Патенты опубликованные 15.04.1994

Страница 4

Порошковый рентгенозащитный материал

Номер патента: 1405581

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Гладышев, Лебедев, Милешин, Растанаев

МПК: G21F 1/08

Метки: материал, порошковый, рентгенозащитный

ПОРОШКОВЫЙ РЕНТГЕНОЗАЩИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, содержащий свинец и вольфрам, отличающийся тем, что, с целью улучшения защитных свойств и технологичности при механической обработке, в него введен титан при следующем соотношении компонентов, мас. % :Вольфрам 25 - 70Титан 0,2 - 5Свинец Остальное

Порошковый рентгенозащитный материал

Номер патента: 1405582

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Гладышев, Лебедев, Милешин, Растанаев

МПК: G21F 1/08

Метки: материал, порошковый, рентгенозащитный

ПОРОШКОВЫЙ РЕНТГЕНОЗАЩИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, содержащий свинец и вольфрам, отличающийся тем, что, с целью улучшения защитных свойств и технологичности при механической обработке, в него введен никель при следующем соотношении компонентов, мас. % :Вольфрам 25 - 70Никель 0,5 - 10Свинец Остальное

Композиционный материал для электрических контактов

Номер патента: 1225416

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Альтман, Бродов, Володина, Мелашенко, Новиченко

МПК: H01H 1/02

Метки: композиционный, контактов, материал, электрических

КОМПОЗИЦИОННЫЙ МАТЕРИАЛ ДЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ на основе серебра, включающий никель, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости и экономии серебра, он содержит дополнительно окись олова при следующем соотношении ингредиентов, мас. % :Окись олова 1 - 13Никель 39,5 - 40,5Серебро Остальное

Запоминающее устройство и способ управления им

Номер патента: 1110315

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Власенко, Мальцев, Минаев, Нагин, Тюлькин, Чернышев

МПК: G11C 11/34

Метки: запоминающее

1. Запоминающее устройство, содержащее размещенные на полупроводниковой подложке схему управления и накопитель на элементах памяти с изолированным полевым электродом и двухслойным подзатворным диэлектриком, отличающееся тем, что, с целью его упрощения и обеспечения избирательного стирания, подложка выполнена однородной, а проводимости слоев подзатворного диэлектрика удовлетворяют соотношениям10 1 2 при E = 0 и

Способ задержки роста усталостных трещин в конструкциях

Номер патента: 1343689

Опубликовано: 15.04.1994

Автор: Шанявский

МПК: B23P 6/00

Метки: задержки, конструкциях, роста, трещин, усталостных

СПОСОБ ЗАДЕРЖКИ РОСТА УСТАЛОСТНЫХ ТРЕЩИН В КОНСТРУКЦИЯХ преимущественно со сквозными трещинами, заключающийся в выполнении в вершинах трещин отверстий, установке в них полувтулок, а затем крепежных элементов в отверстия, образованные полувтулками, с радиальным натягом 5 - 10% от номинального диаметра отверстия в вершине трещины под втулки и осевым натягом, отличающийся тем, что, с целью повышения его эффективности за счет создания условий контактного взаимодействия берегов усталостной трещины, выполняют дополнительное отверстие с осью, расположенной в плоскости трещины, перед ее вершиной, устанавливают в это отверстие дополнительные полувтулки, ориентируют их плоскостью раздела перпендикулярно плоскости трещины, устанавливают...

Состав для активации поверхности политетрафторэтилена

Номер патента: 1343788

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Иванов, Смульская, Юминов

МПК: C08J 7/12, C09K 13/00

Метки: активации, поверхности, политетрафторэтилена, состав

СОСТАВ ДЛЯ АКТИВАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИТЕТРАФТОРЭТИЛЕНА, включающий металлический натрий, антрацен, стабилизирующую добавку и органический растворитель морфолин, отличающийся тем, что, с целью повышения активности состава, в качестве стабилизирующей добавки состав содержит церезин при следующем соотношении компонентов, мас. % :Металлический натрий 2 - 5Антрацен 10 - 20Церезин 0,5 - 5Морфолин Остальное

Силовой гидроцилиндр

Загрузка...

