Установка для непрерывной обработки изделий в вакууме

Союз Советских Социалистических Республик(43) Опубликовано 21.Х 1.1973. Бюллетень 46 Гвсудврствеииый комитетСавета Мииистрав СССВпо делам изабрвтеиийи открытий(45) Дата опубликования описания 172) Авторы изобретения 3. А. Азбиль и С, В. Леонтьев(71) Зачвитель ЛЯ НЕПРЕРЫВНОЙ ОБРАБОТКИИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ ТАНОВ Изооретение относится к области непрерывной обработки изделий в вакууме и может быть использовано для изготовления деталей в электронике.Известна установка для непрерьввной обработки изделий в вакууме, содержащая камеру, внутри которой расположены транспортный диск и устройство для технологической обраоотки, входной н выходной шлюзы н механизм подачи изделий во входной шлюз.Однако известная становка не позволяет обрабатывать одновременно достаточное количество изделий.Цель изобретения - повышение производительности установки.Это достигается тем, что на участке диска между торцами шлюзов выполнены радиальные пазы, рабочие плоскости которых совпадают с рабочими плоскостями шлюзов, расположенных на одной оси под углом к горизотальной плоскости диска.На чертеже представлена конструкция предложенной установки. Установка состоит из вакуумной камеры 1, с которой сообщаются два щелевых шлюза с дифференциальной откачкой; входной шлюз 2 для загрузки предназначенных для обработки изделий в камеру и выходной шлюз 3 для выгрузки, В камере 1 установлен транспортный диск 4. Шлюзы 2 и 3 расположены на одной оси и в однон плоскости под некоторым углом к горизонтальной плоскости диска 4.В утолщенной части диска 4, расположенной между торцами входного 2 и выходного 3 шлюзов, выполнены радиальные Т-образные пазы О, имеющие по отношению к горизонтальной плоскости диска 4 тот же угол наклона, что и шлюзы 2 и 3, причем в каждьш момент выстоя диска рабочие плоскости очерсд ного паза совпадают с рабочими плоскостями шлюзов, в результате чего образуется одна общая наклонная плоскость для перемещения изделий 6 под действием механизма 7 подачи изделий во входной шлюз 2, установленного 1,- с торца входного шлюза 2, вне камеры 1, Вкамере установлено устройство 8 для технологической обработки. Диск 4 приводится в прерывисто-вращательное движение механизмом 9 поворота.20 Установка раоотает следующим образом.Механизм 9 поворота приводит диск 4 впрерывистое вращение так, что с каждым поворотом диска на определенный угол, очередной его паз совпадает со щелями шлюзов 2 2;, и 3. Во время выстоя диска механизм 7 за.талкивает очередное изделие 6 в щель входного ш,тюза 2 на шаг, раэньш его длине, После наполнения входного шлюза 2 изделичми 6 механизм 7, подавал очередное издезо лие 6 В щель шлюза, одновременно заталкн.l Составитель Э. АнисимоваРедактор И. Шубина Техред 3. Тараненко Корректор Л. Новожилова Заказ 1773 Изд.1139 Тираж 875 Подписное ЦНИИПИ Государственного кОмитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Загорская типография 3вает изделие, расположенное перед диском, в Т-образный паз б. По мере совершения диском 4 одного полного оборота в каждый радиальный паз б подается по одной детали, когорые образуют первый ряд деталей, загруженных в диск 4. При совершении следующего оборота диском 4, механизм 7, подавая в пазы Б диска очередные изделия в первый ряд, перемещает находящиеся в этом ряду изделия во второй ряд,При совершении диском 4 третьего оборота механизм 7, заталкивая очередные детали в щель входного шлюза 2, одновременно перемещает изделия, находящиеся во втором ряду диска 4 в щель выходного шлюза 3, через который изделия сплошным потоком выталкивается из камеры 1. Установка для непрерывной обработки 5 изделий в вакууме, содержащая камеру, внутри которой расположены транспортный диск и устройство для технологической обработки, входной и выходной шлюзы и механизм подачи изделий во входной шлюз, отличающаяся 1 О тем, что, с целью повышения производительности, на участке диска между торцами шлюзов выполнены радиальные пазы, рабочие плоскости которых совпадают с рабочими плоскостями шлюзов, расположенных на од ной оси под углом к горизонтальной плоскости диска.