Устройство для катодного распыления материалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 405215
Автор: Авторы
Текст
я 405235 ОП ИС"АНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликК й АТВНТУ исимый от патентаМ. Кл. С 23 с 15/ОО.Заявлено 4.71.1971 ( 1659441/22-1)10.И 1.1970,7026730, Франци Приори осударственныи комитетСовета Министров СССРпо делам изобретенийи атнрытий Опубликовано 22.Х.1973, Бюллетень44 Чата опубликования описания 10.Л 1.1974. 621.793 12.00тОЫВ) ИностранцыПьер Лаведан и Робер(Франция) Авторы 1 зобретения Мазотти Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГ МАТЕРИАЛОВСПЫЛЕНИ Изобретение относится к области нанесения покрытий в вац;ме и может быть применено для получения тонкопленочных покрытий на металлических подложках методом катодного,распыления.Известно устройство для каторжного распыления материалов, содерж а,ге вакуумную камеру, внутри которой укреплены катоды, механизм перемещения металлических подложек, и блок ионной очистки.Цель изобретения - проведен.:.". последовательных стадий очистки и распыления одновременно на обеих сторонах подлож.,;, чего не позволяет известное устройство.Для этого механизм перемещения в пред. лагаемом устройстве выполнен в виде установленных на направляющих рельсах тележек, блок очистки снабжен заслонками, электрически соединенными с камерой, причем катоды и заслонки смонтированы по обе стороны механизма перемещения, а тележки и катоды соединены с источником переменного напряжения.На фиг, 1 и 2 представлено предлагаемое устройство для катодиого распыления материалов.Устройство состоит из вакуумной камеры 1, внутри которой укреплены катоды 2, 3, 4, 5, механизм перемещения металлических подложек 6, 7, выполненный в виде установ 2ленных на направляюшпх рельсах 8, 9 тележках 10, 11, и блока очистки, снабженного заслонками 12, 13, 14 и 15, электрически соединенными с камерой 1. Катоды 2, 3, 4, 5 и заслонки 12, 13, 14, 15 смонтированы по обе стороны механизма перемещения. Тележки 10, 11 и катоды 2, 3, 4, 5 соединены с источником переменного напряжения.Устройство работает следующим обра"эм.Металлические подложки 6 и 7 укрепляютвертикально на тележках 10, 11 и помещают кахкдую между двумя заслонками 12, 13, 14 и 15. Затем камеру 1 откачивают до необходимого давления и заполняют рабочим газом.Каждая подложка посредством тележек 10 и 11 соединена с источником переменного напряжения, величина которого - порядка 3000 - 4000 в, Во время соответствующего пол периода каждая подложка является като 2 п дом и псгзряется на заслонках 12, 13, 14 и15, которые охлаждаются циркулирующей водой.Этот процесс составляет стадию очисткиметодом ионной ломбардировки, которая со провождается повышением температуры подложек до 300 - 500 С.Затем подложки отключают от источникавысокого напряжения и посредством тележек 10 и 11 устанавливают в новое положе. зп ние между катодами 2, 3, 4, 5, причем под3ложки оказываются в положении анодов, связанных с камерой посредством тележек. Металл катодов 2,8,4 ибнапыляетсяна обе стороны подложек в разреженной атмосфере. катоды охлаждаются внутренней циркуляцией жидкости диэлектрика.После окончания процесса открывают дни. ще камеры; тележки возвращают в исходное положение; обработанные подложки вынимают и заменяют новыми для возобновления цикла,Предмет изобретенияУстройство для катодного распыления ма. териалов, содержащее вакуумную камеру,4внутри которой укреплены катоды, механизм перемещения металлических подложек, и блок очистки, отличающееся тем, что, с целью проведения последовательных стадий очистки и 5 распыления одновременно на обеих сторонахподложки, механизм перемещения выполнен в,виде установленных на направляющих рельсах тележек, блок очистки снабжен за.слонками, электрически соединенными с ка мерой, причем катоды и заслонки смонтированы по обе стороны механизма перемещения, а тележки и катоды соединены с источником переменного напряжения.405215 Составитель Л. Анисимова Техред Г. Васильева каз 17 Тираж 875овета Министроткрытийнаб., д. 4/5 одписное ИПИ СССР Редактор Е. Шепеле Изд.1139 ударственного комитета по делам изобретений Москва, Ж.35, РаушскаЗагорская типограф орректор Л. Орлов
СмотретьЗаявка
26730
витель Иностранцы Пьер Лаведан, Робер Мазотти Франци Иностранна фирма Прожиль Франци
Авторы изобретени
МПК / Метки
МПК: C23C 14/02, C23C 14/36, C23C 14/56
Метки: катодного, распыления
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-405215-ustrojjstvo-dlya-katodnogo-raspyleniya-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для катодного распыления материалов</a>
Устройство для перемещения вагонных тележек
Номер патента: 770896
Опубликовано: 15.10.1980
Авторы: Волчков, Миронос, Петрунин, Розовский
МПК: B61J 3/06
Метки: вагонных, перемещения, тележек
...портал 1 с механизмом подъема транспортируемой тележки, состоящим из цилиндра 2, балки 3 и рамки 4 с захватнЫм органом (блоком) 5 и захватом 6 Шток цилиндра 2 жестко соединен с балкой 3, а рамка 4 свободно уложена на балке 3, Балка 3 и рамка,4 ограниченно перемецаются по вертикальным направляющим 7, смонтированным на портале 1. Рамка 4 в верхнем положении фиксируется относительно портала защелкой 8. Устройство предназначено для 5 отделения колесных пар 9 от рамы 10 вагонной тележки.Устройство работает следующим образом.Вагонная тележкасостоящая из ко лесных пар 9 и рамы 10 конвейером (на чертеже не показан подкатывается под портал 1. Включается силовой цилиндр 2, и балка 3 и рамка 4 с захватным органом 5 и захватом 6 опус- щ каются и...