Номер патента: 1637447

Опубликовано: 15.04.1994

Автор: Сукач

МПК: F15B 3/00

Метки: гидроцилиндр, силовой

...из резьбы 20, гайки 21 с рукояткой 22 (см. фиг. 1, 3), размещенной в окне 23 корпуса 1. Для индикации положения рукоятки 22 предусмотрена шкала 24, для исключения вращения втулки 19 - шпанка 25. Перемещение втулки 19 относительно штока 9 ограничено гайками 26, ее связь с торцом подпружиненного поршня 8 осуществлена посредством пружины 27. Между втулкой 19 и гайкой 21 Формула изобретения1. СИЛОВОЙ ГИДРОЦИЛИНДР, содержащий корпус, в котором с образованием рабочих полостей соосно установлены основной поршень со (втоком,снабженным осевым каналом и обратным клапаном, и подпружиненный плавающий поршень со штоком, шарнирно связанный с подпружиненными вытеснителями, образующими с основнь(м поршнем мульустановлен упорный подшипник,...

Сумматор тока электродов магнитогидродинамического генератора

Номер патента: 1344189

Опубликовано: 15.04.1994

Автор: Антонов

МПК: H02K 44/08

Метки: генератора, магнитогидродинамического, сумматор, электродов

СУММАТОР ТОКА ЭЛЕКТРОДОВ МАГНИТОГИДРОДИНАМИЧЕСКОГО ГЕНЕРАТОРА(МГДГ), содержащий ячейки, состоящие из двух цепочек последовательно соединенных дросселей и тиристоров, коммутирующие конденсаторы, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности устройства, он дополнительно содержит диодные мосты по числу цепочек, в диагонали постоянного тока которых включены цепочки дроссель - тиристор, один вывод диагонали переменного тока каждого диодного моста подсоединен к электроду канала МГДГ, а другой вывод соединен с точкой суммирования тока электродов через обмотки четырехобмоточных трансформаторов, образующих два каскада, первый из которых содержит трансформаторы, связывающие соседние пары ячеек в группы, а второй - группы ячеек с точкой...

Способ изготовления полупроводникового прибора с субмикронными размерами управляющего электрода

Номер патента: 1407325

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Айзенштат, Игнатьев, Кожинова, Романова

МПК: H01L 21/34

Метки: полупроводникового, прибора, размерами, субмикронными, управляющего, электрода

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРИБОРА С СУБМИКРОННЫМИ РАЗМЕРАМИ УПРАВЛЯЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА, включающий создание омических контактов, формирование первого и второго маскирующих слоев, один из которых является металлом, с субмикронным зазором между ними, электрохимическое осаждение дорожки управляющего электрода, удаление маскирующих слоев, выделение на полуизолирующей подложке активной области прибора, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности металлических дорожек управляющего электрода, выделение на полуизолирующей подложке активной области проводят перед созданием омических контактов, электрохимическое осаждение металлической дорожки управляющего электрода проводят одновременно на активную область прибора и на...

Способ определения критической скорости рулевой формы флаттера летательного аппарата

Номер патента: 917614

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Алферов, Минаев, Сопов

МПК: G01M 9/00

Метки: аппарата, критической, летательного, рулевой, скорости, флаттера, формы

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КРИТИЧЕСКОЙ СКОРОСТИ РУЛЕВОЙ ФОРМЫ ФЛАТТЕРА ЛЕТАТЕЛЬНОГО АППАРАТА, включающий продувку модели летательного аппарата с отклоненным органом управления в аэродинамической трубе при заданной динамической жесткости рулевого тракта, регистрацию и измерение параметров, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения критической скорости и сохранения модели летательного аппарата от разрушения, задают гармонические колебания органу управления с различными амплитудами и частотами, регистрируют отношение усилия на органе управления к его отклонению для ряда скоростей потока, сопоставляют это отношение с динамической жесткостью рулевого тракта и определяют значение критической скорости.

