Яшечкина

Номер патента: 501435

Опубликовано: 30.01.1976

Авторы: Бобылев, Богомольник, Власов, Петров, Шеларь, Яшечкина

МПК: H01L 7/68

Метки: геометрическим, круглых, профилем, сложным, химической

...на фиг. 4 - кассетасо структурой; на фиг. 5 - структура с подведенным к ней соплом.Установка для химической обработки содер- зжит установленную на основании 1 химически стойкую камеру 2 (фиг. 1), в которой расположены идентичные ванны предварительного травления 3, финишного травления 4, ванна отмывки 5 и сушки 6. В установке преду- щсмотрен также блок управления 7 и узел газораспределения 8, В ваннах установленывращающиеся валики 9 (фиг. 2), кинематически соединенными системой шестерен 10 сприводом 11, и сальниковые узлы 12. На дне дванны расположена газоприемная полость 13с соплами 14, сориентированными относительно обрабатываемых структур 15, удерживаемых кассетой 16 (фиг. 3). На фиг. 4 показанорасположение структуры 15 в...