Точицкий

Номер патента: 1026198

Опубликовано: 30.06.1983

Авторы: Погоцкий, Полякова, Строенко, Точицкий

МПК: H01L 21/66

Метки: комплекта, фотошаблонов

...В предлагаемом способе совме щаемость: контролируется 1 путем сравнения с базовым фотошаблоном, который содержит реперные знаки, соответствующие реперным знакам каждого из фотошаблонов. Это позволяет получить величины несовмещаемости каждого Фотошаблона с базовым, а значит,и между любой парой фотошаблонов комплекта.Известный способ не позволяет контролировать совмещаемость в различных точках моруля, поскольку реперные знаки расположены обычно на каком-либо одномучастке модудя, Однахо для большихинтегральных схем внутримодульные погрешности совмещения могут достигатьзначительных величин, В предлагаемом способе на этапе изготовления фотошабдоновпо углам каждого модуля формируют дополнительные реперные знаки, по которымна этапе...

Номер патента: 983835

Опубликовано: 23.12.1982

Авторы: Белый, Корчков, Мартынова, Точицкий

МПК: H01L 21/02

Метки: вакуумной, сухой, фотолитографии, фоторезист

...и может быть использовано в производстве интегральных микросхем,Известны кремнийорганические соединения, которые используют в методе сухой электронолитографии,Метод сухой электронолитографии сводится к следующему: на подложку наносятс помощью вакуумного термическогоиспарения, чувствительный слой, облучаютслой электронным. лучом, удаляют необлученные участки слоя реиспарением в вакууме Г 1 3.Недостатком, известных веществ, используемых в качестве материала чувствительного слоя, является их нечувствительность к ультрафиолетовому излучению, что не позволяет реализовать методсухой фотолитографии. п 1 983835 13 98383 в нем формируется изображение за счет свойства предлагаемых материалов полимеризоваться под воздействием...

Номер патента: 884091

Опубликовано: 23.11.1981

Авторы: Свирин, Селифанов, Точицкий

МПК: H03K 3/53

Метки: генератор, импульсный, плазмы, эрозионной

...систему5 поджига, соленоид 6, расположенныйтак, что он охватывает своим магнитнымподем коаксильную электроразрядную систему, токовый датчик 7, интегратор 8,компаратор 9, вход токового датчика 7соединен с формирующим электродом 3коаксильпой электроразрядной системы 2,выход - со входом ийтегратора 8, выходинтегратора 8 соединен со входом компаратора 9, а выход компаратора 9 - сс олен о и дом 6.Генератор работает следующим образом.С помощью системы 5 поджига вблизиплазмообразуюшего электрода 4 создается облачко инициируюшей плазмы, за счеткоторого формируется проводящий каналмежду плазмообразуюшим 4 и формирующим 3 электродами, и по нему начинаетпротекать ток за счет энергии, накопленной в накопительном конденсаторе 1. Втоковом датчике 7...

Номер патента: 852733

Опубликовано: 07.08.1981

Авторы: Курыло, Рагульскис, Точицкий

МПК: B65G 27/00

Метки: вибрационноготранспортирования

...крукции, 30 Это достигается тем, что пьезокерами. ческие элементы выполнены биморфными, размещены параллельно друг другу,и установлены с возможностью поворота.На чертеже показана схема предлагаемого устройства.Устройство содержит неподвижное основание 1, в котором консольно закреплены расположенные параллельно между собой биморфные пьезокерамичеокие элементы 2, жа концах которых закреплены башмаки 8. На башмаках размещается перемещаемый объект 4.Пьезокерамические элементы 2 в основании 1 размещены с возможностью пово,рота, то есть с возможностью становки,их с различным углом наклона.Работает устройство следующим образом. При подключвнии биморфных пьезокерамическпх элементов 2 к источнику напряжения (на чертеже не показано) они...

Номер патента: 839907

Опубликовано: 23.06.1981

Авторы: Крылов, Метелица, Плавник, Точицкий

МПК: B65G 27/12

Метки: вибрационный, конвейер

...их длины пружинпри помощи. винтов 9.Вибрационный конвейер работаетследующим образом,При включении конвейера в сетьпеременного тока, четные 4 и нечет. ные 3 секции в течении первойчетверти периода времени движутся навстречу под действием сил магнитноговзаимодействия электромагнитов 5 и6, В момент, когда ток в катушкахэлектромагнитов достигается максимального значения, т,е во второй четверти периода, секции 3 и 4 двигаются в противоположные стороны поддействием упругих связей 2,Характер движения секций 3 и 4в следующий полупериод времени повторяется в той же последоватеоьности.В результате колебаний секций 3 и 4 О4, на перемещаемый груз действуютсилы, результирующая которых направлена в сторону, противоположнуюнаклону упругих связей...

