Вакуумная напылительная установка

Номер патента: 322421

Авторы: Громаковский, Шлеин

ZIP архив

Текст

32242 ПИ САН И ЗОБРЕТЕН И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ юз Советскихивлистических Республи Зависимое от авт. свидетельстваявлено 11.И 11,1969 ( 1356975/26-9) Зс 13 О с присоединением заявПриоритетОпубликовано ЗО.Х 1.19Дата опубликования о Комитет по аелзм изобретений и открытий лри Совете Министров СССР, Бюллетень3 ДК 621.523(088,8 ния 9.11.19 Авторызобретенпя А. Громаковский и Н. И. Шл 3 аявител ВА УУМ ПЫЛИТЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА Изобретение относится к технологии производства радиоаппаратуры и может быть использовано для изготовления интегральных криотронных схем методом напыления через трафареты. 5Известна вакуумная напылительная установка, содержащая вакуумную камеру, механизм смены трафаретов и испарителей и загрузочное устройство с шлюзовым затвором.Недостаток известной вакуумной напыли тельной установки состоит в непроизводительных затратах времени на смену трафаретов и откачку вакуумной камеры.Цель изобретения - повышение производительности установки. 15Это достигается тем, что шлюзовое загрузочное устройство выполнено съемным, и между шлюзовым затвором и вакуумной камерой расположен дополнительный затвор.На чертеже схематически изображена ва куумная напылительная установка.Установка содержит вакуумную камеру 1, в которой установлен подложкодержатель 2 с подложкой, укрепленной на конце штока 8, механизм смены трафаретов 4 и испарите лей 5, смонтированный па фланце б, шлюзовое загрузочное устройство 7 с шлюзовым затвором 8, дополнительный затвор 9, вакуумный насос 10 и сальниковое уплотнение 11, через которое проходит шток 8. Шлюзовое 3 устройство выполнено съемным, а дополнительный затвор 9 расположен между шлюзовым затвором 8 и вакуумной камерой 1.Напыление на подложку производится через все имеющиеся в устройстве трафареты, после чего шток 3 выводят вверх до тех пор, пока подложкодержатель 2 с подложкой не окажется в шлюзовом загрузочном устройстве 7. Последнее снимают с установки, перекрыв его шлюзовым затвором 8, и включают вспомогательный вакуумный насос 10, поддерживающий в шлюзовом устройстве необходимое время высокий вакуум.Если имеется только одна вакуумная напылительная установка, то вакуумная камера вскрывается, трафареты 4 и, если необходимо, испарители 5 меняются, вакуумная камера вновь закрывается и откачивается, после чего шлюзовой затвор 8 открывается и подложкодержатель 2 с подложкой опускается в положение, при котором осуществляют дальнейшее напыление.Если вакуумных напылительных установок несколько, то в них могут быть смонтировань; различные трафареты и =огда напыление схемы производится на двух или более установках. При этом после выведения подложко. держателя 2 с подложкой в шлюзовое загру. зочное устройство 7 закрывают шлюзовой затвор 8 и дополнительный затвор 9. Далее за.32241 Предмет изобретения Составитель Г, Челей Корректор 3. Тарасова Техред Л. Богданова Редактор Н, Белявская Заказ 124/10 Изд. М 1780 Тираж 473 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская паб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 творы 8 и 9 разъединяют, накачивая м.жду ними воздух, шлюзовое загрузочное устройство 7 с наполовину напыленной схемой переносят на вторую вакуумную напылительную установку. Далее соединяют затвор 8 шлюзового загрузочного устройства 7 и затвор 9 второй напылительной установки, откачивают воздух из межшлюзового пространства, открывают оба затвора 8 и 9, опускают подложкодержатель 2 с подложкой в рабочее положение для дальнейшего напыления схемы. В то же время на первую установку помещают другое шлюзовое загрузочное устройство с подготовленной к напылению подложкой и напыление схемы ведут параллельно на двух установках. Вакуумная напылительная установка, содержащая вакуумную камеру, механизм смены трафаретов и испарителей и шлюзовое загрузочное устройство с шлюзовым затвором, 10 отлича 1 ощаяся тем, что, с целью повышенияпроизводительности установки, шлюзовое загрузочное устройство выполнено съемным, и между шлюзовым затвором и вакуумной камерой расположен дополнительный затвор.

Смотреть

Заявка

1356975

В. А. Громаковский, Н. И. Шлеин

МПК / Метки

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумная, напылительная

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-322421-vakuumnaya-napylitelnaya-ustanovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумная напылительная установка</a>

Похожие патенты