Чечера

Номер патента: 1806157

Опубликовано: 30.03.1993

Авторы: Кононов, Лашицкий, Липинская, Мельников, Педан, Ревенко, Стрелкова, Чечера, Яцук

МПК: C09G 1/02

Метки: абразивная, дии-20, кремния, монокристаллов, пластин, суспензия, шлифования

...пластин в опытной партии, шлифованной с использованием абразивной суспенэии ДИ Инаблюдалосьдополнительное повышение выхода годныхизделий за счет уменьшения скрытого бракапосле шлифования,Предложенная абразивная суспензияДИИ - 20 бактерицидная, не вызывает раздражения кожи рук рабочего персонала, неимеет неприятного запаха, не корродируетоборудования, легко удаляется с обработанных пластин кремния,Порядок приготовления абразивнойсуспенэии ДИИ.Состав абразивной суспензии готовятследующим образом:1. Сначала в течение 1 - 2 ч выдерживаютв небольшом объеме питьевой воды (1 л)комнатной температуры желатин технический до набухания. Затем разбавляют и растворяют его горячей водой (70-80 С) вобъеме 2 - 3 л. Полученный раствор заливают в...

Номер патента: 688857

Опубликовано: 30.09.1979

Авторы: Полякова, Прохоров, Тарасевич, Точицкий, Чечера

МПК: G01N 1/36, H01L 21/66

Метки: глубины, залегания, микродефектов, микрослоев

...получают путем скола излома или среза, а также изготовлением перпендикулярного или наклонного шлифа. Далее измеряют профиль поперечного сечения, например излома, на электронном микроскопе или с помощью других специальных устройств. Затем наносят реплику одновременно на поперечное сечение и боковые стороны образца. Укб 118857 Формула изобретения Составитель А. Хачатурян Техред Т. Писакииа Корректор В. Дод Редактор А. Соловьева Заказ 210210 Изд. Ме 550 Тираж 1090 Подписное НПО Поиск Государственного комитета ГССР по делам изооретепий и открытий 113035, Москва, К.35, Расписка; наб., л. 45Типография, пр. Сапунова, 2 репляют реплику, например ультрафиолетовым облучением, и снимают ее с образца с разворотом в одну плоскость. Далее...

Номер патента: 519795

Опубликовано: 30.06.1976

Авторы: Осинский, Полякова, Тарасевич, Чечера

МПК: H01L 21/66

Метки: глубины, залегания, микродефектов, микрослоев

...сечение образца путем окола по плоскости епа 11 ности, среза,или изготовления перпендикулярного или наклонного шлифа. Метод получения поперечного сечения определяется видом материала (хрупкий, пластичный) и целью, проводимого исследования (глубина залегания, характер разрушения и т, д,). На 1 пример, для исследования глубины нарушенного слоя пластин кремния делают скол по плоскости спайности. Если есть необходимость исследования микронеоднородностей и других дефектов, на плоскости поперечного сечения выявляюг микрорельеф.Далее наносят реплики одновременно на поперечное сечение и боковые стороны образца таким образом, чтобы она покрывала поперечное сечение и часть боковых сторон. Затем отделяют реплики от образца с последующим...