Номер патента: 688857

Опубликовано: 30.09.1979

Авторы: Полякова, Прохоров, Тарасевич, Точицкий, Чечера

МПК: G01N 1/36, H01L 21/66

Метки: глубины, залегания, микродефектов, микрослоев

...получают путем скола излома или среза, а также изготовлением перпендикулярного или наклонного шлифа. Далее измеряют профиль поперечного сечения, например излома, на электронном микроскопе или с помощью других специальных устройств. Затем наносят реплику одновременно на поперечное сечение и боковые стороны образца. Укб 118857 Формула изобретения Составитель А. Хачатурян Техред Т. Писакииа Корректор В. Дод Редактор А. Соловьева Заказ 210210 Изд. Ме 550 Тираж 1090 Подписное НПО Поиск Государственного комитета ГССР по делам изооретепий и открытий 113035, Москва, К.35, Расписка; наб., л. 45Типография, пр. Сапунова, 2 репляют реплику, например ультрафиолетовым облучением, и снимают ее с образца с разворотом в одну плоскость. Далее...

Номер патента: 673943

Опубликовано: 15.07.1979

Авторы: Латышев, Стельмах, Точицкий, Уренев

МПК: G01R 33/12

Метки: магнитном, металлов, поле, полупроводников, характеристик, электрофизических

...магнитной цепи с рабочей поая цель достигается тем, что в для измерения электрофизичесристик металлов и полупроводнитном поле, содержащем криощенными в нем электромагнитом роводом и перемычку магнитной топровод электромагнита выползной формы и закреплен в крпором относительно перемычки маг , при этом перемычка магнитной ена в виде двух башмаков.673943 Формула изобретения Со ставитель Ф. Тернов ехред О. Луговая ираж 1089 дарственного коми изобретений и отЖ - 35, Раушскаянт, г, Ужгород, у льскаяКорректор Г.Подписноеета СССРкрытийнаб., д. 4/5л. Проектная, 4 Редактор Н. КоЗаказ 406541 ИИПИ Госу по делам5, Москва, ППП Пате 113 илиалНа чертеже изображено устройство, в продольном разрезе.Устройство состоит из соединяемого с вакуумной...

Номер патента: 637772

Опубликовано: 15.12.1978

Авторы: Грамматин, Гуревич, Точицкий, Цуран

МПК: G02B 17/08

Метки: объектив, проекционный

...линзы, одна нз которых установлена перед первым вогнутым зеркалом, а дополнительный концентрический мениск и другая отрицательная лин. за установлены за основным концентрическим мениском, причем оптические оси введенных элементов параллельны друг другу и равноудалены от центра сферических по. верхностей зеркал.На чертеже приведена оптическая схема описываемого объектива, состоящего из семи компонентов 1 - 7: компонент ) - отрица тельная двояковогнутая линза; компонент 2 -вогнутое сферическое зеркало; компонент 3 - выпуклое сферическое зеркало; компонент 4 - вогнутое сферическое зеркало; компонент 5 - концентрический мениск, ось сим. метрии которого наклонена к оптической оси выпуКлого зе 1 жала 3 под углом 9 - 20, компонент 6 -...

Номер патента: 540591

Опубликовано: 30.12.1976

Авторы: Вагин, Точицкий

МПК: A01C 7/20

Метки: сошник

...глубиону сов,друг кл. А 01 С, 7/20, 1969, кл. А 01 С 7/20, 1968 Изобретение относится к сельскохозяйственому машиностроению, в частности к сошниам.Известны сошники, включающие установенные под углом друг к другу два диска 1, 21. Диаки этих сошников выполнены плослкими с острой режущей кромкой.Целью изобретения является уменьшение глубины открываемой бороздки, уплотнение ее дна и более равномерная укладка семян по глубине,Это достигается тем, что диски имеют форму усеченных конусов, установленных большими основавиями друг к другу.На фиг. 1 изображен сошник, общий вид; на фиг, 2 - разрез по А - А на фиг. 1.Сошник содержит корпус 1, диски 2 и 3, имеющие форму усеченных конусо 1 в, установленных большими основаниями друг к другу, и...