Устройство для резки изнутри длинномерных труб

Загрузка...

Номер патента: 1638907

Опубликовано: 15.04.1994

Автор: Карпов

МПК: B23D 45/12

Метки: длинномерных, изнутри, резки, труб

...с продольной осью штока 5 острый угол 3 . Опора 2 выполнена в виде трех подпружиненных кулачков 16 со сферической поверхностью 17, которые радиально расположены в корпусе 1 и имеют привод, выполненный в виде поршня 18 со штоком 19,Внутри корпуса 1 размещены воздухопровод 20, пневмодвигатель 21. кинематически связанный через зубчатые колеса (на черт, не показаны) со шпинделем 22 режущего инструмента 23 (дисковой фреэы), В корпусе 1 выполнен канал 24 для подвода через дроссель(на черт. не показан) воздуха в полость расточки 4 для перемещения порФормула изобретения 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ ИЗНУТРИ ДЛИННОМЕРНЫХ ТРУБ, содержащее корпус с опорой, смонтированной с возможностью перемещения, механизм подачи на врезание режущего...

Устройство для обработки внутренних поверхностей тел вращения

Загрузка...

Номер патента: 1638919

Опубликовано: 15.04.1994

Автор: Филичкин

МПК: B24B 5/06

Метки: внутренних, вращения, поверхностей, тел

...который может обработать устройтво, е - эксцентриситет оси вращения инсрумента 4 и оси 8 обоймы 5,Устройство для обработки внутренниховерхностей тела вращения работает слеующим образом.Для обработки патрубкам механизм 16,оставляети центрирует устройство относиельна оси обрабатываемой поверхности,Включаем привод 11 подачи, приводитя в движение винт 12, который аворачиватсч в гайку 13, в результате чего,ролсходит перемещение направляющих 2корпусаотносительно неподвижных втуак 15.И 1:тт .лент 4 своей цилиндрическойоаерхностью входит в контакт с обрабатыаемой поверхностью и пад действием возикающих сил реакции вместе с обоймой 5тоаорачивается вокруг оси 8, преодолеваясилие пружины 7, упор 25 входит в перпеникулярно расположенную...

Устройство для создания сверхвысокого давления

Номер патента: 1345414

Опубликовано: 15.04.1994

Автор: Щенников

МПК: B01J 3/06

Метки: давления, сверхвысокого, создания

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ СВЕРХВЫСОКОГО ДАВЛЕНИЯ, содержащее соосно установленные пуансоны, скрепленные поддерживающими кольцами, с центральными рабочими цилиндро-коническими вставками из сверхтвердого материала, размещенными в центральных углублениях опорной части пуансонов по скользящей посадке, выполненными выступающими над плоскими торцами опорных частей пуансонов, и контейнер с образцом, причем высота a выступающей части вставки выбрана в соответствии с соотношениемa h где h - высота центральной части контейнера, мм;

Криогенная аэродинамическая труба

Номер патента: 1112880

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Борисов, Искра, Филатов

МПК: G01M 9/02

Метки: аэродинамическая, криогенная, труба

1. КРИОГЕННАЯ АЭРОДИНАМИЧЕСКАЯ ТРУБА, содержащая форкамеру, рабочую часть, диффузор с эжекторами, обратный канал, вертикально размещенные регенераторы холода с насадкой и систему впрыска хладагента в поток, включающую форсунки и трубопроводы подвода жидкого азота к ним, отличающаяся тем, что, с целью повышения экономичности, форсунки системы впрыска жидкого азота установлены в полости регенератора, при этом насадка регенератора разделена форсунками на ряд неравных по высоте участков.2. Труба по п. 1, отличающаяся тем, что насадка регенератора разделена на два участка с соотношением их масс 1 : 1,5 для нижнего и верхнего участков соответственно.

