Шлюзовое устройство для вакуумных установок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 337447
Авторы: Бахур, Екимов, Специальное
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сс са Советских Социалнстическик РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 13 Х,1970 ( 1436553/22-1)с присоединением заявкиМ. Кл. С 23 с 13/08 Приор и Номитет по делам обретений и открытийЛ,1972. Бюллетень15 УДК 621,793.14.002,52. (088,8) публнкова 1 при Совете Министров СССРания 31 Л.1972 ата опубликования астм , ,: Авторыизобретени, А. Екимов и П. И явит пециальное конструкторское бюро вакуумных покрытии ЛЮЗОВОЕ УСТРОЙС редмет изооретения Изооретение касается технички нанесения покрытий в вакууме.ИзвестнО шлюзовое устроЙство для вакуумных установок, содержагцее корпус, в пазах которого смонтированы шлюзовые ролики.Однако в известном устройстве при пропускании в вакуумнуо камеру обрабатываемого материала необходимо создавать прижимные устройства для уплотнения роликами мест, не занятых пропускаемым материалом,Цель изобретения - создание устройства с возможностью регулирования силы прижатия роликов в зависимости от толщины пропускаемого материала.Это достигается тем, что ролики выполнены в виде вала с оболочкой из эласгичного материала, отстоящей от его поверхности на расстоянии, не менее толщины пропускаемого материала, причем полость оболочки сообщена через отверстия в валу с регулятором давления,На фнг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фпг. 2 - то же, поперечный разрез. Шлюзовые ролики 1 и 2 смонтированы в пазах корпуса о, Один нз роликов 2 выполнен в виде вала с оболочкоп 4 из эластичного материала, отстоящей от его поверхности на расстоянии, не менее толщины пропускаемого материала, причем полость 6 оболочки 4 сообщена через отверстия 6 и 7 ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК 2в валу с регулятором давления (на черт. не показан). Ролик 8, выполненный из любого твердого материала, постоянно прижат к ролишку 2, тем самым исключая натекание меж ду роликами, Зазоры 9 и 10, образующиесяв пазах корпуса, выполнены такими, что натекание в область высокого вакуума сведено к минимуму. Торцовые части уплотнительных роликов уплотнены вакуумным антифрикци онпым материалом 11.Материал, подлежащий металлизации, поступает в область высокого вакуума через плотно прилегающие один к другому ролики 1 и 2. В зависимости от толщины пропускае мого материала 12 оболочка 4 деформируетсяпа требуемую, величину таким образом, что ее деформация происходит по ширине пропускаемого материала 12, В местах, не занятых пропускаемым материалом, ролики 1 и 2 20 плотно прилегают один к другому, препятствуя перетеканию воздуха в область высокого вакуума. В случае изменения толщины пропускаемого материала через отверстия 6 и 7 в полость 6 напускается илп откачивается воз дух, что ведет к увеличению пли ослаблениюпрпжатия ролика 2 к роликам 1 и 8. Шлюзовое устроиство,для вакуумных устаовок, содержащее корпус, в,пазах которого337447 г Составитель И. Резникактор А. Купрякова Техред 3. Тараненко Коррекгор В. Жолуде Заказ 1476,5 Изд.624 Тирак 448 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССРМосква, Ж.З 5, Раушская пао., д. 4,5 пография, пр. Сапунова, 2 смонтированы шлюзовые ролики, отлича 1 оиееся тем, что, с целью регулирован я силы прижатия роликов в зависимости от толгцины пропускаемого материала, ролики, выполнены в виде вала с оболочкой из эластичного материала, Отстоя 1 цеЙ 01 ОГО поверхности на рассто.1;111, нс менее тол 11 и 11 пропускаемого матернал 11, ричем но;10 сть Ооолочк 11 Оооо 1 сна через Отверстия в валу с регулятором 5 давления,
СмотретьЗаявка
1436553
Ю. А. Екимов, П. И. Бахур, Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий
МПК / Метки
МПК: C23C 14/56
Метки: вакуумных, установок, шлюзовое
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-337447-shlyuzovoe-ustrojjstvo-dlya-vakuumnykh-ustanovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Шлюзовое устройство для вакуумных установок</a>
Предыдущий патент: Установка для электролизного бо
Следующий патент: Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме
Случайный патент: Экструзионная головка для полимер-ных материалов