Способ изготовления многослойных интерференционных систем

СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИСПУБЛИН ГОСУДАРСТВЕНПО ДЕЛАМ ИЗОБ ОПИС ОБРЕТЕН СКОМУ ВИДЕТЕЛЬСТ 60 99 Э,мкн НЫИ НОМИТЕТ СССР ТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(46) 07.11 .84. Бюл. У 41 (72) В,Г.Верещагин и А.Д.Замковец (71) Ордена Трудового Красного Знамени институт Физики АН Белорусской .ССР(56) 1. Патент Великобритании У 1484284, кл. С 05 В 5/28, опублик. 1977.2. Авторское свидетельство СССР 11 461398, кл. С 02 В 5/28, опублик. 1975 (прототип).(54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ СИСТЕМ путем термического осаждения в ваЯО 1122751 А 0 С 23 С 13 00 С 02 кууме материала с высоким показателем преломления на материал снизким показателем преломления,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью расширения спектрапьногодиапазона и .повышения надежности,изготавливают двухслойные заготовкипутем осаждения на пленку из полиэтилена материала с высоким показателемпреломления, формируют из заготовокстопу, в которой материап с высокимпоказателем преломления одной заготовки контактирует с полиэтипеновым слоем другой заготовки, и сваривают стопу в вакууме О -5 1 1 О торпри 100-130 С под давлением 1030 кг/см .12275 ВННИПН Заказ 8105/26 Тираж 899 Подпмсаое фщщад ЩЩ ффПатеатф г,7 зц ород уд,Проекткая, 4 Изобретение относится к инфракрасной технике и может использоваться при изготовлении многослойных интерференционных систем спектроделителей, зеркал, фильтров идругих многослойных оптическихпокрытий ) для далекой инфракраснойобласти спектра 50-500 мкм, а также для создания спектральной аппаратуры для астрофизических и косми- Оческих исследований,Известен способ синтеза интерференционных систем путем последовательного закреппения на подложкенапример, склеиванием) тонкихслоев материалов с требуемыми коэффициентами преломления и дальнейшеймеханической обработкой их до нужнойтолщины ( например, шлифованием 7.Недостатком этого способа является трудность реализации его дляобласти спектра менее 400 мкм, таккак при этом необходима полировкапластин геометрической толщины порядка нескольких десятков микрометров 25Наиболее близким по техническойсущности к предлагаемому являетсяспособ изготовления иятерференционных систем, включающий последовательное вакуумно-термическое осаждение наподложку в вакууме оптического материала с высоким показателем преломления на материал с низким показа 4телем преломления.Подложка служит для удержания многокомпонентной интерференционной сис темы и выполняется из механическипрочного материалагерманий, кремний, кварц ), прозрачного в рабочемспектральном диапазоне. Геометричес,кая толщина подложки при этом намного больше геометрической толщинынапыленных слоев 23.Недостатком известного способаявляется то, что с его помощьюневозможно получить качественные 45многослойные интерференционные системы в широком спектральном диаПазоне, поскольку уже в областиспектра 15-25 мкм наблюдается шелушение и отслаивание слоев. 50Кроме того, слои, полученныевакуумно-термическим осаждением,обладают пористостью и после заполнения пор атмосферной влагой интерференционные системы, изготовленные известным способом, изменяютсвои характеристики.Целью изобретения является расширение спектрального диапазонан повышение надежности интерференционных систем.Указанная цель достигается тем,что согласно способу изготовлениямногослойных интерференционныхсистем путем термического осаждения в вакууме материала с высокимпоказателем преломления на материал с низким показателем преломления изготавливают двухслойные заго -товки путем осаждения на пленку изполиэтилена материала с высоким показателем преломления, формируют иззаготовок стопу, в которой материалс высоким показателем преломленияодной заготовки контактирует с полиэтиленовым слоем другой заготовки,и сваривают стопу в вакууме 11-5 ) "10торр при 100-130 С под давлением 10-30 кг/см,Способ осуществляют следующимобразом,При получении интерференционнойсистемы с минимумом пропусканияпри длине волны 60 мкм на полиэтиленовую пленку оптической толщины15 мкм (геометрическая толщина -О мкм) в вакуумной установке ме -тодом резистивного испарения осаждался четвертьволновой слой Г 1 РЗатем из подготовленной таким образом двухслойной заготовки нарезались заготовки диаметром 30 мм, укладывались в. стопу по 7 шт и сваривались в вакууме 2Оторр при100 С под давлением 30 кг/см. На чертеже показана спектральная характеристика полученной предлагаемым способом интерференционной системы. Использование в способе полиэтиленовой пленки позволяет получать слои большой толщины, необходимые для интерференционных систем, работающих в спектральной области свыше 50 мкм при одновременном обеспечении механической прочности и влагостойкости.