C23C 14/56 — устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы

Номер патента: 368350

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: C23C 14/56

Метки: всесоюзная1

...со стороны торцов герметично уплотнен крышками 7 и 8, в которых встроены подшипники 9 и манжет ное уплотнение вала шлюзового ротора, соединенного с приводом поворота 1 О. К корпусу 3 пристыкована система промежуточной откачки 11 для создания предварительного разряжения в кармане шлюзового ротора с 10 изделием, поступающим с загрузочной позиции, находящейся в зоне с атмосферным давлением.Изделие загружают из атмосферы черезбоковое отверстие корпуса в карман шлюзо вого ротора 4. Ротор от привода 10 поворачивается и переводит изделие на позицию про- межуточноЙ окачки 11, а затем в камеру 1.Далее транспортным механизмом 12 изделие из кармана шлюзового ротора перемецается 20 иа позицию технологической обработки ИВ данном случае в качестве...

Номер патента: 378559

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Авторы

МПК: C23C 14/56

Метки: металлической, фольги

...в расстояниях межо Луповерхностью иапарения и различнь 1 ми точками поверхности конденсации. Предмет изобретения Спасопутем наверхнастки с неврчают ийсродностиличения,на пылениверхност о получ пыления ь вращаю ерьзвныз я тем, чт структур коэффиц е осуще ь пстдложИзобретение относится к апособам получения металлической фольги испарением металлов или аплавов в вакууме.Известен способ получения металлической фольги напылением металла в вакууме на внешнюю поверхность вращающейся барабанной подлоики с непрерьзвным съемом с нее фольги.Однако при осуществлении известного опособа в ряде случаев плотность и однородность структуры получаемой фольги являются недостаточными. увеличение же плотности фольги иитенсификацией потока пара...

Номер патента: 410138

Опубликовано: 05.01.1974

МПК: C23C 14/56

Метки: 410138

...а между электром крайними шлюзовь ны расширительные зобре ется тем, что оедипены с атуюп;их камерклапана: и и ми смонтироваль достига клапаны с вом фильтр агнитными ми камера камеры.редм крытий в в меру, вход е камеры с а входы кра Устрой кууме, с выход к 0 единены нанесения по рабочую к ез шлюзовы ои, причем нтво для держаще торой чеатмосфе Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для металлургии деталей и получения тонких пленок, широко используемых в микроэлектронике.Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее рабочую камеру, вход и выход которой через шлюзовые камеры соединены с атмосферой, причем на входы крайних шлюзовых камер установлены электромагнитные клапаны для...

Номер патента: 411171

Опубликовано: 15.01.1974

МПК: C23C 14/56

Метки: 411171

...уплотнен по периметру корпуса в местах фланцевого соединения с вакуумной камерой, причем полость, образованная корпусом и затвором, соединена с пневмосистемой, а затвор зажат в крахиих точках горизонтального диаметра зажимами, связанными с рычажной системой, имеющей общий привод с пиевмосистсмой. Зто обеспечивает надежную работу устройства.На фиг. 1 показано описываемое устройство в закрытом положении, поперечный разрез и разрез по А - А; на фнг. 2 - устройство в открытом положении, поперечиьи 1 разрез и разрез по Б - Б.Устройство включает корпус 1, внутри которого смо тироваи затвор 2 в виде чулкообразпой диафрагмы из эластичного материала, герметично уплотненный по периметру корпуса в местах фланцевого соединения с вакуумной...

Номер патента: 451753

Опубликовано: 30.11.1974

Авторы: Минайчев, Одиноков, Панкратов, Пупко

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумных, установок, шлюзовое

...4,5,6 выполнены сквозными и расположены одна над другой. Шлюзовые камеры 2 и 3 находятся в перегородках 10и 11 корпуса 1 со смещением одна относительно другой по углу для обеспеченияпоступления транспортируемых изделийили материалов последовательно при вращении из полости 7 предыдущего роторав полость 7 следующего ротора и затемв вакуумную рабочую камеру 12. Шлюзовые камеры 2 и 3 со ступенчато понижаюшимся давлением откачиваются ными насосами через патрубки 1 Через окно 15 корпуса 1 произзагрузка, а через окно 16-выгрузка изделия,Внутренняя поверхность корпуса 1 с наружной поверхностью роторов 4,5,6 образует узкие щели, ограничивающие натекание воздуха из атмосферы и области низкого вакуума в область высокого вакуума. Стрелками показана...

