H01L 7/68 — H01L 7/68

Номер патента: 439039

Опубликовано: 05.08.1974

Авторы: Бовыкин, Рябов

МПК: H01L 7/68

Метки: выгрузки, готовых, контактирования

...звеньев, профилированный кулачок и две подвижные губки с размещенными на них подпружиненными контактами. При этом сквозь зажимные гнезда пропущены подвижные толкатели, получающие перемещение от неподвижных упоров, расположенных по окружности, соответственно каждому номиналу прибора. Кроме этого, устройство имеет тару для каждого номинала прибора и вибробункер. Описанный механический блок нельзя применить для классификации по группам приборов, изготовляемых в спутниках, которые набраны в кассете. ана кинематическая схема ойства; на фиг. 2 и 3 - диус с контактной группой жит двигатель 1, на валу н эксцентрик 3 с подвиж- него звеном 4. Это звено но со звеном 5, один коолнен гибким и снабжен рпусом 7, Рабочая поверхет конусообразные...

Номер патента: 439040

Опубликовано: 05.08.1974

Автор: Каюткин

МПК: H01L 7/68

Метки: кассета-тара

...со стержнями закрепляется непосредственно на к ассете - таре.Загрузка приборов производится следующим образомПластикой 6 сжимаются пружины 7 и фиксируются в сжатом состоянии. Кассета - тара устанавливается на столик под загрузочное устройство так, чтобы клинообразные стержни 8 загрузочного устройства совпадали с осью симметрии контактных площадок. Контактные 3 и изолирующие 4 планки, кроме первой, сдвигаются по стержням 2 к планке 6. Образуется щель, порядка 5 - 10 мм. Планка с клинообразными стержнями фиксируется в верхнем положении. Полупроводниковый прибор 11 после термокомпрессии опускается439040 Составитель Н. ОстровскаяРедактор Н. Вирко Техред Г. Васильева Коррек вцов Тираж 760овета Министров ССоткрытийаб д. 4/5 Изд.122...

Номер патента: 443431

Опубликовано: 15.09.1974

Авторы: Балан, Поляченко, Соснина, Ткаченко

МПК: H01L 7/68

Метки: кристаллографической, монокристалла, ориентирования, плоскости

...оси 7. Пластбна, обойма, патрон, двигатель и редуктор составляют съемную часть прис 1 о пособлвния, предназначенную для установки на станок ориентированной резки.Основание 8 продольные салаз . 15 ки 9, жестко связанныэ с ниии попврвчныв салазки 10 с винтом подачи 11 и поперечная направляющая 13 представляют собоИ механизм, позво- ляющиИ только плоско-параллельное 2 о перемещение попэрзчноИ направляю- щвИ. Пластина зафиксирована на по- перечноИ направляющвИ базовыми штифтами 15, входящими в эе .базовые отверстия, и закреплена с помощью откидных винтов 14.На основан 1 и 8 имеется штырь 15, ось которого совпадает с вертикаль- ноИ осью вращения монокристалла относительно рентгеновского счетчика 16, куда попадает пучок рэнтгэновскйх лучэИ...

Номер патента: 443432

Опубликовано: 15.09.1974

Авторы: Кирилюк, Коваленко, Тихий, Фрумкин

МПК: H01L 7/68

Метки: влагопоглотительной, заполнения, колпаков, полупроводниковых, приборов, смесью

...выполнены пазы. В основайиз траФарзта 8 крепятся штыри У, которые оканчиваются яластичными чашзобразными алзментами 10. Трафарзт помещается в ван443432 с3ну 11, в котороИ находится вязкая основания стеноа. Выдавленная дозалощающая смзсь уровень смеси удерживается в колпаке заш" чашэоб азных эластич- счет сил сцепления.При движении вниз рамка 5 нажи ных элементов 10.Кассета 12 с колпаками полупромает на концевоИ выключатель, элвкволниковых приборов установлзна в тричзская цепь электродвигателя 1 основании 15, имеющем рукоятку 1. обзсточивается. Рамка 5 останавлиКрышка 15 прй опускании Фиксирузтвазтся в крайнем нижнем положении. положвниз кассету в основании, ОсьПоворотом рукоятки ТФ на 180 16 основания и крышки установлена 1 о -основание...

