H01L 7/68 — H01L 7/68
Установка для вакуумного напыления
Номер патента: 402324
Опубликовано: 07.10.1980
МПК: H01L 7/68
Метки: вакуумного, напыления
...24 фполняет ее. При дальнейшем решении вала дозетора ограничитель бункера выравнивает поверхность вещества в лунке, которое затем через подвижный желоб равномерно рассыпается по поверхности соответствующего испарителя. Скорость вращения вала дозатора и скорость испарения вещества подбираются такими, чтобы к моменту поступления новой дозы вещества в испаритель в последнем практическиФ все вещество испарилось. За счет последовательности и цикличности работы системы дозатор - испарители уменьшение испаряемой поверхности вещества в одном из испарителей компенсируется добавкой вещества в другой испаритель, так что суммарная поверхность испарения остается постоянной. Установка для вакуумного напьщечия состоит из бункера 1 с испаряемым...