Патенты с меткой «390202»

Номер патента: 390202

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Плотников, Попережаев, Руднев

МПК: C23C 14/56

Метки: 390202

...кольцевыс проточки 5, закрытые втулкой 6 с продольными прорезями и связанные через штуцер 7 с вакуумной системой, причем шлюзовое устройство изготовлено в виде отдельных секций 8 и 9,Цилиндр крепится к напылительной камере 10; при помощи шпилек 11 стыки отверстий, образующих магистрали, уплотня 1 отся медными прокладками 12. Подвод рабочей среды в полости верхних манжет каждой пары осуществляется через штуцер 13, а в полости нижних манжет - через штуцер 14.Устройство работает следующим образом.Перед пуском в работу вся полость шлюза заполняется кассетами. Подавая давление на манжеты 2 по ппевмомагистралям 1 через кольцевые полости 3, зажимают находящиеся против манжет кассеты 15 с обрабатываемыми изделиями. Прп этом кассеты...