Номер патента: 443433

Опубликовано: 15.09.1974

Авторы: Громов, Кочурков, Медведев, Мягков, Щербачев

МПК: H01L 7/68

Метки: групповой, кассета, пластин, химической

...пластйн позволяет при вращении кассеты создать направленный поток реактива вдоль полупроводниковых пластин и вести их обработку непрерывно свежими порщими реактива с ектным удалением продуктов реакции, чем достигается качественная равномерная химическая обработка их поверхностей. Кроме того, такая кассета становится универсальной, так как возможна обработка полупроводниковых пластин круглой и прямоугольной формы различных размеров.На фиг. 1 и 2 изображена описываемая кассета в двух проекциях.Кассета для групповой химической обработки полупроводниковых пластин состоит из корпуса 1 в виде3 .443433диска с кольцевой проточной ком- происходит непрерывное удалейие проческой формы, переходящей в прямо- дуктов реакции с поверхностей...

Номер патента: 444276

Опубликовано: 25.09.1974

Авторы: Борзаков, Панкин, Черников, Чернышов

МПК: H01L 7/68

Метки: горизонтальной, камере, подложек, размещения, элемент

...газового потока. ны скосами по боковым ст ны разной ширины,А, М. Черников и В, В, Че На чертеже схематически изображен предлагаемый элемент, общий вид.Элемент включает в себя основание 1, накотором смонтированы рассекатель 2 и под ставки 3 и 4, имеющие скосы 5 на боковыхсторонах для более надежного фиксирования уложенных на них съемных боковых стенок 6.На внешней поверхности стенок 6 имеются штыри 7 для удержания полупроводнгп(овых 10 пластин 8. Для загрузки в печь и выгрузки изнее на основании 1 элемента имеется отверстие 9.Подготовленные для обработки пластины 8укладывают на поверхность боковых стенок 6, 15 которые, в свою очередь, укладывают на боковые стороны подставок 3 и 4. На поверхности боковых стенок 6 пластины 8...

Номер патента: 444277

Опубликовано: 25.09.1974

Автор: Штейн

МПК: H01L 7/68

Метки: виде, выводов, загрузки, кассеты, стержней

...снабжено пластиной размещенной на нижнем основании кассеты, причем толщина пластины обеспечивает выступание верхних концов выводов над трафаретом.На чертеже приведена схема конструкции устройства.Устройство для загрузки в кассеты выводов в виде стержней содержит магазин 1 с ячейками 2 под загружаемые выводы 3. Толщина магазина несколько больше длины вывода. а размеры ячейки по периметру (диаметр или длина и ширина) не должны допускать отклонение осей попавших в нее выводов от вертикали более чем на 20 - 25 во избежание заклинивания и застревания. Одновременно каждая ячейка предназначена для помещения в ней нескольких десятков выводов, что позволяет использовать однажды заполненный магазин для загрузки. соответственно, десятков кассет....

Номер патента: 446921

Опубликовано: 15.10.1974

Авторы: Белицкий, Точицкий

МПК: H01L 7/68

Метки: круглых, ориентирования, подложек, транспортирования

...подложки.20 На чертеже показан общий видпредлагаемого устройства. Устройство содержит основание 1; пневмотранспотер 2 с бортами 3; ориентирующии механизм, содержащии кора 5 опус 4 с прикреплейными к нему бортом 5 и базовым жестким упором 6, подвижную базовую опору 7, прик- , репленную к корпусу 4 через, пружинный шарнир 8 и вибропривод 9.Устройство работает слещющим 5 образом.Приподаче воздуха к пневмотранспортеру 2 и корпусу 4 ориентирующего механизма подложка, подан ная на пневмогранспортер, движется 1 о на воздушной подушке по йаправлению к ориентирующему механизму. Попадая на ориентирующий механизм, сопла 10 которого расположены так, что выходящий из них воздух прижи= мает подложку к подвижной базовой опоре 7, упору 6 и создает...

