ZIP архив

Текст

.1970 Заявлено Приоритет комитет ло делам иаобре)аиий и открытийАвторыизоб 1)стсния Александров и С. В. Шалимов Заявител ЛЯ НАНЕСЕНИЯ ИОКРЬПИЙ В ВАКУУМЕ УСТРОЙС присоединением заявкиИзобретение относится к области цанссснияпокрытий в вакууме.Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой размещены распыляемый катод с экраном и анод, Однако это устройство нс позволяет наносить покрытия на заготовки, размер которык иревышаот размеры камеры, таккак заготовка должна непосредственно и 0 сщаться в камеру.1Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что для нанесения покрытий назаготовки, превышающие размеры камеры, встенке камеры, имеется отверстие, закрытоезагоговкои, причем мекду заготовкой и камерой имеется прокладка, повторяющая с одной стороны крвизну заготовки, а с другой --кривизну стенок камеры,На чертеке представлено описываемое устройство, общий вид,2Устройство содержит камеру 1, внутри которой размещены распыляемый катод 2 с экраном . В стенке камеры имеется отверстие 4,закрытое заготовкой , причем между заготовкой н камерой имеется прокладка 6, повторяющая с одной стороны кривизну заготовки,а с другой - кривизну стенок камеры. С неработающей стороны катода на изолирующикирОлада 1.; / установ.е эран, предОк 1)аИя 0 ший аод от распыления с нерабочей стороИ 1)1. В)1 О 01(овольтп 1 Й ввод (с сосдинсн с минусом источника высокого напряжения, плюс источника соединен с заземленной камерой. Откачное отверстие 9 служит для создания необкоднмого разрежения в камере. Заготовка, на поверкность которой необходимо на. нести покрытие, закрывает отверстие 1 в камере. При создании в вакуу)но амере разрежения в результате перепада давлений заготовка плотно ирижи)ается и Откпытой части камеры. По достижении в камере давления порядка 5 10 -- 2 10 - о л 1 л рт. ст. прн помощи натекателя 10 вводят рабочий газ, цапример аргон,: давление повышается до 2 - 5 10. рт. ст. К катоду нз расиылясмого материала нрикладь 1 ва 10 т потенциал. Положит(льныс 1 оны газа ускоряотся отрицательным потенциалом катода и бомбардируют его. Выбитые частицы вещества катода осаждаются на повсркностн заготовки. По достижении нсобкодимой толщины напыляемого слоя, что определяется временем напыления, в вакуумную камеру напускают возду(, после чего амера подшмастся, освобождая заготовку.Предмет изоорстснияУстройство для нанесения покрытий в вак 1"г)1 с, содеря)(ащсе камеру) внутри которой р 1)хС)цен,исто лиматериала покрытп 51, от.1 п ч г)ОИ 1 юсл ) с )1, 1 тй, с вел 1 О пан)" сев и 51 по329252 1 О д Составлезь Б. Либерман Тскред 3, Тараненко Редактор Л. Жаворонкова Корректор Л, Бадыаака 1 1-11111 П 11 1 Заказ 72613 11 зд. Ъе 246 Тнракк .1:18 П одннснос 1- 11 11 Коитета но дезам изобретен.ш н открытий нрн Совете Министров СССР Москва, Ж, 1 аунскан наб, . 1,5Тнногр;нн)1, нр, Санунова, . крытий на заготовки, превышающие размеры камеры, г, стенке камеры имеется отверстие, закрытое заготовкой, приисм между заготовкой и камерой имеется прокладка, повторяющая с одной стороны кривизну заготовки, а сд 1)у 1 ой - к 1)ивизну с"1 спок к 1)с.1)в 1.

Смотреть

Заявка

1418963

МПК / Метки

МПК: C23C 14/04

Метки: 329252

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-329252-329252.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">329252</a>

Похожие патенты