Привод регулирующего органа ядерного реактора

Номер патента: 1061626

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Баев, Новожилова

МПК: G21C 7/12

Метки: органа, привод, реактора, регулирующего, ядерного

ПРИВОД РЕГУЛИРУЮЩЕГО ОРГАНА ЯДЕРНОГО РЕАКТОРА, содержащий герметичный чехол, установленный на патрубке крышки корпуса ядерного реактора, электромагнитные обмотки, установленные вне герметичного чехла в средней его части, исполнительный орган привода, соединенный с регулирующим органом ядерного реактора, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности привода путем снижения силы трения, воздействующей на исполнительный орган привода, средняя часть чехла заполнена ферромагнитной жидкостью и отделена от полости корпуса ядерного реактора подвижным уплотнением, через которое пропущен исполнительный орган привода, на котором установлен поршень, размещенный в средней части чехла.

Электролюминесцентная матричная панель

Номер патента: 1061684

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Беляков, Хаскович

МПК: H05B 33/12, H05B 33/26

Метки: матричная, панель, электролюминесцентная

ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНАЯ МАТРИЧНАЯ ПАНЕЛЬ, содержащая стеклянную пластину с расположенными на ней передним и задним электродами, выполненными в виде полос, и заключенную между ними излучательную структуру, отличающаяся тем, что, с целью повышения ее надежности, края каждой полосы заднего электрода выполнены приподнятыми над поверхностью излучательной структуры и расположенными на демпфирующем диэлектрическом слое с удельной емкостью, меньшей удельной емкости излучательной структуры.

Устройство для доставки гибкого диагностического инструмента в исследуемый канал и способ его доставки

Номер патента: 1228633

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Лимонов, Минацевич, Овчинников, Чепкин

МПК: G01M 15/00

Метки: гибкого, диагностического, доставки, инструмента, исследуемый, канал

1. Устройство для доставки гибкого диагностического инструмента в исследуемый канал, содержащее держатель и два консольно закрепленных в нем ленточных упругих элемента с расположенной между ними эластичной проставкой, отличающееся тем, что, с целью снижения трудоемкости при доставке инструмента в проточную часть газотурбинного двигателя, один из упругих элементов со стороны, противоположной держателю, снабжен подшипником и отражателем, в другом элементе напротив отражателя выполнено окно, а в эластичной проставке - канал для прохода диагностического инструмента.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что эластичная проставка выполнена в виде двух деформируемых трубок, расположенных в рабочем положении одна относительно другой с...

Материал для подслоя электрических контактов на основе никеля

Номер патента: 651587

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Альтман, Беляков, Бродов, Быстрова

МПК: C22C 19/03, H01H 1/02, H01H 1/10 ...

Метки: контактов, материал, никеля, основе, подслоя, электрических

МАТЕРИАЛ ДЛЯ ПОДСЛОЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ НА ОСНОВЕ НИКЕЛЯ, отличающийся тем, что, с целью повышения прочности крепления контактов к контактодержателям, он дополнительно содержит олово при следующем соотношении компонентов, мас. % :Олово 0,1 - 10,0Никель Остальное

Способ изготовления магниторезисторов

Номер патента: 1466595

Опубликовано: 15.04.1994

Автор: Щенников

МПК: H01L 29/82

Метки: магниторезисторов

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТОРЕЗИСТОРОВ, включающий формирование контактов на образце полупроводникового материала, размещение образца в герметичном корпусе - камере высокого давления и создание в камере давления в области фазового перехода Pt, отличающийся тем, что, с целью улучщения температурной и полевой характеристик магниторезисторов, в камере высокого давления создают давление в диапазоне Pt < P < Pt + 0,2 ГПа, фиксируют положение пуансонов и выдерживают образец под этим давлением в течение (2,88 - 8,64) 104 с.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового материала используют селенид...

Шестеренный насос

Номер патента: 1347610

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Абрамчук, Андрюков, Полушкин, Рубинов, Субботин

МПК: F04C 2/04

Метки: насос, шестеренный

ШЕСТЕРЕННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с глухой торцовой крышкой, в цилиндрических расточках которого размещены ведущая и ведомая шестерни с цапфами, установленными в подшипниках скольжения, полости всасывания и нагнетания и выполненные в глухой торцовой крышке радиальные каналы, а в ведомой шестерне - осевой канал для отвода утечек рабочей жидкости, отличающийся тем, что, с целью повышения объемного КПД насоса, он снабжен пластиной, установленной между боковой поверхностью глухой торцевой крышки и торцами подшипников скольжения, а в ведущей шестерне выполнен осевой канал для отвода утечек.

