Казаскер

Номер патента: 279291

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Баранов, Бацкиаури, Воскобойников, Гаврилов, Гал, Голубцов, Залипский, Замиховский, Злотин, Казаскер, Лагуткин, Ларионов, Малкин, Нова, Преображенский, Раменский, Симео, Тихомиров, Фишель, Шуберт

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, многослойных, нанесения, покрытийв

...систему высоковакуумной откачки, работающую независимо от вы соков акуум ной системы откачки 1 Б дополнительной камеры и системы откачкишлюзовых камер. Кроме того, каждая из рабочих камер или группа их снабжены индивидуальной системой высоковакуумной откачки,На фиг. 1 - общий вид предлагаемого уст ройства в двух проекциях; на фиг. 2 - поперечный разрез устройства по дополнительной и рабочей камерам.Как видно из фиг. 1, устройство состоит изряда последовательно установленных обособ ленных рабочих камер 1 и дополнительной вакуумной камеры 2. Крайние камеры 3 и 4 служат для размещения в них механизмов загрузки и выгрузки соответственно.В дополнительной вакуумной камере 2 (см.30 фиг. 2) расположен транспортирующий меха.низм б подложки. В...