Устройство получения и подвода рабочей смеси
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 461467
Авторы: Виноградов, Окунь, Сенатова, Турилина
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ц 461467 Союз Советских Социалистических Республик(23) ПриоритетОпубликовано 25.02.75. Бюллетень7Дата опубликования описания 15;04,75 1) М Кл Н 011 7/6 Государственный комитет авета Министров СССР 21,382(08(53) ло делам изобретений и открытий) Заявитель 54) УСТРОЙСТВО ПОЛ УЧ ЕН ИЯ И ПОДВОДА РАБОЧ ЕЙ СМЕ де- ым рмостата 11 п оздушную руба испаритель 1.через газорасп ает в патрубо ачале процесс к перемещает азом испарите в атмосферу. центрации рабо и точно, Груб зменением тока теля, а точная Газ-носитель из те трубопроводу 10 в в 0 трубопроводу 3 - в теля рабочая смесь ный золотник поступ на подложки. В н окончании золотни 5 соединяя таким обр бопровод 8 на сброс Регулировка кон производится грубо ровка достигается и 0 гревателя газа-носиоступает по шку 2 и по Из испари- ределительк 6, а затем а и по его ся вправо, ль 1 и тручеи сме ая регул в цепи на - измене. Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и интегральных схем.Известны устройства, которые содержат печь сопротивления, в которую помещена кварцевая труба с держателем подложек. В таких устройствах рабочий газ разделен на два потока, один из которых поступает непосредственно в реакционную камеру, а другой - через термостатированный испаритель, Для предотвращения преждевременного разложения трубопроводы подогреваются.Однако известное устройство характеризуется плохой воспроизводимостью процесса и низкой производительностью установки,Цель изобретения - обеспечить хорошую воспроизводимость процесса при одновременном повышении производительности устройства и создании максимального удобства в работе.Это достигается тем, что устройство содержит резервуар-испаритель, окруженный объемом, соединенным с одной стороны через термостат с источником газа-носителя, а с другой стороны, через трубопровод, - с резервуаром испарителя.На чертеже представлена принципиальная схема предлагаемого устройства.Испаритель 1 и газовая рубашка 2 соединены между собой трубопроводом 3. В верх 2ней части корпуса испарителя 1 расположенопереключающее устройство 4, с помощьюплунжера 5 которого переключают поток рабочей смеси: либо по патрубку 6 с реакцион 5 ной камерой 7, либо по трубопроводу 8 насброс в атмосферу, Основание 9 для размещения подложек имеет возможность перемещения и расположено в непосредственной близости от патрубка 6, По трубопроводу 10 газ 0 носитель из термостата 11 поступает в газовую рубашку 2,Геометрические размеры патрубка опреляются расходом рабочей смеси и проходисечением соединительных трубопроводов, а5 геометрические размеры основания - количеством подложек и их размерами,461467 оставитель А. УсковТекред А. Камышникова Корректоры: Л. Корогои А. Николаев едактор А. Батыги Заказ 838/18 Изд. ЬЪ 433И Государственного комитета по делам изобретений Москва, Ж, Раушска Тираж 833овета Министроткрытийаб., д. 4/5 ПодписССР НИИ Типография, пр. Сапунова,нием расхода этого газа через нагреватель спомощью стабилизатора расхода газа. П р едм ет изобретенияУстройство получения и подвода рабочей смеси для установок наращивания пленок, содержащее резервуар-испаритель, связанный через распределитель с патрубком подачи смеси, системы подачи газа-носителя и подогрева, отличающееся тем, что, с целью обеспечения лучшей воспроизводимости процесса и повышения производительности, резер вуар-испаритель окружен объемом, соединен.ным с одной стороны через термостат с источником газа-носителя, а с другой стороны, через трубопровод, - с резервуаром испарителя,
СмотретьЗаявка
1863484, 28.12.1972
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3562
ВИНОГРАДОВ ГЕОРГИЙ БОРИСОВИЧ, ОКУНЬ РОБЕРТ БОРИСОВИЧ, ТУРИЛИНА ЛЮБОВЬ СЕРГЕЕВНА, СЕНАТОВА НАТАЛЬЯ АЛЕКСЕЕВНА
МПК / Метки
МПК: H01L 7/68
Метки: подвода, рабочей, смеси
Опубликовано: 25.02.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-461467-ustrojjstvo-polucheniya-i-podvoda-rabochejj-smesi.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство получения и подвода рабочей смеси</a>
Предыдущий патент: Искровой источник света
Следующий патент: Устройство для изготовления комбинированных изделий
Случайный патент: Электролизер для получения хлора и раствора гидроокиси щелочного металла