Номер патента: 449399

Опубликовано: 05.11.1974

Авторы: Гойденко, Достанко, Кулагин, Пикуль

МПК: H01L 7/68

Метки: подложек, финишной

...недостатки устранены благодаря тому, что узел крепления подложек выполнен в теле волновода в виде плоского ромба, углы которого срезаны плоскостями, параллельными оси волновода, и снабжен регулируемым упором со стороны, противоположной концентратору.На чертеже схематично показано предложенное устройство и узел крепления подложки.Устройство содержит источник электронов, состоящий из термоэмиссионного катода 1, подвижной заслонки 2 для задержки или пропускания потока электронов на подложку 3 и высоковольтного блока питания 4, и ультразвуковую колебательную систему, состоящую из магнитострикционного преобразователя 5, концентратора 6, волновода 7, в теле которого ыполнен узел крепления 8 подложки с подижным упором 9,Перед нанесением...

Номер патента: 450260

Опубликовано: 15.11.1974

Авторы: Бандик, Безсалов, Данковский, Доброхотов, Дулин, Медведев, Муравчик

МПК: H01L 7/68

Метки: полупроводниковых, резки

...зажимным приспособлением шарнирно подвешен на свободном конце первого рычага. 25На чертеже показано описываемое уст шарнирно связан рычаг 5 механизма подачи. Поворот рычага 5 осуществляется вокруг оси 6 при помощи ручки 7 эксцентрикового кулачка 8, сидящей на оси 9. Рычаг 10 установлен на оси 11 рычага 5 и соединен с ним гидро- регулятором 12. На нижнем конце рычага 10 закреплено зажимное приспособление для стержня 13.Устройство работает следующим образом.Стержень 13 фиксируется в зажимном приспособлении рычага 10, За счет поворота ручки 7 кулачка 8 вокруг оси 9 рычаг 10 со стержнем 13 выводится из положения вертикального равновесия и под действием соб. ственного веса начинает поворачиваться вокруг оси 11, осуществляя подачу стержня...

Номер патента: 450261

Опубликовано: 15.11.1974

Авторы: Дедов, Кузнецов, Новиков

МПК: H01L 7/68

Метки: ориентации

...одна к другой, а другой рычаг - одну ориентирующую плоскость, направленную в сторону угла первого рычага. Пластину фаской устанавливают против базовой плоскости рычага и с помощью стержня, сообщающего перемещение рычагам, ее выравнивают. Однако этот узел позволяет ориентировать пластины только вручную и поштучно. Процесс загрузки требует внимательного отношения оператора, так как необходима точная предварительная установка фаски пластин относительно базовой плоскости рычага. Сами же пластины в момент загрузки или разгрузки могут быть подвергнуты повреждению (сколы, царапины и т. п.). В ре(53) УДК 621.382(088.8)Ролики 16 поджаты к кулачку 18 пружинами 19.Пластины 20, расположенные в гнездах дискообразной кассеты (на чертеже не...

Номер патента: 457125

Опубликовано: 15.01.1975

Авторы: Бойко, Ходяк, Шварцман

МПК: H01L 7/68

Метки: кассета, отмывки, пластин, химической

...к оси корпуса 30 под углом около 45 и сопряженных в нижней части полуокружностью, причем сечение каждого паза для пластин образовано углублением на 1,5 - 2 мм вдоль всей образующей сечения кольцевой проточки, и фиксатор пластин выполнен в виде колпака, повторяющего форму корпуса.На чертеже показана пидлагаемая кассета и разрез по А - А,Кассета содержит корпус 1, выполненный в виде ступенчатого цилиндрического стержня с осевым отверстием 2, Каждая ступень корпуса имеет кольцевую проточку 3, сечение кото. рой имеет в нижней части полуокружность 4, сопрягающую параллельные прямые 5, расположенные к оси корпуса под углом около 45, Ячейка 6 для пластины 7 образована пазом одинаковой глубины (1,5 - 2 мм), ирофрезерованным вдоль всей...

