390202

зогог О П И С А Н И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистииескихРеспублик Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 08.11.1971 ( 1626184/22-1) М. Кл. С 23 с 13/08 исоединением заявкиГосударственный комит Совета Министров ССС но делам изобретений и открытийиоритет Опубликовано 11.Ч 11.1973. БюллетеньДата опубликования описания 19.Х 1.1973 УДК 621.793,14.002.52 (088.8) Авторыизобретения Плотников, В, Г. Попережаев и В, В, Руднев аявитель ЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАН Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для вакуумных установок, применяемых в частности в микроэлектронике при изготовлении интегральных схем. 5Известно шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее камеры с самостоятельными системами откачки,Недостатком известного устройства является большой объем камер по сравнению с объ емом загружаемых изделий и прямое соединение двух соседних камер в момент их использования. Это требует наличия большого общего числа камер и мощных средств откачки, что делает системы шлюзования громозд кими и малопроизводительными. Цель изобретения - повышение производительности. Это достигается тем, что устройство выполнено в виде цилиндра, в кольцевых 20 расточках которого попарно укреплены эластичные манжеты так, что образуют с телом цилиндра кольцевые полости, соединенные посредством каналов в стенках цилиндра с пневмомагистралью, причем между каждой парой 25 манжет имеются связанные с вакуумной системой кольцевые проточки, в которых вмонтированы втулки с продольными прорезями,На чертеже показано предлагаемое шлюзовое устройство, 30 Устройство состоит из цилиндра 1, в кольцевых расточках которого попарно установлены эластичные манжеты 2 так, что между телом цилиндра и поверхностью манжеты образуются кольцевые полости 3, соединенные через каналы в стенках цилиндра с пневмомагистралью 4, а между каждой парой манжет выполнены кольцевыс проточки 5, закрытые втулкой 6 с продольными прорезями и связанные через штуцер 7 с вакуумной системой, причем шлюзовое устройство изготовлено в виде отдельных секций 8 и 9,Цилиндр крепится к напылительной камере 10; при помощи шпилек 11 стыки отверстий, образующих магистрали, уплотня 1 отся медными прокладками 12. Подвод рабочей среды в полости верхних манжет каждой пары осуществляется через штуцер 13, а в полости нижних манжет - через штуцер 14.Устройство работает следующим образом.Перед пуском в работу вся полость шлюза заполняется кассетами. Подавая давление на манжеты 2 по ппевмомагистралям 1 через кольцевые полости 3, зажимают находящиеся против манжет кассеты 15 с обрабатываемыми изделиями. Прп этом кассеты образуют ряд вакуумных затворов и секций 8 и 9 откачки последовательных ступеней. Далее включают вакуумные системы откачки секций и систему автоматического управления работой маньеты, обеспечивающую следующие фазы; все нижние манжеты отжаты, верхние - сжаты; все верхние манжеты отжаты, нижние - сжа. ты; все верхние и нижние манжеты сжаты. При этом происходит периодическое продвиже ние кассет в рабочую камеру под действием собственного веса.Наличие двух эластичных манжет между атмосферой и секцией первой ступени откачки и между последующими ступенями обеспечивает 1 о надежное перекрытие ступеней во время шлюзования и предотвращает резкое ускорение движения кассет в момент отжима первой манжеты. Так как вторая манжета в это время надежно зажата, а объем вредного прострап ства между первой и второй манжетами незначителен, то происходит практически мгновенное выравнивание давлений перед первой манжетой и после нее. Давление на манжеты рассчитывается из условия отсутствия проталкп О вання кассет при максимальном перепаде давлений между атмосферой и первой ступенью откачки.Предмет изобретенияШлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее последовательно расположенные камеры с самостоятельными системами откачки, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, оно выполнено в виде цилиндра, в кольцевых расточках которого попарно укреплены эластичные манжеты так, что образуют с телом цилиндра кольцевые полости, соединенные посредством каналов в стенках цилиндра с пневмомагистралью, причем между каждой парой манжет выполнены соединенные с вакуумной системой кольцевые проточки, в которых вмонтированы втулки с продольными прорезями.Составитель Л, Анисимовактор Н. Корченко Техред Е, Борисова Заказ 308/4ЦНИИПИ ография, пр. Сапунов Изд.747осударственного комите по делам изобретенийМосква, Ж, Раушск Тираж 826Совета Мигиоткрытий наб., д. 4/5 екторы: Н. Стельмах и Н. Учакина Подписное ров СССР