Пагентйо

Номер патента: 357276

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Пагентйо, Силис

МПК: C23C 14/56

Метки: ьиблиотена

...из камеры 1 со ступенчатым понижением давления и загрузочногомеханизма, выполненного в виде кассеты 2,по торцам которой установлены подпружиненные уплоптительные элементы т, образующиевместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки,Кассеты 2 с изделиями 4 смонтированы нароликах 5, Соединение кассет в,цепь осуществляется с помощью зацепок б, На корпусе шлюзовогпатруоковсам:Кассета 2 с закрепленньв в ней изделием4, предназначенным для металлизации, помещается в камеру 1. С помощью зацепок б кпервой кассете присоединяется следующаяи т. д., тем самым образуя непрерывную цепь.Представляя собой отдельную подвижнуюО камеру, каждая из кассет, по мере продвижения в сторону высоковакуумной камеры, посредством ролтков 5,проходит ряд...