Номер патента: 446921

Опубликовано: 15.10.1974

Авторы: Белицкий, Точицкий

МПК: H01L 7/68

Метки: круглых, ориентирования, подложек, транспортирования

...подложки.20 На чертеже показан общий видпредлагаемого устройства. Устройство содержит основание 1; пневмотранспотер 2 с бортами 3; ориентирующии механизм, содержащии кора 5 опус 4 с прикреплейными к нему бортом 5 и базовым жестким упором 6, подвижную базовую опору 7, прик- , репленную к корпусу 4 через, пружинный шарнир 8 и вибропривод 9.Устройство работает слещющим 5 образом.Приподаче воздуха к пневмотранспортеру 2 и корпусу 4 ориентирующего механизма подложка, подан ная на пневмогранспортер, движется 1 о на воздушной подушке по йаправлению к ориентирующему механизму. Попадая на ориентирующий механизм, сопла 10 которого расположены так, что выходящий из них воздух прижи= мает подложку к подвижной базовой опоре 7, упору 6 и создает...

Номер патента: 326668

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Глазков, Крюк, Мальто, Точицкий, Федориненко

МПК: H01L 21/00

Метки: 1пдиптяо, g-•at, ylif—, ган, рпрофюзная

...оси не параллельны плоскости перемещения рабочего стола 3. Вертикальная составляющая этих перемещений вызывает деформацию среднеи части пластины 13, при этом не возникает горизонтальных смещений прикрепленного к ней рабочего стола 3. Пластина 13 передает горизонтальные перемещения рабочему столу 3 от столиков 9, 11 и осп 12 и компенсирует непараллельность их перемещений. Рабочий стол 3 передвигается по плоскости плиты 2, благодаря чему пластина б перемещается параллельно нижней плоскости фотошаблопа 7, прп этом сохраняется по326668 Составитель В. ГришинРедактор Т, ОрловскаяТехред 3. Тараненкокторьн Л. Николаева и В,Ко ет аж 448 ипография, пр, Сапунова, 2 стоянный зазор между полупроводниковой пластиной и фотошаблоном.На нижней...

Номер патента: 270099

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Мальто, Сосидко, Точицкий

МПК: H01J 9/42

Метки: отклонений

...24 с прухспнными шарнирами 25. Такая подвеска обеспечивает при замерах плоскопараллельное перемещение опоры шарового шарнира, тарелки и измерительного штока.Прц измерении экран 12 помещают на установочныеплиты 8 вплотную к упорам 5. Упоры расположены в трех точках, что обеспечивает постоянное положение экрана на измерительной позиции. Под действием пружин270099 Фиг 2 опора шарового шарнира 1 б прижимает чашу 14 к сферической поверхности экрана. Если радиус, проведенный к центральной точке сферы, не перпендикулярен плоскости торца экрайа, чаша при соприкосновении со сферой поворачивается относительно положения, занчмаемого при настройке. Поворот чаши в любой плоскости вызывает плоскопараллельное перемещение тарелки 17. Расстояние между...

Номер патента: 248806

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Гаврилкин, Точицкий

МПК: H05K 3/02

Метки: нолунроводниковой, пластины, рисунка, рисунком, совмещения, фотошаблона

...световых потоков от участков, ограниченных контурами штриховых знаков фотошаблона и полупроводниковой пластины в совместном изображении указан ных знаков,Известны способы совмещения рисунка фотошаблона с рисунком полупроводниковой пластины при изготовлении интегральных микросхем, основанные на совмещении штриховых знаков.Цель изобретения - повысить точность совмещения на всех стадиях изготовления интегральных схем,Достигается это тем, что в толще полупроводниковой;пластины получают штриховой знак, который в прямом отраженном свете имеет вид темного штриха более широкого, чем штриховой знак фотошаблона, а совмещают указанные штрихи при помощи биссектора. На чертеже показана, последовательность операций при осуществлении описываемого...

Номер патента: 256883

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Глазков, Мальто, Сосидко, Точицкий

МПК: G01B 5/213

Метки: внутренней, поверхности, формы

...относительному перемещению диска, опирающегося на дно цилиндра и перемещающегося перпендикулярно секущей плоскости.На чертеже представлена схема замера экранов по данному способу,Экран 1 кинескопа устанавливают н щадку 2 и ориентируют с помощью уп так, чтобы центр сферы совпал с осью измерительного прцбо,.а. Затем измерительную чашу 4 прижимают к сферической поверхности экрана 1, торец которой представляет собой коль цо, касающееся сферы минимум в трех точках.В том случае, если радиус, проведенный в центральной точке внутренней сферы, перпендикулярен торцу экрана, последний будет па.раллелен торцу чаши. При отклонении радцу са от перпендикулярности к торцу экрана плоскость торца чаши 4 благодаря сферическому шарниру 5 повернется на...

