Патенты с меткой «напылительная»

Номер патента: 322421

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Громаковский, Шлеин

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумная, напылительная

...затвором 8 и вакуумной камерой 1.Напыление на подложку производится через все имеющиеся в устройстве трафареты, после чего шток 3 выводят вверх до тех пор, пока подложкодержатель 2 с подложкой не окажется в шлюзовом загрузочном устройстве 7. Последнее снимают с установки, перекрыв его шлюзовым затвором 8, и включают вспомогательный вакуумный насос 10, поддерживающий в шлюзовом устройстве необходимое время высокий вакуум.Если имеется только одна вакуумная напылительная установка, то вакуумная камера вскрывается, трафареты 4 и, если необходимо, испарители 5 меняются, вакуумная камера вновь закрывается и откачивается, после чего шлюзовой затвор 8 открывается и подложкодержатель 2 с подложкой опускается в положение, при котором...