Ковачки

Номер патента: 1824456

Опубликовано: 30.06.1993

Авторы: Вейко, Кайданов, Ковачки, Шахно

МПК: C23C 14/04

Метки: лазерного, локального, нанесения, пленки

...также использование для реализации предлагаемого способа проекционной опт 1 еской системы для формирования топологии наносимых пленок проекционным или контурно-проекционным методом,При использовании предлагаемого способа после перенесения материала донорной пленки с донорной подложки на анцепторную подложку в конце импульса излучения уменьшается плотность потока лазерного излучения, достигающего пленки, вследствие рассеяния излучения на освободившейся от донорной пленки шероховатой поверхности донорной подложки, Результаты проведенных оптических измерений мощности излучения, проходящего через донорную подложку с шероховатой поверхностью(йд = 3 мкм), ц и мо;.1 ности излучения, проходящего через донорную подложку с полированной...