Установка для лазерной обработки

Номер патента: 1692061

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Мельников, Титова, Тюленева, Худяков, Черкасов

МПК: B23K 26/00

Метки: лазерной

УСТАНОВКА ДЛЯ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ, содержащая лазер, установленные с возможностью относительного перемещения в трех взаимно перпендикулярных направлениях фокусирующий объектив и рабочий стол для закрепления в рабочей зоне обрабатываемых деталей, установленный с возможностью поворота относительно двух взаимно перпендикулярных осей и рабочая зона которого расположена симметрично относительно одной из этих осей, отличающаяся тем, что, с целью расширения номенклатуры обрабатываемых деталей, рабочий стол снабжен дополнительной направляющей его продольного перемещения, закрепленной перпендикулярно осям поворота, а фокусирующий объектив закреплен с возможностью перемещения относительно рабочей зоны стола в трех взаимно перпендикулярных...

Грузозахватное устройство

Номер патента: 1640913

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Гордон, Мошкирев

МПК: B66C 1/12

Метки: грузозахватное

ГРУЗОЗАХВАТНОЕ УСТРОЙСТВО, содержащее два разновеликих прижимных элемента с фрикционными накладками, две пары роликов, каждая из которых установлена на концах удлиненного элемента, и грузовой трос, охватывающий укороченный элемент, запасованный между каждой парой роликов и закрепленный на траверсе и на концах удлиненного элемента, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей путем обеспечения захвата различных по диаметру и конфигурации грузов, грузовой трос выполнен из двух ветвей, а разновеликие прижимные элементы - из отдельных пластин, которые в удлиненном элементе соединены гибкими связями с возможностью изменения расстояния между пластинами, при этом устройство снабжено направляющими, установленными на...

Способ лазерного анализа газа

Номер патента: 1641083

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Бородин, Давыдов, Житов, Кузнецов, Мартиросян, Платонов

МПК: G01N 21/39

Метки: анализа, газа, лазерного

СПОСОБ ЛАЗЕРНОГО АНАЛИЗА ГАЗА, включающий пропускание модулированного лазерного излучения через объем с анализируемым газом, регистрацию мощности лазерного излучения и теплового излучения из объема с анализируемым газом на частоте модуляции с использованием методов спектральной селекции теплового излучения и нахождение концентрации анализируемого газа и по величине теплового излучения, нормируемой на мощность лазерного излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности анализа, в объем с анализируемым газом добавляют не поглощающий лазерного излучения буферный газ до достижения регистрируемой величиной теплового излучения максимального значения и искомую концентрацию анализируемого газа определяют при указанном количестве...

Способ управления срабатыванием газового разрядника

Номер патента: 1641161

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Адам, Пайгин, Устюжин, Хмыров

МПК: H01T 1/20

Метки: газового, разрядника, срабатыванием

СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ СРАБАТЫВАНИЕМ ГАЗОВОГО РАЗРЯДНИКА, при котором на электроды разрядника подают напряжение и формируют в межэлектродном промежутке плазменный факел, путем пропускания луча лазера в межэлектродный промежуток через отверстие в одном из электродов разрядника, закрытое прозрачной диэлектрической пленкой с нанесенным на ее поверхность слоем мелкодисперсного порошка алюминия, отличающийся тем, что, с целью повышения срока службы и уменьшения времени коммутации путем обеспечения многоканального срабатывания разрядника, величину U напряжения на электродах разрядника и длину lф плазменного факела устанавливают в зависимости от длины d межэлектродного промежутка из условияU/d = (1 - 3) кВ/см,d/lф =...