Устройство для перемещения вагонных тележек
Номер патента: 996247
Опубликовано: 15.02.1983
МПК: B61J 3/06
Метки: вагонных, перемещения, тележек
...4 ограниченно перемещаются повертикальным направляющим 7, смонтированным на портале 1. На портале 1шарнирно смонтирован грузовой крюк 8,имеющий скосы 9 и 10 и хвостовик 11с гнездом 12 для защелки 13, котораятрособлочной системой 14 связана с И шарнирно смонтированным на портале 1 рычагом 15, свободный конец 16 ко-, торого контактирует с балкой 3 авто.- матизируя процесс и исключая ручной труд рабочего. Устройство предназна чено для отделения колесных пар 17 от рамы 18 вагонной тележки и перемещения ее на параллельный гуть.Вагонная тедежка, состоящая из колесных пар 17 и рамы 18, удержива емая захватным органом 5 эа колесные пары 17 и захватом 6 за раму 18 при включении силового цилиндра 2, поднимается вверх. При этом рамка 4 вза-....
Устройство для перемещения вагонных тележек
Номер патента: 1039776
Опубликовано: 07.09.1983
МПК: B61J 3/06
Метки: вагонных, перемещения, тележек
...устройство для перемещения вагонных тележек, содержащее перемещающийся по дополнительному рельсовому пути портал, объемлющий габарит перемещаемой по основному рельсовому пути тележки, снабженный подъемным органом, связанным с перемещающейся в вертикальном направлении балкой, оборудованной захватным органом, на которой установлена рамка, также оборудованная захватом для взаимодействия с рамой вагонной тележки и фиксирующаяся относительно портала, а захватный орган балки выполнен в виде смонтированных на расстоянии, равном промежутку между осями колесных пар вагонной тележки, грузовых крюков, снабжено упорами, жестко закрепленными на балке, на нижнем конце каждого захватного органа выполнен скос для контакта с осью колесной пары, а...
Устройство для перемещения грузовых тележек
Номер патента: 1439003
Опубликовано: 23.11.1988
Автор: Жевуров
МПК: B61J 1/12
Метки: грузовых, перемещения, тележек
...8 и ведомую зубчатую полумуфту 9 с подпружиненной ведущей полумутой 10, во избежание проворота относительно барабана 11 установлена шпонка 12 на шейке 13 ступицы барабана 11,Ведомая шестерня 7 через промежу точную шестерню 14 и ведущую шестерню 1 5 кинематически связана с зубчатой полумутой 16 и подпружиненной зубчатой полумутой 17. установленной на шейке 18 ступицы барабана 11, во избежание проворота относительно барабана 11 на шейке 18 установлена шпонка 19. Для поперечного перемещения барабана 11 с полумуфтами 10 и 17 при реверсивном вращении барабана35 11 участок оси 20, на которой смонтирован барабан 11, и спинка отверстия ступицы барабана 11 имеют гайку 21,взаимодействующую с резьбовым валом22,Устройство также снабжено канатом23,...
Устройство для перемещения трамвайных тележек
Номер патента: 1763276
Опубликовано: 23.09.1992
МПК: B61J 3/06
Метки: перемещения, тележек, трамвайных
...устройства; на фиг,2 - разрез А - А на фиг.1; на фиг,3 - узел на фиг,1,Устройство состоит из портала 1 с четырьмя направляющими 2, колесами 3 и механизмом подъема 4. Балка 5 снабжена четырьмя спаренными роликами 6, установленными на направляющих 2. На балке 5 посредством осей 7 установлены захватные органы, выполненные в виде двурогого крюка 8 и двуплецих рычагов 9, одни плечи которых соединены между собой хвостовиком 10, взаимодействующим с одним из зевов крюка, а другие плечи рычага посредством оси 11 связаны с серьгой 12 привода 13 поворота, захватных органов, шток 14 которого подпружинен пружиной 15, На балке 5 установлены два регулируемых копира 16 и 17, взаимодействующих с двумя конечными выключателями 18 и 19, На балке установлен...
Предыдущий патент: Цинковальная печь
Следующий патент: 405216
Случайный патент: Способ возведения трубы под насыпью