Запесоцкий

Номер патента: 752558

Опубликовано: 30.07.1980

Авторы: Блях, Запесоцкий, Кирсанов

МПК: H01L 21/00

Метки: травления, химического

...с зубчатым венцом камеры.На чертеже изображено устройство, общий вид.Устройство для химического травлениясодержит цилиндрическую камеру 1, в которой установлены зубчатые колеса 2 сгнездами 3, и съемную кассету 4, причемкамера снабжена зубчатым венцом 5. Кассета 4 соединена с приводом 6,Устройство работает следующим обра зом. На кассету 4 с зубчатыми колесами 2 отдельно помещают полупроводниковые пластины защитным покрытием вниз, В камеру 1 заливают травитель. Кассету 4 с пластинами опускают в камеру 1 с травителем, при этом кассета 4 посредством муфты входит в зацепление с центральным приводом 6, а шестерни 2 - с венцом 5. Посредством привода 6 через муфту кассете 4 передают вращательное движение, при этом зубчатые колеса 2, обегая...

Номер патента: 287262

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Брод, Голиков, Запесоцкий, Микулинский, Соловьева

МПК: C03C 23/00

Метки: отмывки, труб

...устройство; на фиг. 2 - то же, разрез по А - А; фиг. 3 - то же, вид по стрелке Б.Устройство для отмывки труб содержит ванну 1, кожух 2, систему подачи кислоты ожатым воздухом 3, опорные ролики 4, приводроликов э. На опорные ролики установленыдва диска 6, связанные, между собой стяжками 7. Диски имеют радиальные пазы З,неоди 5 наковой глубины для эксцентричного раоположения концов трубы относительно оси,вращения, в которых расположены,ползуны 9 сприжимньвги винтами 10. Штыри 11 фиксируют ползупьт в дисках. Труба устанавливает 10 ся в пазу и закрепляется прижимныци винтам,и.Данное устройство работает следующим образом,Закрепленная в дисках трубы заполняется15 небольшим количеством реагента, герметизируется резиновыми...