Устройство для транспортирования и ориентирования круглых подложек

Сстд вю.о . ток:1абай щпеэоь.л э. 01 вндщте Союз Советских Социалистинеских Республик(22) Эаявлено 20. 02. 73(21)1884787/2685 с присоединением заявки -1) М Кл. Н 018 7/68 осударстеенкый комитетСоеета Мииистроа СССРпо делам изобретенийи открытий(541 УСТРОЙС ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ И ОРИЕНТИРОВАНИЯКРУ 1,ЛЫХ. ПОДЛОЖЕК Изобретение относится к области микроэлектроники и может найтиприменение при производстве полупроводниковых приборов, например,для фотогравировки,Известна автоматическая система для подачи и предварительногоориентирования подложек.Подложки подаются на воздушной подушке (на линейных воздушныхподшлпниках) на поворотный столик.Ориентировка производится по плоскости срезанного сегмента при помощи двух фотоэлектрических головок,управляющих вращением столика. Этаслстема из-за своей сложности ненадежна в эксплуатации и требуетприменения средств автоматики иуправления.Известны также устройства дляориентирования и сортировки деталей, принцип действия которых основан на применении вибрации. Однакоэти устройства не позволяют ориентировать детали круглой формы, у 2которых в качестве ключа ориентации служит плоскость срезанногосегмента.,Нля повышения надежности ори ентации подложек со срезанным сегментом в предлагаемом устройствеориентирующий механизм содержитподвижную базовую опору, выполненную в виде плоской пластины с уп-10 ругим шарниром, расположенную перпендикулярно оси транспортирования,консольно закрепленную на корпусеориентирующего механизма и кинематически связанную с виброприводом, 15 и базовый упор, жестко закрепленный на корпусе ориентирующего механизма,на расстоянии от подвижнойбазовой опоры, равном 1-1,2 радиуса подложки.20 На чертеже показан общий видпредлагаемого устройства. Устройство содержит основание 1; пневмотранспотер 2 с бортами 3; ориентирующии механизм, содержащии кора 5 опус 4 с прикреплейными к нему бортом 5 и базовым жестким упором 6, подвижную базовую опору 7, прик- , репленную к корпусу 4 через, пружинный шарнир 8 и вибропривод 9.Устройство работает слещющим 5 образом.Приподаче воздуха к пневмотранспортеру 2 и корпусу 4 ориентирующего механизма подложка, подан ная на пневмогранспортер, движется 1 о на воздушной подушке по йаправлению к ориентирующему механизму. Попадая на ориентирующий механизм, сопла 10 которого расположены так, что выходящий из них воздух прижи= мает подложку к подвижной базовой опоре 7, упору 6 и создает вращающий момент, подложка оставливается. Момент сил трения подложки об пор 6 и подвижную базовую опору :фпревышает вращающий момент. При включении вибропривода 9 подвижная базовая опора 7 начинает вибрировать, и момент, вращающий подложку, йревышает момент сил трения во 25 время отрыва ее от подвижной базовой опоры 7. Подложка поворачивается до тех пор, пока плоскость сре. занного сегмента не совпадает с вибрирующей базовой опорой 7. Такое зо фиксированное положение подложкипозволяет при выключенном приводевибратора выполнять такле технологические операции, как перенесениеизображения фотошаблона на подложку, измерения параметров приборовна неразрезанной подложке и др; ПРЕДМЕТ ЛЗОБРЕТЕНИЯУстройство для транспортирования и ориентирования круглых подложек, например, полупроводниковых, состоящее из йневмотранспортера с соплами и ориентирующего механизма, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности ориейтации подложек со срезанным сегментом, ориентирующий механизм содержит подвижную базовую опору, выполненную в виде плоской пластйны с упругим шарниром, расположенную перпендикулярно оси транспортирования, консольно закрепленную на корпусе ориентирующего механизма и кинематически связанную с виброприводом, и базовый упор, жестко зак-, реплейный на корпусе ориентирующего механизма на расстоянии от подвижной базовой опоры, равном 1-1,2 радиуса подложки.446921 дакторИ Ифб Подписное СССР реднриятис. атент, Москва, Г.59, Бережковская наб Б,з МЫЦН 1111 И Составитель Ц фыурОщГехред Я, Я 5 ЯРСКИй Изд. МТираж 7 бОосударствен ного комитета Совета Миннстроно делам изобретений н открытий Москва, 13035, Раушская наб 4