Номер патента: 458906

Опубликовано: 30.01.1975

Авторы: Арбит, Громыко, Постников, Штейнберг

МПК: H01L 7/68

Метки: выдачи, миниатюрных, поштучной, съема

...устройства для поштучной выдачи деталей, содержащие источник электрического поля, вибратор с узлом подачи деталей и съемник деталей.Цель изобретения - повышение производительности устройства.Это достигается тем, что узел подачи представляет собой закрепленные на вибраторе металлические стержни с опорными выступами на рабочих концах, при этом каждый съемник выполнен в виде иглы, установленной в кассете под опорным выступом стержня узла подачи.На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.Устройство содержит основание 1, диэлектрический барабан 2, приводимый во вращение электродвигателем 3 и электризуемый при трении о контртело 4, кассету 5 со съемниками 6, вибратор 7 и металлические стержни 8. Последние установлены перед...

Номер патента: 459818

Опубликовано: 05.02.1975

Авторы: Блинов, Козырь, Яловега

МПК: H01L 7/68

Метки: пластин, поверхности, полупроводниковых

...самоуравновешивания подвешены к станине 13 на двойномшарнире Гука 14.Работает устройство следующим образом.1 О В гнезда ротора 2 закладывают полупроводниковые пластины и поджимают их сверху с помощью пневмопривода 5 крышкой 4 с усилием, гарантирующим давление на поверхность ротора 4 - 15 кг/см, Затем в полость 15 между ротором 2 и крышкой 4 из резервуара6 под давлением подают нагретую до температуры 80 - 90 С смесь особо чистой воды с растворенным в ней кислородом. Когда в магистрали подачи воды давление возрастает до 20 появления тонкого слоя жидкости, истекающей по кольцевому зазору, включают центрифугу 1. По окончании процесса очистки выключают центрифугу, прекращают подачу смеси, поднимают крышку и освобождают ротор 25 от очищенных...

Номер патента: 401272

Опубликовано: 25.02.1975

Авторы: Гулидов, Данилков, Палиенко, Райнов, Райнова, Селиверстов, Чистяков

МПК: H01L 7/68

Метки: слоев, эпитаксиальных

...подложек 6 и выполнен, например, из графита в виде П-образных петель, имеющихвертикально расположенные рабочие поверхности, на которых размещены подложки, Ко 30 личество П-образных петель, крепящихся на Однако неконтролируемыи характер газодинамических параметров (линейная скорость потока парогазовой смеси в разных точках реакционных камер) в таких установках приводит к нарастанию слоев или пленок, неравномерных по толщине. Эта же причина вызывает неравномерное легирование по площади растущих эпитаксиальных слоев. Кроме того, значительная длина трубопроводов газовакуумной системы на участке между испарителем и реакционной камерой не позволяет получать высокую чистоту поступающей в реакционную камеру смеси.5 1 О 15 20 25 зо 35 40 45...

Номер патента: 461467

Опубликовано: 25.02.1975

Авторы: Виноградов, Окунь, Сенатова, Турилина

МПК: H01L 7/68

Метки: подвода, рабочей, смеси

...плохой воспроизводимостью процесса и низкой производительностью установки,Цель изобретения - обеспечить хорошую воспроизводимость процесса при одновременном повышении производительности устройства и создании максимального удобства в работе.Это достигается тем, что устройство содержит резервуар-испаритель, окруженный объемом, соединенным с одной стороны через термостат с источником газа-носителя, а с другой стороны, через трубопровод, - с резервуаром испарителя.На чертеже представлена принципиальная схема предлагаемого устройства.Испаритель 1 и газовая рубашка 2 соединены между собой трубопроводом 3. В верх 2ней части корпуса испарителя 1 расположенопереключающее устройство 4, с помощьюплунжера 5 которого переключают поток...

