Устройство для перемещения объектов

(51) М. Кл,Н 011,О. 23) Приоритет - (32) 04.131) ЮР Н 018/175094 (33) ГДР 3 Гесударственный нампет СССР но делам нэабретвннй и етхрытнй: Иностранное предпфФеб зпектроматфОДР) 72) Авторы изобретения р н Хекьга мерм ти Заявите ЕШЕНИЯ ОБЪЕКТОВ УСТРО СТ объектов ент, выИзобретение относится к оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может использоваться, например, в установках для точного совмещения полу. проводниковых пластин и фотошаблонов прн экспонировании.Известно устройство для перемещения объектов, содерж а щее корпус и пьезоэлектрическиене элементы в виде набора пластинок, установленных между зажимами 1).Известно также устройство для неремеаеиия объектов, содержащее корпус и пьезоэлектрические элементы в виде наборов упругих пластинок, скрепленных по концам зажимами 2).Оба устройства обеспечивают точные микроперемещения объектов, но диапазон перемещений мал.Целью изобретения является увеличение диапазона перемещений.Цель достигается тем, что в устройство для перемещения объектов, содержащее корпус и пьезоэлектрические элементы в виде наборов упругих пластинок, скрепленных по концам зажимами, введены пластинчатые пружины,соединяющие, по крайней мере, один из зажимов каждого набора упругих пластинок с корпусом, причем плоские поверхности пружины расположены перпенди. кулярно направлению продольного изменения.размеров пластинок. По крайней мере, один зажим каждого набора упругих пластинок может быть соединен посредством пластинчатых пружин с зажимом другого набора, жестко соединенного, в свою очередь, с корпусом,На фнг,показано устроиство с двусторонним креплением зажимов к корпусу; на 10 фиг. 2 в . устройство с односторонним креплением; на фнг. 3 - схема установки устройства для перемещения объектов на фундаменте; на фиг. 4 - схема установки устройства с промежуточным приводом грубого позиционирования; на фиг. 5 - варианты устройства с последовательным соединением наборов упругих пластинок: а - при двустороннем закреплении зажимов; б - при односторонном закреплении; иа фиг. 6 - варианты устройства при параллельном соединении 20 наборов упругих пластин: а - при двустороннем закреплении зажимов; б - при односторонном закреплении.Устройство для перемещениясодержит пьезоэлектрический энем643полнепцый в виде набора пл.стинок 1, зажимы 2, пружины 3, соединяющие зажимы скорпусом 4.Элемент 5 соединяет пластинки с перемегцаемым объектом. Два наружных электрода 6 и средний электрод 7 соединяютпьезоэлектрический элемент с токоподводом 8. При подаче электрического напряжения упругие пластинки пьезоэлектрическогоэлемента прогибаются в зависимости от. полярности вверх или вниз, причем возможноеперекашивание зажимов компенсируется упругим прогибом пружин.Устройства с односторонним креплениемпьезоэлектрических элементов (см. фиг. 2)обеспечивают больший диапазон перемещений, но меньшие установочные усилия посравнению с устройствами, в которых зажимы пьезоэлектрических элементов закреплены с двух сторон,Для перемещения объектов устройствоустанавливается между подвижным объектом 9 и опорой 10 (фиг, 3). При необходимости получения большего перемещенияобъекта между опорой и устройством можетбыть установлен привод 11 грубого позиционирования (фиг. 4),При последовательном соединении наборов упругих пластинок обеспечивается оптимальный диапазон перемещения (фиг, 5),при параллельном соединении - оптимальный диапазон установочного усилия. 63854формцла изобретения 1, Устройство для перемещения объектов, содержащее корпус и пьезоэлектрические эле- менты в виде наборов упругих пластинок, скрепленных по концам зажимами, отличающееся тем, что, с целью увеличения диапазона перемещений, в него введены пластинчатье пружины, соединяющие, по крайней мере, один из зажимов каждого набора упругих пластинок с корпусом, причем плоские поверхцости пружины расположены перпендикулярно направлению продольного изменения размеров пластинок. 2. Устройство по п, 1, отличающееся тем,что, по крайней мере, один зажим каждогонабора упругих пластинок соединен посредством пластицчатых пружин с зажимом другого набора, жестко соединенного, в своюочередь, с корпусом,20 Источники информации, принятые во внимание прн экспертизе. М, Вогпег, К. Е. Непп 1 дз, Ъ, О,Яга 11251 е, Мазепе(озтг 1 М лег Кгецк 11 з 1 те гшпГе 1 п) цзт 1 егеп чок Мазсеп дедепйЬег НаЬ 1 е 1(егзсйе 1 Ьеп, Мезз(есЬп 11, 1969,10,зз. 244 - 247,2. Глозман И. А. Пьезокерамика М.,Энергия, 1967, с. 139.Составитель Ю. Цветков Техред О. Луговая К Тираж 922 рственного комитета СССР изобретений и открьггнй Ж.35, Раушская наб., д. 4/Ь нтъ, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Редактор Т Заказ 122/4 ловская ЦНИИПИ Госудапо делам113035, Москва, нлиал ППП Пате орректор В. Куприяноводписное