При обратном перемещении вакуумного носителя 3 иэ кассеты 1 в полость вакуумного носителя 3 подают воздух, что исключает возможность смещения пластины 2 при обра 1 ном ходе вакуумного носителя 3, так как образуется воздушная подушка между пластиной 2 и вакуумным носителем 3.формула изобретенияУстройство для перемещения полупроводниковых пластин, содержащее вакуумный носитель, кассету и рабочий стол, о т л и ч а ю щ е е с я тем что, с целью выборочного перемещения полупроводниковых пластин и возврата их в исход ное положение, вакуумный носитель выполнен в виде П-ебразного захвата и уста - новлен между кассетой и рабочим столом с возможностью взаимодействия внутренними сторонами боковых полок с рабочим столом, а внешними - со стенками кассеты.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1., Авторское свидетельство СССР М 305746, кл. В 41 6-700 06.62,70,2. Модель 8902-США. фОбеоры по электронной технике", вып. 5, 1975,