Номер патента: 463174

Опубликовано: 05.03.1975

Авторы: Булавин, Желудов, Калинин, Коробов, Тулянкин

МПК: H01L 7/68

Метки: пластин, электролитической

...соединенных графитовых пластин, Пластины анода и катода чередуются в пазах таким образом, что каждая пластина имеет полярность, противоположную полярно стп соседней пластины. Глубина пазов превышает высоту размещенных в них пластин электродов. Свободная часть 7 объема пазов 4 заполнена электролитом.Пластины 8 закреплены таким образом, что 25 пх обрабатывасмая поверхность, контактируяс поверхностью диска 2, одновременно касается электролита 7. Торцы пластин 8 зафиксированы в гнездах установочной головки 9, свободно закрепленной на своеи оси над по- ЗО верхностью диска 2. На торцах диска выпол463174 10 оставитсли 1 О, цветковТехред А. Камыгиникова 1(орректор О. Тюрина Орловскаг Редакто Тираж 833ета й 1 ииистроврытий-35, 1 аъшскди пао...

Номер патента: 465680

Опубликовано: 30.03.1975

Автор: Скобеев

МПК: H01L 7/68

Метки: групповой, транзисторов, фиксации

...на фиг. 2 - зажимные планки. 20Устройство работает следующим образом.Трафарет 1 с отверстиями 2 накладывают на корпуса транзисторов 3, выводы 4 которых установлены в отверстиях упаковочной тары 5, Затем панель вместе с тарой переворачива ют на 180 и устанавливают в корпус 6. Приподняв тару, вводят под нее между рядами выводов 4 фиксирующие планки 7 с заостренными концами 8. При установке поворотной оси 9 в пазу 10 и вращении гаек 11 происходит обжим планками 7 выводов 4, что повышает их жесткость.Далее внутрь тары 5 на концы выводов накладывается прямоугольный кусок 12 губчатого материала типа поролон и кожух 13 с проволочной предохранительной сеткой 14.Давление на кожух через сетку передается губчатому материалу, при этом...

Номер патента: 469168

Опубликовано: 30.04.1975

Авторы: Быков, Кузьмичев, Огай, Огуз, Штейн

МПК: H01L 7/68

Метки: выводов, загрузки

...7.Кассетоноситель 8 служит для подачи кассет 6 (например, двух штук одновременно) взону действия механизма подъема кассет 9,20 который подает их до фиксации с трафаретом 5, Все основные механизмы устройстваразмещены на столе 10,Приемная коробка 11 и лоток 12 (см.фиг, 2) служат для сбора выводов, не попавших в ячейки магазина в процессе рассева.Управление механизмами устройства загрузки выводов производится системой расположенных на распределительном валу 13 кулачков и приборами электроавтоматики.3Работает устройство следующим образом.Вибробункер 1 по команде распределительного вала 13 подает вывода в лоток - склиз 2, который раскачиваясь распределяет детали поверх подвижного вибролотка 3 с пазами. Последний совершая...

Номер патента: 470020

Опубликовано: 05.05.1975

Авторы: Карнаухов, Окружнов, Пецюх, Пономарев, Ратнек, Синчук, Тарвид, Чарный, Шаронов

МПК: H01L 7/68

Метки: классификатор, полупроводниковых, приборов

...8 см. фиг, 1) представляет собой поворотную трубу с воронкообразнойприемной частью. Труба жестко соединена свалом электромеханического привода 9, электрически связанного с блоком управления 6.Работает классификатор следую 1 цим 11 бразом. 15Транзистор загружается вручную в узелподключения 2 до упора, сделанного на егокрышке, при этом пружинящие контакты обжимают выводы транзистора. Производитсязамер параметров в автоматическом режиме.Если транзистор бракуется на первой позициикоммутатора, то остальные параметры не измеряются,При этом (или после окончания замеравсех параметров) с олокг классификации 5подается команда на блок управления 6, который выдает кратковременный импульс наэлектродвигатель 14 привода съемника,Длительность...