Способ контроля состояния нагретой поверхности оболочек каналов и тепловыделяющих элементов в ядерных реакторах

Номер патента: 1230461

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Болтенко, Гайдин, Константинов, Панько

МПК: G21C 17/06

Метки: каналов, нагретой, оболочек, поверхности, реакторах, состояния, тепловыделяющих, элементов, ядерных

СПОСОБ КОНТРОЛЯ СОСТОЯНИЯ НАГРЕТОЙ ПОВЕРХНОСТИ ОБОЛОЧЕК КАНАЛОВ И ТЕПЛОВЫДЕЛЯЮЩИХ ЭЛЕМЕНТОВ В ЯДЕРНЫХ РЕАКТОРАХ, включающий отбор проб из каналов и их нуклидный анализ, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения определения момента и места достижения контролируемой температуры, на поверхность оболочек каналов и тепловыделяющих элементов наносят внутренний индикаторный слой из материала, обладающего высоким давлением насыщенного пара при контролируемой температуре и содержащего по крайней мере два нуклида, распределенных в различном количественном отношении по длине оболочки и образующих при облучении нейтронами легко идентифицируемые радионуклиды, и внешний слой из материала с температурой плавления, равной...

Спеченный электроконтактный материал на основе серебра

Номер патента: 778309

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Альтман, Бродов, Лядова, Мелашенко, Новиченко

МПК: C22C 5/06, H01H 1/02

Метки: материал, основе, серебра, спеченный, электроконтактный

СПЕЧЕННЫЙ ЭЛЕКТРОКОНТАКТНЫЙ МАТЕРИАЛ НА ОСНОВЕ СЕРЕБРА, содержащий диселенид тугоплавкого металла, отличающийся тем, что, с целью снижения переходного сопротивления, в качестве диселенида тугоплавкого металла он содержит диселенид ниобия при следующем соотношении компонентов, мас. % :Диселенид ниобия 1 - 5Серебро Остальное

Сплав на основе марганца

Номер патента: 778316

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Винтайкин, Дмитриев, Литвин, Макушев, Маторин, Сахно, Удовенко, Щербединский

МПК: C22C 22/00

Метки: марганца, основе, сплав

СПЛАВ НА ОСНОВЕ МАРГАНЦА, включающий медь и хром, отличающийся тем, что, с целью улучшения технологичности при сохранении термочувствительности удельного электросопротивления и коррозионной стойкости, он содержит компоненты в следующем соотношении, мас. % :Марганец 50 - 90Хром 1 - 4Медь Остальное

Способ определения работы выхода сложного фотокатода

Номер патента: 1642895

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Зарнадзе, Оганезов, Тимошенко

МПК: H01J 9/42

Метки: выхода, работы, сложного, фотокатода

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАБОТЫ ВЫХОДА СЛОЖНОГО ФОТОКАТОДА, включающий его облучение световым потоком, измерение параметра потока и фотоэлектронного тока, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, световой поток получают от источника теплового излучения, в качестве параметра потока используют температуру теплового источника T0(K), строят график зависимого логарифма фотоэлектронного тока I (А) от 1/T0, из которого определяют величину наклона прямой и вычисляют значение работы (эВ) выхода по формуле= -

Способ изготовления кремниевых транзисторных структур с диэлектрической изоляцией

Номер патента: 1116919

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Брюхно, Громов, Данцев, Комаров, Хочинов

МПК: H01L 21/76

Метки: диэлектрической, изоляцией, кремниевых, структур, транзисторных

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ТРАНЗИСТОРНЫХ СТРУКТУР С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ, включающий образование на исходной монокристаллической пластине высоколегированных скрытых слоев того же типа проводимости, что и пластина, травление разделительных канавок, нанесение на них диэлектрического слоя, наращивание на него поликристаллической кремниевой подложки, вскрытие монокристаллических карманов, формирование в монокристаллических кремниевых карманах транзисторных структур, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии и увеличения процента выхода годных структур, до образования высоколегированных скрытых слоев или одновременно с ними формируют на исходной монокристаллической пластине локальные высоколегированные области того же типа...