Травитель для полупроводниковых соединений типа aiiibv

Номер патента: 673083

Автор: Аграфенина

Описание

Травитель для полупроводниковых соединений типа AIIIBV, преимущественно для антимонида индия, содержащий водорастворимые органические кислоты, преимущественно винную и этилендиаминтетрауксусную, окислитель и воду, отличающийся тем, что, с целью получения зеркально-гладкой поверхности травления при малых толщинах съема материала и улучшения эксплуатационных свойств травления, он дополнительно содержит соляную кислоту и кислородхлорсодержащий окислитель, преимущественно хлорноватистую кислоту, при следующем соотношении компонентов мас.%:
Водорастворимые органические кислоты, преимущественно винная и этилендиаминтетрауксусная - 0,4 - 0,5
Соляная кислота (37%) - 7,5 - 8
Кислородхлорсодержащий окислитель, преимущественно хлорноватистая кислота - 7,5 - 10
Вода - Остальное

Заявка

2475520/25, 11.04.1977

Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР

Аграфенина Е. П

МПК / Метки

МПК: H01L 21/48

Метки: aiiibv, полупроводниковых, соединений, типа, травитель

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-673083-travitel-dlya-poluprovodnikovykh-soedinenijj-tipa-aiiibv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травитель для полупроводниковых соединений типа aiiibv</a>

Похожие патенты