Номер патента: 473241

Опубликовано: 05.06.1975

Авторы: Базанов, Бичан, Киршнер, Косауров, Окружнов, Терпигорев

МПК: H01L 7/68

Метки: радиодеталей, разбраковки

...Гц или брака, Этот механизм состоит цз лотков 24, воронки 2), ячеек сортировки 26 : электромагнитов 23,С распределительным Валом 11 чс;сз передачи 27 связан компецсируошпй 11 сра 3 цое:)- ос нагрузки пд Вд;у стдоил 11 з 1 ГОр спокой ного хода 28.Устройство работает слсдукнццм Ооразом. В вибробункердх 1 транзисторы ОГ;сляОтс 3 друг от друга, устанавливаются в пригодное для транспортирования и контроля поло)кс:Хс и поступают в лотки 2, (1 о когрым онц,шцжутся к питателям 3 под действием соостзсц- НОИ Т 51)КССТИ И ДДВЛСНЦЯ ВСРХНЦХ П,)Ц 00)О 3. В питателях транзисторы цдкаЛиван) Гся;1 под 10 тдВ:1 иВаютс 51 к црцсму р 001 ии )1 схднизмами.В момент, предшествующий начат дв:жсния роторного диска 5 правого кдцдлд, соо-. - ветствующие контакты...

Номер патента: 463401

Опубликовано: 25.06.1975

Авторы: Лепетило, Янович

МПК: H01L 7/68

Метки: полупроводниковых, приборов, сборки

...- ца флдццс 2 О 4 инструмента; механизм прижима подложи)1с шарнирной опорой, связанной с корпусом рабочей головкц через цаправляощую внутреннего трения.Шарнирная опора выполцсца в вцдс вту.)- О с Опор)ым ф,аниса 9, кднтд),т;11) Оц 1 сйпо сфере с корпусом 10, с которым также контактирует по сфере шайба 11. Между шайбой 11 и флаццем 12, закрепленным в верхней части втулки 8, установлена пружц- зО на сжатия 1). Шарнирная опора соединенаС КРИУСХ РЯООСИ ГОГОБКР ПсИРЯ В.15 ОиСи ВпутрсппеГО трспи 51, ВыиОлпсппОЙ В Виде двух плоско-параллел 1 Иых пру 5 кип 14 с плаваю 1 Ци 5 КРЕПЛСПИС.ЪстрОЙство ряоотяст следуоцпм оразом.После зс 1 хвятя кристял,12 1 э и:1 стрммепТО ПУТОМ СОЗДЯ 1 И 51 ВЯКУУМЯ РООЧЯ 5 О,ОБ.ея, я Вместе с пей мехапизх...

Номер патента: 474870

Опубликовано: 25.06.1975

Авторы: Грешнов, Чернов

МПК: H01L 7/68

Метки: групповой, кассета, полупроводниковых, приборов, фиксации

...днаметр меньше 0,1 лл, на операциях от термокомпрессионной прцварюц выводов до укладки приборов в тару.Известна кассета для групповой фцксап 0 лу:1 роводниковых п 1)иборов, где приборы предварительно попадают в заходную часть кассеты, а затем, приподнимая кассету, своими выводамц заходят в волнообразну 1 о часть желоба, где выводы изгибаются в пределах упругой дефорации, а возникающие пр; этом силы прения надеж 1 но удорживают пр:.боры в кассете.Выводы приборов должны иметь достаточну 1 о жесткость, чтобы :не согнуться прц своем движении в волнообразную часть, Для приооров, у которых выводы имеют диаметр меньше 0,1 лл,;из любого, материала, приисняемого для этих целей, такая конструк 1 и я н Юлдр 1 ц Годн а.Однако для приборов с...

