Патенты с меткой «вакуумнотерл1ической»

Номер патента: 183564

Опубликовано: 01.01.1966

МПК: C23C 14/56

Метки: автоматическое, вакуумнотерл1ической

...устройствах загрузочная н разгрузочная опера 1 ии совмещены В одном шлюзе, что затрудняет встраивание их и автоматические линии.Описываемое устройство отличается тем, что вакуумная камера сндбхкена встроенными и нее секционными загрузочными и раз грузочшямн шлюзами, работаОщихи синхрон- но с транспортными каруселямн. Оно позволхет ести процесс по нескольким независимым друг от друга рабочим каналам, что обеспечивает увеличение производительности, 1 н легко встраивается в автоматические линии.Ня фнг. 1 нзобг гво; ня фнг. 2 -0 е ство содерукнт Вдкуумнуо ка которой расположены транс 2 и 3. Кроме того, камера с ионным загрузочным шлюзо вующим ему двухсекционнь х шл юзох 1 д. 3 1 Грузоча 51 с гствующая ей разгрузочная с 3 нижнем днище...