Патенты с меткой «329252»

Номер патента: 329252

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: C23C 14/04

Метки: 329252

...- кривизну стенок камеры. С неработающей стороны катода на изолирующикирОлада 1.; / установ.е эран, предОк 1)аИя 0 ший аод от распыления с нерабочей стороИ 1)1. В)1 О 01(овольтп 1 Й ввод (с сосдинсн с минусом источника высокого напряжения, плюс источника соединен с заземленной камерой. Откачное отверстие 9 служит для создания необкоднмого разрежения в камере. Заготовка, на поверкность которой необходимо на. нести покрытие, закрывает отверстие 1 в камере. При создании в вакуу)но амере разрежения в результате перепада давлений заготовка плотно ирижи)ается и Откпытой части камеры. По достижении в камере давления порядка 5 10 -- 2 10 - о л 1 л рт. ст. прн помощи натекателя 10 вводят рабочий газ, цапример аргон,: давление повышается до 2 - 5...