Номер патента: 479179

Опубликовано: 30.07.1975

Авторы: Кадаков, Смирнов

МПК: H01L 7/68

Метки: ориентации, полупроводниковых, приборов

...может быть использовано при автоматизации ряда технологических операций.Известно устройство для ориентации полупроводниковых приборов, содержащее вибролоток с фасонным пазом и иглы, причем зона ориентации его выполнена в виде лабиринта, образованного клиновидным выступом на фасонном пазу вибролотка, а иглы выполнены регулируемыми по длине.Вследствие гого, что, проходя лабиринт, прибор должен поворачиваться на угол до 270 на участке лотка, соизмеримом по длине с диаметром, на котором расположены выводы, возможны случаи заклинивания, особенно при наличии подпора приборов, что нарушает условия прохождения лабиринта.Кроме того, трудоемкой задачей является настройка лабиринта на конкретный тип прибора.Изобретение позволяет устранить эти...

Номер патента: 482836

Опубликовано: 30.08.1975

Авторы: Алейников, Комаров

МПК: H01L 7/68

Метки: загрузки, транспортирования

...изображено предлагаемое устройство, общий вид в процессе загрузки в ленточную кассету изделия; на фиг. 2 - вид ленты-кассеты в плане.15 Устройство для загрузки и транспортирования изделий состоит из ленточной кассеты с двумя слоями: основанием 1 и несущим слоем 2, в котором выполнены симметричные отверстия 3, со стороны загрузки, и 4 - со 20 стороны основания, образующие ступенчатоеуглубление Составной частью устройства является толкатель 5, кинематически связанный с кулачками 6 и инструментом-присоской 7. Толкатель имеет возможность возврат но-поступательного движения относительнооснования ленточной кассеты. С помощью перфорации 8 ленточная кассета перемещается на шаг относительно позиции загрузки.Работает устройство следующим образом....

Номер патента: 488271

Опубликовано: 15.10.1975

Авторы: Голубовский, Журавский, Лифлянд

МПК: H01L 7/68

Метки: кристаллов, монтажа, полупроводниковых

...и оппра 1 ощемся ца кулачок 18, прифецлсц электромагнит 19 с упором 20.Привод кулачков 14 и 18 осуществляется от электродвигателя 21 через червячную передачу 22.Устройство работает следующим образом.Кристаллы помещают в загрузочное устройство 23, откуда их пошту о захватывают инструментом 2 и переносят ца позицию монтажа, где сварочная головка 1, укрепленная ца каретке вертикального хода 3, уста 11 авливает кристалл на контактные площадки подложки микросхемы. Перемещение каретки 3 производится рычагом 12, опирающимся на кулачок 14.В момент коцтактирования выводов кристалла с контактными площадками подложки микросхемы на инструмент должно передаваться определенное усилие цагружения, определяемое технологическими факторами (типоразмер...

