Способ изготовления многослойных p-n структур соединений типа aiiibv

Номер патента: 990016

Авторы: Золотухин, Марончук, Сушко

Описание

Способ изготовления многослойных p-n-структур соединений типа AIIIBV, включающий соединение пакета эпитаксиальных структур в монолитный блок при нагревании, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества структур и упрощения технологии их получения, пакет эпитаксиальных структур сжимают давлением 10-20 кг/см2 и перемещают в градиенте температур вдоль оси пакета 300-600 град/см в направлении уменьшения температуры со скоростью 5 10-4-10-3 см/с, причем температура составляет 850-1000 К.

Заявка

3285855/25, 13.05.1981

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирский государственный университет

Золотухин В. Е, Марончук И. Е, Марончук Ю. Е, Сушко Б. И

МПК / Метки

МПК: H01L 21/208

Метки: aiiibv, многослойных, соединений, структур, типа

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-990016-sposob-izgotovleniya-mnogoslojjnykh-p-n-struktur-soedinenijj-tipa-aiiibv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления многослойных p-n структур соединений типа aiiibv</a>

Похожие патенты