Номер патента: 1154372

Опубликовано: 07.05.1985

Авторы: Гасин, Кириллов, Пискунов

МПК: B22F 1/00, C23C 14/56

Метки: питатель, порошковый

...определенных зернистостей и материалов.Цель изобретения - расширениевозможностей питателя путем обеспечения дозирования порошков различныхматериалов и зернистостей.Поставленная цель достигаетсятем, что порошковый литатель, содержащий бункер с дном, выполненнымв виде упругой мембраны, шток, расположенный внутри бункера, привод,выполненный в виде электромагнитнойкатушки с полым сердечником, закрепленным на мембране, снабжен дополнительной электромагнитной катушкой,установленной сверху бункера соосносо штоком, нижняя часть которого расположена внутри полого сердечника,причем в сердечнике выполнены продольные прорези над местом крепленияего к мембране, а мембрана выполненав виде усеченного конуса,Кроме того, мембрана...

Номер патента: 1415041

Опубликовано: 07.08.1988

Авторы: Семенов, Сидоркин

МПК: C23C 14/56, G01B 7/06

Метки: напылении, непрерывного, покрытий, толщины

...2 толщины покрытия контрольного обазца с помощью держателя 3 и полного диэлектрического стержня 4, Над контрольным образцом 1 расположен нагреватель 5 контрольного образца, выполненный в виде плоской спирали из тугоплавкого металла. В держатель 3 вмонтирован электрически изолированный от него преобразователь 6 температуры контрольного образца ( термопара), соединенный с регистратором 7. Контрольный образец 1 через держатель 3, металлизированный участок 8 стержня 4 и один из элементов 9 преобразователя 2 толщины соединен с источником 10 потенциала, с которым соединена также покрываемая деталь 11. Нагреватель 5 соединен с регулируемым источником 12 питания. Преобразователь 2 толщины соединен с выходом блока 13 управления...

Номер патента: 1482978

Опубликовано: 30.05.1989

Авторы: Зубарев, Коробов

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумный, затвор

...вместе со штоком 3 перемещается в крайнее верхнее. положение, засл 2 опускается на седло затвора и п исходит закрытие затвора. Одновреполнительного пневмопривода м Гф ф т сила трения, Н Р - рабочее давление сжатого воздуха в полостях пневмоприводон, Н/м . Вакуумный затвор позволяет упростить конструкцию вакуумной откачкой системы путем устранения обходной дросселирующей откачки или специального устройства для дросселирования газового потока, 1 ил. менно шток 3 посредством упорной гайки 8 перемещает поршень 7 дополнительно пневмопривода 6 вверх.При подаче сжатого воздуха в канал А и соединения канала Б с атмосферой поршень пневмопринода 4 со штоком 3 перемещается в крайнее нижнее положение и через рычажную систему 5 поднимает...

Номер патента: 1652377

Опубликовано: 30.05.1991

Авторы: Балыкин, Домрачев, Лисицын, Петраков, Соколов, Шагун

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...и все источники питания отклюПеред напылением слоев материаловна подложкодержатель 3 включэютсяисточники питания. Включаются магнетронныенасосы в камерах 4 и 8. В разгерметизированную рабочую камеру 1 загружаются йеотработанные изделия, и производится ееоткачка до давления 66 Па с помощью механического насоса 28 через байпасные клапаны 20 и 21 или же с помощью камер 4 и 8откачки через байпасные клапаны 18 и 23 инатекатели 15 и 16,При необходимости производится откачка газов в объемах камер 4 и 8 при закрытых затворах 5 и 9 и байпасных клапанах 18и 23. Давление аргона в объемах камер 4 и8 контролируется с помощью датчиков 12 и14.Открывается затвор 9, и производитсяоткачка остаточных активных газов из рабочей камеры 1 с...

Номер патента: 1812244

Опубликовано: 30.04.1993

Авторы: Буланкин, Ивашов, Левый, Оринчев, Степанчиков

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумный, затвор

...диаметру выступа, на выступе и диске выполнены продольные сквозные отверстия, оси которых параллельны оси выступа, а центры отверстий расположены на одной окружности. 2 ил,закреплен цилиндрический диск 8, равный диаметру выступа 7. На выступе 7 и диске 8 выполнены продольные сквозные отверстия 9, оси которых параллельны оси выступа, а центры отверстий расположены на одной окружности(фиг.2). Выступ 7 и диск 8 жестко закреплены на валу 10 привода 5.Вакуумный затвор работает следующим образом.Под действием привода 5 выступ 7 начинает перемещаться и входит в углубление 6. Затем происходит осевое сжатие выступа 7, при этом увеличивается радиальный габарит выступа, В результате возникает надежная герметизация. Усилие герметизации...

