Микромам и п, улятор

Союз Советских Социалистически РеспубликЗависимое от авт, свидетельства-Кл, 49 с, 30/01 Заявлено 12, у 111.1966 ( 1098242/25-27)с присоединением заявки-ПриоритетОпубликовано 08,Х 11,1967, Бюллетень МДата опубликования описания 9.11,1968 МПК В 230УДК 62 229 72(088 8) Комитет по дел зобретеиий и открытий при Совете Министре СССР. И. Точицкий и В. Н, Широков аявител МИКРОМАН И ПУЛ пластинойрощает егоНа фиг,манипулятовид сверхукрестовыйреди,ного стола. Это упи эксплуатацию. редлагаемый микрона фиг. 2 - то же, ышкой); на фиг. 3 - нный стол, вид спедвухкоордина изготовление 1 изображен р, общий вид (со снятой к плоско-пруж Предлагаемый ми кром анипулятор может быть применен в производстве полупроводниковых и электровакуумных приборов, научноисследовательских работах в области биологии, физики твердого тела, микрогравировки и др.Известен микроманипулятор для пространственного перемещения двухкоординатного стола, передача к которому от рычага управления выполнена в виде двух раздельно включаемых электромагнитов - для грубого и точного перемещения. Первый электромагнит связан через шарнир с рычагом управления, а второй - с пантографом, связанным шарнирно с электромагнитом грубого перемещения и с корпусом. Однако такой микроманипулятор труден в изготовлении и эксплуатации. Особенностью предложенного микроманипулятора является то, что двухкоординатный стол выполнен в виде трех пластин, связанных между собой при помощи плоских пружин, Верхняя такая пружина закреплена на корпусе, а нижняя опирается на шаровую головку рычага управления. Последний снабжен телескопически входящим в него подпружиненным стержнем, имеющим головку, которая шарнирно связана с регулируемым по высоте упором. Этот упор установлен на корпусе. Рабочий столик смонтирован на промежуточной плите, жестко связанной с нижней Микроманипулятор выполнен из расположенного в корпусе 1 рабочего столика 2, опи рающегося сверху через шариковую опору накорпус, а снизу через шариковую опору на конусную втулку , упругий элемент 4 - на промежуточную плиту 5. Последняя таккечерез шариковую опору опирается на корпус.15 Упругая втулка устраняет торцовые биенияконической втулки и промежуточной плиты относительно корпуса.Перемещается промежуточная плита 5 те- .лескопическим рычагом б, шарнирно связан ным с этой плитой. Верхний конец рычагашарнирно укреплен при помощи гайки 7, а нижний шарнирно соединен с рукояткой 8, которая перемещается по нижней поверхности корпуса 1.25 Промежуточная плита при помощи плоскопружинного крестового двухкоординатного стола 9 связана с корпусом 1, В результате этого она может перемещаться только тогда, когда этому не препятствует крестовый двух- координатный стол, представляющий собой три пластины 10, 11, 12. Каждые две соседниепластины сообщены между, собой двумя плоскими пружинами 13, в которых сделана про-, дольная прорезь. Верхняя пластина 10 жестко закреплена на корпусе, а нижняя 12 - на плите Б. Концы пружин 1 З попарно соединены стержнями 14. При поворотах рычага 6 работает либо одна пара пружин, либо другая, либо обе, что позволяет этому рычагу, плите 6, а значит и рабочему столику 2 перемещаться только прямолинейно. Пружина 15 служит для предотвращения люфтов в шарнирах рычага 6.Плоскопружинный крестовый двухкоординатный стол 9 копирует движения рукоятки 8 рабочим столиком 2 с высокой точностью, Так как можно регулировать плечи рычага, легко меняют масштаб перемещений и производят очень точные малые перемещения без разворотов.Поворачивается рабочий столик относительно корпуса винтовым механизмом 16.Предмет изобретения1. Микроманипулятор, содержащий корпус, двухкоординатный стол и рабочий столик,2069804а также рычаг с рукояткой управления, снабженный шаровой головкой, входящей в соответствующее гнездо, имеющееся в двухкоординатном столе, отличающийся тем, что, с5 целью упрощения его изготовления и эксплуатации, двухкоординатный стол выполнен в виде трех связанных между собой при помощи плоских пружин пластин, из которых верхняя жестко закреплена на корпусе, а нижняя опи рается на шаровую головку рычага управления, который снабжен телескопически входящим в него подпружиненным стержнем, имеющим головку, шарнирно связанную с регулируемым по высоте упором, установленным на 15 корпусе; при этом рабочий столик смонтирован на промежуточной плите, жестко связанной с нижней пластиной двухкоординатного стола. 20 2. Микроманипулятор по п. 1, отличающийся тем, что рабочий столик опирается сверху на корпус через шариковую опору, а снизу - также через шариковую опору на конусную втулку, связанную упругим элементом с про межуточной плитой.Составитель В. РастрепинРедактор В. Ф, Чулкова Техред Т. П, Курилко Корректоры: И. Л. Кирилловаи С. А. БашлыковаЗаказ 4677/8 Тираж 530 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4