Юссон

Номер патента: 1821494

Опубликовано: 15.06.1993

Авторы: Четчуев, Чукалин, Юссон

МПК: C23C 14/04

Метки: маски, напыления, пленочных, структур

...окна в виде прямоугольников, стороны которых ориентированы вдоль кристаллографических осей пластины (110), Далее глубоким аниэонтронным травлением в щелочных травителя при температуре порядка 100 С в пластине кремния получают отверстия 3 в виде щели. При этом боковые стенки отверстий совпадают с плоскостью (111), образуют угол порядка 55 к плоскости прилегания подложки.Выполнение боковых стенок выступа, совпадающими с наиболее прочной для кремния плоскостью (111), обеспечивает максимальный срок службы маски и воэможность получения длинных и узких консольных выступов.Минимальная погрешность изготовления размеров рисунка маски составляет 0,005 мм, благодаря высокой воспроизводимости размерОв края маски. Повышается1821494 оставитель Н,...

Номер патента: 1783596

Опубликовано: 23.12.1992

Авторы: Завьялов, Косарев, Куц, Четчуев, Чукалин, Юссон

МПК: H01L 21/302

Метки: балочных, упругих, элементов

...формы сечения; затем20проводят окисление всей пластины с образованными на ней упругими элементами,Указанная толщина ЗЮ 2 обеспечиваетсохранение при травлении формыупругогоэлемента на плоскостях (100) пластины"кремния, а размеры и расположейие окон в 25окисле по отношению к упругому элементупозволяют выдерживать конфигурацию боковых сторон поперечного сечения. Дляполучения высокой точности воспроизведения групповым методом упругих элементов 30на пластине требуется поддержание температуры и времени травления, а стабилизация упругих свойств выполняется за счетупрочнения поверхностного слоя упругогоэлемента термическим окислением всей 35структуры.На фиг, 1 показана стандартная круглая пластина кремния плоскости (100); нафиг, 2 -...