Номер патента: 1828878

Опубликовано: 23.07.1993

Авторы: Белянин, Бесогонов, Ефремов, Пащенко

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумная, камера, нанесения, пленок

...что оптимальная жесткость создается именно таким расположением ребер жесткости и соотношением толщин,Устройство работает. следующим образом,При закрывании крышки ее внутренняя поверхность, имеющая радиус Р 1, прилегает к эластомерному .уплатнениа, внешняя кромка которого имеет радиус йз, и при дальнейшем закрывании дефоамирует уплотнение до достижения им 0,72 первоначальной толщины, что обеспечивает качественное уплотнение, Для придания крышке жесткости и устойчивости при а 1- качке иэ нее воздуха на ней установлены ребра жесткости. При этом жесткость центральной части крышки. выполненной в виде части цилиндрической панели, повышается при помощи трех ребер жесткости, причем одно из них проходит через центр контура, ограниченного г 1...

Номер патента: 1809637

Опубликовано: 30.05.1994

Автор: Руднев

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, включающее вакуумный шлюз-накопитель, содержащий разъемный автономно откачиваемый корпус, снабженный средством герметизации, фланцем для присоединения шлюза к рабочему технологическому объему и размещенными внутри корпуса узлом сборки изделий и механизмом их группового перемещения к фланцу на разгрузочно-нагрузочную позицию, а также включающее привод механизма перемещения изделий и размещенные в рабочем технологическом объеме разгрузочно-загрузочные манипуляторы, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и качества изделий, узел сборки размещен относительно механизма подачи по разные стороны от разъема корпуса, привод механизма подачи расположен с внешней поверхности корпуса...

Номер патента: 1802550

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Абдулов, Булат, Груич, Кирсон, Эстерлис

МПК: C23C 14/56

Метки: испаритель, металлов, протяженный, электродуговой

...электродуговой испаритель (фиг. Ц состоит из электроизолированных секций катода 1, каждая из которыхизготовлена иэ металла, входящего в составмногослойного покрытия, механизма 2 перемещения катода, обеспечивающего поступательное перемещение его в горизонтальнойплоскости. Вдоль катода, с обеих сторон35 40 жигают дугу, в результате чего обеспечивается перемещение катодных пятен по длине секции катода 1, После завершения напыления определенного металлического слоя выключают источник 5 питания. Затем с помощью механизма перемещения катода 2 подводят в рабочую зону другую секцию катода 1, изготовленную из другого материала, так, чтобы обеспечить надежный контакт ее с токоподводами от отрицательного полюса 45 иСточника 5 питания,...

Номер патента: 1543874

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Гершович, Делюсто, Кирсон, Мочалин, Туркин, Эстерлис

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуум, загрузки

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМ, содержащее заполненный ферромагнитным порошком полый корпус с откачным патрубком и поршнями с электромагнитами, каждая пара которых установлена соосно с возможностью уплотнения порошка в объеме корпуса, и подложкодержатель, размещенный в полости корпуса с возможностью поступательного перемещения между поршнями вдоль продольной оси симметрии корпуса, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности за счет увеличения герметичности устройства при загрузке изделий сложной формы, оно снабжено дополнительными электромагнитами, размещенными равномерно с внешней стороны корпуса с возможностью их перемещения в плоскости, перпендикулярной продольной оси симметрии корпуса, а поршни размещены в плоскости...

Номер патента: 1802551

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Бизюков, Середа, Целуйко, Юнаков

МПК: C23C 14/56

Метки: ионно-лучевого, нанесения, покрытий

...магнитного поля и заземленный электрод - токоприемник, Расстояние мишень-подложка 1. = 3 см.Производя откачку вакуумного объема до давления Р 10 мм рт.ст. с помощью системы напуска газа подсоединенной к устройству формирования ионного пучка типа СЧА, устанавливают давление рабочего газа Аг в вакуумном объеме Р 5 10 мм рт.ст. С помощью блока питания типа БПустанавливают разрядное напряжение на устройстве формирования ионного пучка О - 4 кВ и разрядный ток 1 р 200 мА. С помощью блока питания подают отрицательное относительно корпуса напряжение смещения на держатель мишени, равное Осм = 4 кВ, формируя тем самым ионный пучок на поверхности мишени, Ток ионного. пучка на мишень 1 П -150 мА.Подставляя указанные конкретные значения...

