Патенты с меткой «шлгозовое»

Номер патента: 191986

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Аникин, Блаер

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, катодным, нанесения, напылением, покрытий, шлгозовое

...151 я камера сножена приспособлением длястспорення транспортирующего механизма,сблокнрованным с источником подачи напряжения на электроды. Это способствует нанесе 1 гию равномерного покрытия, толщиной слояболее 15 л 1 к на цилиндрические поверхностидеталей,Устройство содержит загрузочную камеру 1, 20 камеру 2 очистки изделий в поле тлеющего разряда, рабочую камеру 3 с захватами 4 для крепления напыляемого металла 5 и приспособлением б для стопорения, разгрузочную камеру 7, кассету 8 с вертикально установлен нымн на ней изделиями 9, роликовый механизм 10 транспортирования кассет с изделиями и систему вакуумных насосов 11, Е(амеры разделены вакуумными заслонками 2 и каждая имеет свою систему откачки. В рабочей 3 камере на позициях...