Номер патента: 489165

Опубликовано: 25.10.1975

Авторы: Аксенов, Блохин, Клюев, Павлов, Филиппов, Чернявский, Шабельников

МПК: H01L 7/68

Метки: зондовая, полупроводниковых, структур

...следующие обоэнлчения: Э,Б,К - условное подключениеэмиттера, базы и коллектора проверяемойструктуры к испытательной схьме на схе ме условнО не показаны лектроиэоляпиязондоь и предметного стола и привод установки);- длина зонда; Я - фокальная плОскОсть,расстояние От Осикачания зонда до плоскостч Я ; а Й - глу- М . бина резкости оптнческой системы;3тт, /( / тт Ь,ГтюСтрттЛа ттрогцбй Зотнда, д Гт з рейкцмя койтактной площадки; д 5,Ф,ДНЙ РИСКИ,Установка состоит из оптического уст- ООЯСТВД Д КОЦПусаПредМ 8 ТНСГОтС МВХИНИЖ 4 ОМ П 8 Ремещеиият ДВУХ ИЗМед рительиых ЗОНДОВ 4 с механизмами переМеиеции.Работа установки осущеслаиется сл"=дттт ттцти Образом,,т ЬОВВРЯеыатя ПЛИСТИНа 5 З 2 КР 8 ПЛЯЕ"СЯтРЕДъ,тЕтНОМ дРП 8 3 ВаттттУ 1 т,п.тт т ПРИМОМ И...

Номер патента: 492014

Опубликовано: 15.11.1975

Авторы: Семенов, Токарев, Ярош

МПК: H01L 7/68

Метки: кристаллов, полуавтомат, разбраковки

...направляющие 16; полую втулку 18, жестко закрепленную на столе 1; толкатель 19, расположенный внутри втулки 18; регулировочный винт 20 с контргайкой 21; пружины 22, 23 и 24.Полуавтомат для разбраковки кристаллов работает следующим образом.Перед началом разбраковки кассеты 4, гнезда 5 которых заполнены кристаллами, устаналивают на механизмах 6. В это время поворотное устройство 7 находится в исходном положении.Изображение кристалла, размещенного в гнезде 5 с помощью оптической системы 2 и осветителя 3 передается на экран или в считывающее устройство, откуда в зависимости от результата контроля может поступать сигнал Брак или сигнал Годен. Этими сигналами включаются механизм привода 9 и механизмы 6 перемещения кассет, в результате...

Номер патента: 501435

Опубликовано: 30.01.1976

Авторы: Бобылев, Богомольник, Власов, Петров, Шеларь, Яшечкина

МПК: H01L 7/68

Метки: геометрическим, круглых, профилем, сложным, химической

...на фиг. 4 - кассетасо структурой; на фиг. 5 - структура с подведенным к ней соплом.Установка для химической обработки содер- зжит установленную на основании 1 химически стойкую камеру 2 (фиг. 1), в которой расположены идентичные ванны предварительного травления 3, финишного травления 4, ванна отмывки 5 и сушки 6. В установке преду- щсмотрен также блок управления 7 и узел газораспределения 8, В ваннах установленывращающиеся валики 9 (фиг. 2), кинематически соединенными системой шестерен 10 сприводом 11, и сальниковые узлы 12. На дне дванны расположена газоприемная полость 13с соплами 14, сориентированными относительно обрабатываемых структур 15, удерживаемых кассетой 16 (фиг. 3). На фиг. 4 показанорасположение структуры 15 в...

Номер патента: 514378

Опубликовано: 15.05.1976

Авторы: Пергунов, Симакин, Ушаков

МПК: H01L 7/68

Метки: кассета, нанесения, пластины, пленки, плоские

...р-ПО 1,; ДГ г 31 -32 СЧЕТэтОГО усилия Выстпы 5 упруОЙ подложки 3,деформируясь направленно в сторону их угланаклона к основанию, перемещают размещенные на пх опорных площадках 7 к геометрическому центру кассеты до тех пор, пока не 5устранятся имеющиеся зазоры,как между отдельными пластинами в рядах, так и междурядами. Рабочим усилием прижимаОт пленкук пластинам, выдерживают давление заданноевремя, а затем сиимают нагрузку, Так как адгезия ленты 10 с пластинами 9 выше, чем супругим основанием рабочего органа, то налипация плепки к пабочет, оргагг це происходит,Плястинь сяпесс,но я;гх пленкдл герегружаются па кассеты дл 5 дальнейнцх опсдгц.й. Для Обеспечения цезавц имогд идивцдуяльцого пере,ещсния каждой пластипы ширина выступа кассеты не...