Номер патента: 1340230

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Варакин, Кузнецов, Ляпин

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, выгрузки, загрузки

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ И ВЫГРУЗКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее рабочую и шлюзовую камеры, затворы с герметичными фланцами, расположенными между камерами, подложкодержатель и шток возвратно-поступательного перемещения с приводом, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности в работе за счет обеспечения разгерметизации затворов и перемещения изделий от одного привода, фланец, расположенный со стороны рабочей камеры, выполнен в виде плоского кольца и снабжен подпружиненным сильфоном, размещенным соосно отверстию кольца и герметично соединенным с его поверхностью, а другой фланец выполнен в виде диска и снабжен фиксатором, закрепленным соосно штоку со стороны рабочей камеры, при этом шток размещен в рабочей...

Номер патента: 1427881

Опубликовано: 19.06.1995

Авторы: Кошелев, Крафт

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее шлюзовую камеру, рабочую камеру, вакуумный затвор, расположенный между ними, и тележку с подложкодержателями и роликами, выполненными с возможностью зацепления с винтом, расположенным в рабочей камере, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет уменьшения загрязнений подложек в шлюзовой камере элементами ее механизма перегрузки и транспортировки подложек, шлюзовая камера снабжена винтом, установленным соосно с винтом в рабочей камере, при этом ролики тележки выполнены с возможностью одновременного контактирования с винтом шлюзовой и рабочей камер.

Номер патента: 1737935

Опубликовано: 19.06.1995

Автор: Ломовцев

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее шлюзовые и рабочие камеры, вакуумные затворы и тележки с приводом в виде винтов и роликов, причем ролики расположены на тележках с возможностью зацепления с винтами, которые расположены в шлюзовых и рабочих камерах, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и расширения технологических возможностей, на торцах винтов выполнен осевой срез винтовой линии под углом к диаметру сечения, проходящего через точку среза, при этом угол подъема винтовой линии больше угла самоторможения винта, а каждый винт снабжен муфтой с дистанционным управлением.

Номер патента: 1153578

Опубликовано: 25.07.1995

Автор: Ломовцев

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумная

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА по авт. св. N 901356, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности в работе, она снабжена дополнительным штоком с закрепленными на его противоположных торцах дополнительными клапаном и пружиной, а вдоль оси штока возвратно-поступательного перемещения выполнено отверстие для дополнительного штока, при этом дополнительный клапан расположен в полости U-образного фланца, а пружина дополнительного штока расположена между его торцом и торцом штока возвратно-поступательного перемещения.

Номер патента: 1828140

Опубликовано: 20.12.1995

Авторы: Васильев, Сапронов, Скиргелло, Чайрев

МПК: C23C 14/35, C23C 14/56

Метки: вакууме, ленты, металлизированных, полиимидной

...не вносит заметно- сколько-нибудь заметному короблению, го вклада в величину внутренних механиче- В табл.3 приведены примеры нзнесеских напряжений наносимого металла; т.е. ния слоя металла 10 на поверхность подсохраняет ровность подложки 1 и не пРиво- ложки 1 из полиимидной пленки (ширина дит к ее короблению(фиг.1). 25 пленки - 140 мм) в случае использования вПосле этого проводят второй этап нане- качестве металла алюминия и меди.сения слоя металла: повышэютдавлвние ар- При меньшем; чем указано в табл.З натягоно-водородной смеси до величины, при жении подложки, она недостаточно плотно которой осаждаемый слой нв имеет вну 1- контактирует с поверхностью металличереннихнапряжений,ипроводятпроцессна ского барабана 2, что приводит к ее...

Номер патента: 1154974

Опубликовано: 27.04.1996

Авторы: Левченко, Лозоватский, Пасичный

МПК: C23C 14/56

Метки: мишени, сегнетокерамической

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ, включающий синтез шихты сегнетокерамических компонентов, измельчение, формовку и обжиг полученной заготовки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества мишени путем снижения содержания загрязнений, синтез проводят расплавлением шихты лучистым нагревом с одновременным перемешиванием расплава, а измельчение осуществляют термоударом.

Номер патента: 1663962

Опубликовано: 20.11.1999

Авторы: Давыдов, Ронжин, Терехов, Шойхет

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуум, выгрузки, загрузки

1. Устройство для загрузки и выгрузки изделий в вакуум, содержащее рабочую и шлюзовую камеры с затвором, съемный контейнер с подложкодержателем и затвором, расположенными в шлюзовой камере, шток с приводом возвратно-поступательного перемещения, соединенный с затвором шлюзовой камеры, и узел сцепления затворов контейнера и шлюзовой камеры, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности устройства за счет улучшения его герметичности, оно снабжено дополнительными приводами и полым корпусом, причем один из дополнительных приводов выполнен с упором, закрепленным на корпусе рабочей камеры с возможностью вращения и зацепления со штоком привода возвратно-поступательного перемещения, а другой...