Патенты с меткой «покрытиив»

Номер патента: 268845

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Гаврилов, Железникова, Николаев, Федотов

МПК: C23C 14/04

Метки: вакууме, многослойных, нанесения, покрытиив

...друг к другу эксцентрично, что улучшает качество покрытий,На чертеже представлен общий вид предлагаемого устройства.Оно состоит из камеры 1, внутри которой расположены высоковольтный электрод 2, диска 8 с распыляемыми материалами, диска 4 подложек и диска 5 трафаретов, установленных по отношению друг к другу эксцентрично. При поднятом колпаке камеры на диске 4 закрепляют подложки, а на диске б трафареты. В ячейки диска 3 помещают распыляемые материалы, Высоковольтный электрод отведен в нижнее положение. Система откачивается до заданного разряжения и производится напуск инертного газа и с помощью системы электродов создается плазма. Высоковольтный электрод, перемещаясь в верхнее положение, за хватывает распыляемый материал и вносит...