Номер патента: 206980

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Точицкий, Широков

МПК: B25J 7/00

Метки: микромам, улятор

...таккечерез шариковую опору опирается на корпус.15 Упругая втулка устраняет торцовые биенияконической втулки и промежуточной плиты относительно корпуса.Перемещается промежуточная плита 5 те- .лескопическим рычагом б, шарнирно связан ным с этой плитой. Верхний конец рычагашарнирно укреплен при помощи гайки 7, а нижний шарнирно соединен с рукояткой 8, которая перемещается по нижней поверхности корпуса 1.25 Промежуточная плита при помощи плоскопружинного крестового двухкоординатного стола 9 связана с корпусом 1, В результате этого она может перемещаться только тогда, когда этому не препятствует крестовый двух- координатный стол, представляющий собой три пластины 10, 11, 12. Каждые две соседниепластины сообщены между, собой двумя плоскими...

Номер патента: 202678

Опубликовано: 01.01.1967

Автор: Точицкий

МПК: F16H 39/50, G05G 11/00

Метки: микроманипулятор

...управления микроманипулятора 15 состоит из основания 9, к которому однойстороной взаимно перпендикулярно закреплены два сильфона 10 и 11, Второй стороной сильфоны 10 и 11 через вилку 12, ползун 13, рамку 14 и кулису 15, имеющую шаровую 20 поверхность, соединены с рукояткой 1 б. Рукоятка укреплена на основании 9 при помощи шарового шарнира 17, который закреплен в основании подвижно и может перемещаться от винта 18. Это позволяет изменять соотно шение длины плеч рукоятки 1 б, т. е. изменятьмасштаб хода рукоятки относительно хода стола 2. От поворота рукоятки перемещается кулиса 15. Через рамку 14, ползун 13 и вилку 12 это перемещение передается сильфонам 10 30 и 11 и вызывает их сжатие или растяжение.202678 4 и 11 во взаимно...

Номер патента: 196373

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Мальте, Риттер, Точицкий

МПК: G01B 5/22

Метки: внутренней, кинескопа, отклонений, радиусов, сферы, цветного

...наконечники которых располоткены по большой дуге сферы, а ось 7 вращения рамки находится в плоскости расположения измерительных наконечников датчиков ипроходит через центры сферы. Контролируемый кинескоп 8 устанавливается торцом на подъемный столик 9 и опус.кается. При этом кинескоп базируется внутренней сферой на упоры 10 и зажнмается в 5 этом положении прихватами 11. Упоры разбиты на две группы 12 и 13 1 см. фнг. 3), которые поочередно занимают рабочее положение, Кинескоп может оннратьс 5 г на несколько упоров из одной или другой группы. Это 10 позволяет провести несколько измерений детали не переставляя ее, а заменяя только точки ее опоры путем поворога кулачкового валика 14.В процессе наладки упоры устанавливают.15 ся и...

Номер патента: 190210

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Мальто, Сосидко, Точицкий, Фидориненко

МПК: H05K 3/12

Метки: контактной, подложки, рисунка, рисунком, совмещения, фос1щлрна, фотопечстй

...при его небольших вертикальных перемещениях смещение гнезда 10 в горизонтальной плоскости на величины нич 190210тожно малые, практически исключающие горизонтальные смещения.В шаровом сегменте 11 имеется полость 14, отделенная от полости 15 в гнезде 10 мембранным клапаном 1 б.На основании 17 по оси гнезда 10 в отверстии концентрично расположены плунжеры 18 и 19, длину последнего можно изменять с помощью микрометрической гайки 20.Плунжер 19 может быть зафиксирован в любом положении относительно основания 12 при помощи фиксатора 20, который включается при подаче давления воздуха в диафрагменную камеру с вялой мембраной 21.При помощи диафрагменной камеры 22 с вялой мембраной, через плунжер 18, гнездо 10 с шаровым сегментом 11 подложка 23...

Номер патента: 144272

Опубликовано: 01.01.1962

Автор: Точицкий

МПК: B66C 1/10, B66C 1/28

Метки: автоматический, захват, клещевой

...взаимодействует при перемещен; и штанги с упором 13, расположенным на пластинчатой пружине 14 обоймы. Фиксация положения планки осуществляется пружиной 15.При опускании автоматического захвата с грузом 16 обойма упирается в груз и при дальнейшем опускании штанги клещи раскрываются. Одновременно с этим подпружиненный упор 13 обоймы, взаимодействуя с диском-фиксатором, поворачивает фиксирующую планку на 99. При подъеме штанги ВследстВие упругой деформации сппоальной пружины о клещи начинают закрываться до тех пор, пока пальцы 5 не упрутся в фиксирующу 1 о планку. Зтим самым после освобождения изделия клещи остаются открытыми, т. с. в готовности для захвата после Ло 144272дующего груза. Во время упора обоймы при подъеме последующего груза и...